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高校微机电系统加工实验室的管理与运行 被引量：3
1
作者 王胜强 李冬玲 +1 位作者 尚正国 贺学锋 《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2010年第11期16-20,24,共6页
微加工超净实验室是微机电系统（micro-electro-mechanical systems,MEMS）研究的基础条件。超净实验室涉及多种大型微加工设备和相应的纯水、高纯气体、空气净化及空调等辅助系统,其管理显得十分重要。结合重庆大学微机电系统加工实验... 微加工超净实验室是微机电系统（micro-electro-mechanical systems,MEMS）研究的基础条件。超净实验室涉及多种大型微加工设备和相应的纯水、高纯气体、空气净化及空调等辅助系统,其管理显得十分重要。结合重庆大学微机电系统加工实验室,对其现场管理、保障系统运行和设备管理、节能和高效利用、设计和技术管理等进行了简单介绍,同时对MEMS微加工工艺开发与技术管理进行了初步探索。 展开更多
关键词 微电子机械系统 超净间 管理
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基于微型光谱仪的多参数水质检测微系统设计与实验 被引量：21
2
作者 魏康林 温志渝 +1 位作者 郭建 陈松柏 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第7期2009-2014,共6页
针对水资源环境监测与保护的需求,提出了基于微型光谱仪连续光谱分析的多参数水质检测微系统,系统主要由MOEMS微型光谱仪、流路系统、多功能微小型样品反应检测室和嵌入式测控系统组成,具有自动进样和试剂、样品反应体系的自动恒温、搅... 针对水资源环境监测与保护的需求,提出了基于微型光谱仪连续光谱分析的多参数水质检测微系统,系统主要由MOEMS微型光谱仪、流路系统、多功能微小型样品反应检测室和嵌入式测控系统组成,具有自动进样和试剂、样品反应体系的自动恒温、搅拌、光谱检测和数据处理等功能。论文介绍了系统各主要部分的功能与结构,研制出了原理样机,经实验测试验证,研制的多参数水质检测仪能够快速实现多个水质参数的准确检测,满足水质多参数在线监测的应用技术要求,同时具有很大的功能扩展性。 展开更多
关键词 水质检测 微系统 多参数 微型光谱仪
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基于微型光谱仪的微小型快速生化检测仪设计与实验 被引量：8
3
作者 余清华 温志渝 +3 位作者 陈刚 代微微 刘念慈 武新 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第3期854-857,共4页
面向野外环境伤病员重要生命参数快速检测的需求,基于MOEMS技术和嵌入式技术,提出了一种基于连续光谱分析的微小型快速生化检测仪新结构。在研究检测对象和方法的基础上,成功研制出基于连续光谱分析的微小型快速生化检测仪原理样机;对... 面向野外环境伤病员重要生命参数快速检测的需求,基于MOEMS技术和嵌入式技术,提出了一种基于连续光谱分析的微小型快速生化检测仪新结构。在研究检测对象和方法的基础上,成功研制出基于连续光谱分析的微小型快速生化检测仪原理样机;对样机的杂散光、吸光度线性度、吸光度重复性、稳定性、温度准确性进行了测试分析,各项指标均达到设计要求;通过临床测试初步实验,可实现钠离子、葡萄糖、血糖等多项重要生命参数的快速检测。 展开更多
关键词 生化分析仪器 MEMS光谱仪 嵌入式 生化检测
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基于微型呼吸传感器的高血压治疗系统 被引量：4
4
