MEMS微镜及其阵列

下载PDF

导出

摘要通过对MEMS微镜及其阵列的原理和结构,以及MEMS微镜及其阵列在光交换、光谱采集和投影成像领域的应用和国际研究进展进行了阐述。指出了我国在微镜及其应用系统的开发研究方面与国际上的差距并指出了努力的方向。

作者叶坤涛程显明徐波李广勇

机构地区江苏英特神斯科技有限公司

出处《科技风》 2009年第12期200-,共1页

关键词 MEMS mems微镜光谱

参考文献2

1[15]Dana Dudley,Walter Duncan,John Slaughter.Emerging digital micromirror device (DMD) applica-tions[C].SPIE,2003,4985:231-242.
2[16]S C Minne,J D Adams,G Yaralioglu.Centimeter scale atomic force microscope imaging and lithography[J].Appl.Phys.Lett.,1998,73 (12):1742-1744.
3[17]Patrick B Chu,Shi-Sheng Lee,Sangtae Park.MEMS:the path to large optical crossconnects[J].IEEE Communications Magazine,2002,40 (3):80-87.
4[18]Kook-Nyung Lee,Dong-Sik Shin,Yoon-Sik Lee.Micromirror array for protein micro array fabrication[J].J Micromech.Microeng.,2003,13 (3):474-481.
5[19]Mark Ealey.BMDO Technologies for Biomedical Applications[M].Littleton:Xinetics,Inc.,2001.
6[20]Jin-Wan Jeon,Dae-Hyun Kim,Jun-Bo Yoon,et al.High fill-factor micromirror array and its fabrication process[C].Proc.IEEE/LEOS Optical MEMS,2005:53-54.
7[21]Dooyoung Hah,Huang,S T Y,et al.Low-voltage,large-scan angle MEMS analog micromirror arrays with hidden vertical comb-drive actuators[J].IEEE J.MEMS,2004,13(2):279-289.
8[22]Tsai J,Wu M C.Gimbal-less MEMS two-axis optical scanner array with high fill-factor[J].IEEE J.MEMS,2005,14(6).1323-1328.
9[23]Cheng Y C,Chen P H,Dai C L,et al.A circular micromirror array fabricated by a maskless post-CMOS process[J].Microsystem Technologies,2005,11(6):444-451.
10[24]Jang Yun-Ho,Lee Kook-Nyung,Shin Dong-Sik,et al.Single crystalline silicon micromirror array for maskless photolithography in protein synthesis systems[C].SPIE,2004,5641..102-111.

1苏雷龙,蒋书波,程明霄,何野,徐波,李晟.气体检测中基于MEMS技术的近红外光谱仪设计[J].传感器与微系统,2011,30(10):120-122. 被引量：4
2田兴华.浅谈计算机网络技术的发展[J].中国科技博览,2010(12):103-103. 被引量：1
3郭玉彬,邢培.一种全光模糊智能信息处理系统设计[J].光学精密工程,1998,6(1):23-30. 被引量：1
4何桂荣.一种计算机光谱采集系统[J].计算机应用研究,1992,9(5):50-51.
5朱强,李征,张新,唐菀.LOBS-HC网络仿真平台设计与实现[J].计算机系统应用,2012,21(8):197-200. 被引量：1
6周志华,史忠植.人工智能国际研究进展——第17届国际人工智能联合大会评述[J].计算机科学,2001,28(12):16-18. 被引量：3
7原荣.光传送网技术及其进展[J].光通信技术,2000,24(3):182-189. 被引量：3
8孙静文,崔勇,王胜开,孔宁,沈烁.IPv6过渡技术[J].科研信息化技术与应用,2013,4(4):3-11. 被引量：2
9Hermes,T,范忠礼.LOCNET—利用光交换的局部区域网络[J].南邮科技译丛,1990(3):31-37.
10叶胤,陈向飞,吴志坚.基于WDM和光交换的IP网[J].现代电信科技,1999(9):22-25.

科技风

2009年第12期

内容加载中请稍等...