自动化真空系统提高镀膜质量

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摘要在国际电报电话公司,我们利用溅射和蒸发等真空涂膜技术为美国军方研制成夜视装置。涂膜是个很复杂的过程,需要一系列精密操作,制备每种元件都要用到几种不同类型的真空系统,然后按严格的公差装成最终产品。除光学系统本身需要很特殊的膜层外,在利用可见光和红外光相互作用形成夜视像的光学元件之间还必须保持真空。此外。

作者刘雅凤

出处《国外激光》 CSCD 1991年第8期23-25,共3页

关键词夜视装置真空镀膜溅射蒸发

分类号 TN22 [电子电信—物理电子学]

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国外激光

1991年第8期

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