作者 皮喜田 赵素文 +3 位作者 师小荃 周承文 刘洪英 郑小林 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2009年第12期70-73,共4页
采用压阻式全桥型腹带式微型呼吸传感器检测人体的呼吸信号,研制基于慢呼吸训练的高血压治疗系统,以单片机AT89C51为核心,用全速USB接口芯片PDIUSBD12实现单片机与计算机之间的通信;采用Microsoft Visual C++6.0编写上位机软件,根据生... 采用压阻式全桥型腹带式微型呼吸传感器检测人体的呼吸信号,研制基于慢呼吸训练的高血压治疗系统,以单片机AT89C51为核心,用全速USB接口芯片PDIUSBD12实现单片机与计算机之间的通信;采用Microsoft Visual C++6.0编写上位机软件,根据生物信息反馈原理设计以呼吸信号为反馈生理量的慢呼吸引导算法,以直观的音乐信号和进度条指示受试者进行呼气和吸气。进行了志愿者实验,结果表明:本系统能够有效地引导受试者进行慢呼吸训练,受试者血压下降较为显著。 展开更多
关键词 微型呼吸传感器 单片机 高血压 慢呼吸
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数字微镜光谱仪的互补S编码矩阵的设计及实验 被引量：4
5
作者 张智海 高玲肖 +2 位作者 郭媛君 王伟 莫祥霞 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第12期3429-3432,共4页
数字微镜光谱仪在应用中编码矩阵的选取至关重要。最佳的理论编码矩阵H矩阵存在非循环、编码复杂、双光路系统实现困难的问题而得不到广泛应用;而最佳实用S矩阵较H矩阵信噪比提高优势略逊。为此本文针对数字微镜光谱仪设计了一种互补S... 数字微镜光谱仪在应用中编码矩阵的选取至关重要。最佳的理论编码矩阵H矩阵存在非循环、编码复杂、双光路系统实现困难的问题而得不到广泛应用;而最佳实用S矩阵较H矩阵信噪比提高优势略逊。为此本文针对数字微镜光谱仪设计了一种互补S编码矩阵,介绍了其构造、实现过程以及对杂散光和暗电流噪声的削弱作用,通过对其噪声改善程度理论的分析,说明该算法结合了H矩阵与S矩阵的优点,达到了理论与实用的双优。经实验验证,该算法较S矩阵编码模板信噪比提高了2.05倍。 展开更多
关键词 数字微镜光谱仪 互补S矩阵 噪声分析 信噪比
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新型多参数水质分析仪流路控制系统的设计 被引量：5
6
作者 武新 温志渝 +2 位作者 魏康林 高亮 余清华 《化工自动化及仪表》 CAS 北大核心 2011年第4期439-442,共4页
以单片机为核心,运用十联体电磁阀、三通阀和微型步进蠕动泵等流控器件设计新型多流路控制系统。对比测试结果表明,该系统能完成20多种流路切换,进样速度快,加样误差小于1%,能快速、高效地清洗进样通道,并避免交叉污染,而且成本低、不... 以单片机为核心,运用十联体电磁阀、三通阀和微型步进蠕动泵等流控器件设计新型多流路控制系统。对比测试结果表明,该系统能完成20多种流路切换,进样速度快,加样误差小于1%,能快速、高效地清洗进样通道,并避免交叉污染,而且成本低、不易堵塞、稳定性良好。 展开更多
关键词 流路切换 流路控制 电磁阀 微型蠕动泵
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计算机辅助诊断的新型电子听诊器系统 被引量：7
7
作者 黄梅 刘洪英 +2 位作者 皮喜田 敖一鹭 王孜 《中国医疗器械杂志》 2017年第3期161-165,共5页
