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基于固高平台的宏微两级精密定位系统

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摘要精密、超精密以及纳米定位平台及其控制技术是微机电系统、微细加工、微操作与微装配、超大规模集成电路、精密、超精密加工及精密测量等领域的关键技术，定位过程中的大行程、高分辨、高精度、强实时等要求是其亟待解决的问题。

作者梁学佳葛红宇张博范伟郭玉明

机构地区南京工程学院自动化学院

出处《中国科技信息》 2015年第13期119-121,共3页 China Science and Technology Information

基金江苏省高校科研成果产业化推进项目(JHZD2012-5) 全国大学生实践创新训练计划项目(201311276018Z)

关键词定位平台精密定位系统超大规模集成电路超精密加工控制技术微机电系统微细加工精密测量

分类号 TP273 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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2015年第13期

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