摘要
在运用ＳｉＧｅ脊形波导单模条件和有效折射率法分析ＳｉＧｅ／Ｓｉ定向耦合器结构参数的基础上，采用分子束外延和各向异性腐蚀技术制备出Ｓｉ１－ｘＧｅｘ／Ｓｉ（ｘ＝０．０５）单模定向耦合器．在波长为１．３μｍ时，平均串音小于－１８．１ｄＢ，输出功率耦合效率达到９８．１％
Based on the analysis of structural parameters of SiGe/Si directional coupler by using SiGe ridge waveguides single mode conditions and the effective index methods,the SiGe/Si( x =0.05) directional coupler was fabricated by MBE method and by using KOH anisotropic etching.The average coupling efficiency is 98.1% at λ=1.3μm.The average crosstalk is below -18 6dB.
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996年第1期33-37,共5页
Journal of Infrared and Millimeter Waves
基金
国家自然科学基金
关键词
光波导
定向耦合器
硅锗材料
Si 1- x Ge x ,optical waveguide directional coupler.