听诊是心血管疾病、呼吸系统疾病早期诊断的重要手段。该文提出了计算机辅助诊断的新型电子听诊系统,研制了基于电容式传声器的电子听诊器及相应的智能分析软件。该电子听诊器结合了Bluetooth、OLED、SD卡存储等技术实现了三种模式下的... 听诊是心血管疾病、呼吸系统疾病早期诊断的重要手段。该文提出了计算机辅助诊断的新型电子听诊系统,研制了基于电容式传声器的电子听诊器及相应的智能分析软件。该电子听诊器结合了Bluetooth、OLED、SD卡存储等技术实现了三种模式下的实时听诊、录音存储及回放、听诊音量调节及无线传输等功能。基于PC上位机的智能分析软件以C#为编程语言,SQL Server为后台数据库,实现了听诊音的播放及波形显示,通过计算心率、提取相关特征参数T1、T2、T12、T11分析心音是否正常,生成诊断报告,并可通过邮件将听诊音及诊断报告发送到其他医生邮箱,从而可以进行远程诊断。整个系统功能完善、便携性高、用户体验良好,有利于推动电子听诊器在医院的使用,同时该系统也适用于听诊教学等多种场合。 展开更多
关键词 计算机辅助诊断 电子听诊器 智能分析
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水质监测微型蠕动泵稳定性实验研究 被引量：6
8
作者 陈松柏 温志渝 +1 位作者 魏康林 郭建 《实验科学与技术》 2012年第6期14-17,共4页
多参数水质监测仪流路取样由蠕动泵完成,其取样的稳定性直接关系到测试结果的准确度。论文针对蠕动泵输送精度、输送稳定性和使用寿命,模拟水质监测仪取样流路,测量了蠕动泵对特定体积的输送精度和多次更换蠕动泵管后重复输送的体积以... 多参数水质监测仪流路取样由蠕动泵完成,其取样的稳定性直接关系到测试结果的准确度。论文针对蠕动泵输送精度、输送稳定性和使用寿命,模拟水质监测仪取样流路,测量了蠕动泵对特定体积的输送精度和多次更换蠕动泵管后重复输送的体积以及连续运转蠕动泵输送精度随时间的变化情况。实验结果表明蠕动泵取样误差小于2,三次更换泵管后取样结果来自同一样本(可信度98),泵管连续使用寿命可达15天。 展开更多
关键词 蠕动泵 电子天平 精确度 假设检验 重复性 使用寿命
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数字微镜光谱仪光谱能量理论的研究与实验 被引量：3
9
作者 张智海 高玲肖 张文凯 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第8期2532-2537,共6页
针对目前微型光谱仪器光通量低,不利于微弱信号检测分析的问题,设计了基于哈达玛变换的近红外光谱仪,提出一种互补S矩阵编码调制的方案;通过建立以数字微镜为核心的坐标体系模型,详细推导了互补S矩阵编码调制算法对于能量的增强理论。... 针对目前微型光谱仪器光通量低,不利于微弱信号检测分析的问题,设计了基于哈达玛变换的近红外光谱仪,提出一种互补S矩阵编码调制的方案;通过建立以数字微镜为核心的坐标体系模型,详细推导了互补S矩阵编码调制算法对于能量的增强理论。实验结果表明:S矩阵编码组合测量较逐次扫描测量光能量有了明显增强,但是依然丢失近一半的光谱能量;而互补S矩阵编码方案可以在S矩阵编码调制的基础上,补偿其关状态微镜单元上损失的能量;当光谱信号极其微弱时,逐次扫描方式所测得的光谱信号淹没于噪声信号中,而S矩阵编码与互补S矩阵编码测得的光谱信号依然可辨,并且在噪声抑制方面,互补S矩阵优于S矩阵,与理论分析基本吻合。 展开更多
关键词 数字微镜光谱仪 互补S矩阵 微弱信号处理 能量理论
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新型胃液潜血智能检测胶囊系统设计 被引量：1
10
作者 吴雪莉 刘洪英 +2 位作者 皮喜田 朱兰 高小强 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2013年第8期98-101,共4页
设计了一种能够自动识别胃液潜血信息的智能电子胶囊微系统,以无创可吞服智能胶囊来自动识别胃液潜血,将检测结果无线发送至体外,体外装置接收显示检测结果图像信息,通过模板匹配算法自动识别潜血状态。在离体状态下对该系统进行了原理... 设计了一种能够自动识别胃液潜血信息的智能电子胶囊微系统,以无创可吞服智能胶囊来自动识别胃液潜血,将检测结果无线发送至体外,体外装置接收显示检测结果图像信息,通过模板匹配算法自动识别潜血状态。在离体状态下对该系统进行了原理性实验,结果表明:该系统能够较好地识别血红蛋白浓度为6～1800 mg/L的胃液潜血,并进行自动报警。系统结构原理新颖,操作简便,为早期胃癌的普查初筛提供了一种创新的方法。 展开更多
关键词 智能胶囊 胃液潜血 图像传感器 无线发射
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微流控细胞芯片LED诱导透射式荧光检测微系统 被引量：15
11
作者 顾雯雯 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第8期2159-2165,共7页
构建了用于微流控细胞分析芯片的发光二极管(LED)诱导透射式荧光检测微系统,以克服现有荧光检测系统体积大、能耗高,以及激发光光路、检测区域和荧光收集光路间光学耦合效率低等问题。该系统的激发光光路和荧光收集光路互成135°,LE... 构建了用于微流控细胞分析芯片的发光二极管(LED)诱导透射式荧光检测微系统,以克服现有荧光检测系统体积大、能耗高,以及激发光光路、检测区域和荧光收集光路间光学耦合效率低等问题。该系统的激发光光路和荧光收集光路互成135°,LED发出的激发光经透镜聚焦和激发光滤色片滤光后,经直径为200μm的小孔光阑限束,然后投射到微流控芯片通道末端的检测区域;产生的荧光及杂散光经加工后置于微流控芯片底部的发射光高通干涉滤色薄膜后,被光电倍增管收集。以HepG2肝癌细胞为测试样本对该荧光检测微系统的有效性进行了评测,结果显示:当LED工作电流为200mA,PMT控制电压为3.5V时,可产生与背景噪声明显区分的峰值信号;用250s观测时间得到了8个平均峰高为0.7V的峰值信号,与荧光显微镜观察结果一致,实现了细胞的在线计数检测功能。提出的系统为新型微全细胞分析提供了一种新的技术途径。 展开更多
关键词 荧光检测 发光二极管(LED) 透射式光路 微流控芯片 细胞计数检测
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全天时星敏感器视场选通成像系统的微开关阵列设计
12
作者 方亮 汪为民 +5 位作者 王强 程欣 范真节 张辉 赵汝进 刘恩海 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第4期74-84,共11页
针对全天时星敏感器视场选通成像系统的应用需求,设计了一种基于静电驱动的单元尺寸为4 mm、开口面积占空比为90%、响应时间为25 ms、单元数为7×7的微开关阵列。考虑到微开关阵列体硅加工工艺中材料的特性,首先确定电极宽度、支撑... 针对全天时星敏感器视场选通成像系统的应用需求,设计了一种基于静电驱动的单元尺寸为4 mm、开口面积占空比为90%、响应时间为25 ms、单元数为7×7的微开关阵列。考虑到微开关阵列体硅加工工艺中材料的特性,首先确定电极宽度、支撑梁宽度和支撑梁厚度等参数,再根据微开关单元结构的数学模型对支撑梁数目及长度进行理论分析,优化设计了微开关阵列主要结构参数。利用电磁场仿真软件和有限元仿真软件对微开关单元的驱动特性进行仿真分析,结果表明,仿真计算的微开关单元驱动电压为106.4 V时可以开启微开关单元,与理论计算结果114 V基本吻合,验证了微开关阵列设计参数的可行性。此外,利用杂光分析软件对微开关阵列引入系统内的杂散光进行仿真分析,结果表明,微开关阵列的表面反射率对系统杂散光的影响较小,即使80%的表面反射率也不会明显增加视场选通成像系统的杂散光。该研究为视场选通成像系统的微开关阵列提供了一种有效的设计方案,推动了视场选通成像系统的实际应用。 展开更多
关键词 全天时星敏感器 视场选通 背景光抑制 静电驱动 微开关阵列 占空比 响应时间
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新型体声波传感器读出电路的实验验证
13
作者 高杨 黄振华 尹汐漾 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第12期1822-1826,共5页
为了实验验证此前通过仿真验证的基于六端口反射计的新型BAW传感器读出电路的方案的可行性,本文制作了新型BAW传感器读出电路并对其进行了测试。以串联谐振频率约为1.5 GHz的薄膜体声波谐振器(FBAR)为待测器件(DUT),设计、制作了一种能... 为了实验验证此前通过仿真验证的基于六端口反射计的新型BAW传感器读出电路的方案的可行性,本文制作了新型BAW传感器读出电路并对其进行了测试。以串联谐振频率约为1.5 GHz的薄膜体声波谐振器(FBAR)为待测器件(DUT),设计、制作了一种能够满足该FBAR谐振频率测量带宽(1.3 GHz^1.7 GHz)要求的PCB上微带六端口网络和检波器,配合射频信号发生器和示波器,获得了模拟DUT(50ΩSMA匹配负载)的反射系数-频率(Γ-f)曲线测量结果。与矢量网络分析仪(VNA)的测量结果进行了对比,两者吻合较好,实验验证了"基于六端口反射计的BAW传感器读出电路"可用于FBAR谐振频率的测量。本文工作对实用化BAW传感器的研制和片上矢量网络分析仪(VNA-on-Chip)的设计都有借鉴意义。 展开更多
关键词 BAW传感器 薄膜体声波谐振器 读出电路 六端口网络 六端口反射计 矢量网络分析仪
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基于颜色识别的肠道出血诊疗微系统设计 被引量：4
14
作者 燕雪萍 刘洪英 +3 位作者 皮喜田 王刚 朱兰 郑小林 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第11期92-95,共4页
提出了一种可自动识别肠道出血区域并具有药物释放功能的微系统方案,设计了基于颜色传感器的出血检测模块和可用于粘附肠道血液的特殊吸附性薄片。引入HSL(色相Hue、饱和度Saturation、亮度Light)颜色空间法,根据出血与非出血区域色相H... 提出了一种可自动识别肠道出血区域并具有药物释放功能的微系统方案,设计了基于颜色传感器的出血检测模块和可用于粘附肠道血液的特殊吸附性薄片。引入HSL(色相Hue、饱和度Saturation、亮度Light)颜色空间法,根据出血与非出血区域色相H值的差异来实现肠道出血的智能识别,针对微量出血和较大量出血2种情况提出了不同的识别算法。实验结果表明:根据色相H值的变化可将血红蛋白浓度C>2.375 g/L的人体血液样本与无血红蛋白的模拟肠液明显区分开。当满足设定的出血阈值条件时,智能胶囊可成功触发药物释放,整个系统结构设计简单、可靠。 展开更多
关键词 肠道出血 颜色传感器 HSL颜色空间 药物释放 MEMS技术
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用于FAIMS系统的微电流检测电路 被引量：6
15
作者 闫书江 唐飞 +2 位作者 王晓浩 王帆 杨涛 《电子测量与仪器学报》 CSCD 2011年第8期711-715,共5页
为解决电容积分式电流检测法不能满足FAIMS快速测量要求的问题,设计了一种用于FAIMS系统的微电流检测电路。该设计运用I/V电阻反馈法对信号进行放大。通过屏蔽和滤波等设计,有效地降低了FAMIS系统对检测电路的高频电磁干扰。考虑到前端... 为解决电容积分式电流检测法不能满足FAIMS快速测量要求的问题,设计了一种用于FAIMS系统的微电流检测电路。该设计运用I/V电阻反馈法对信号进行放大。通过屏蔽和滤波等设计,有效地降低了FAMIS系统对检测电路的高频电磁干扰。考虑到前端电路的噪声来源,采用合理的元器件和电路设计,运用两级放大将FAIMS系统中的pA级电流放大并转换到mV量级。通过采集卡,利用LabVIEW对测得的电流信号进行采集和数据处理。实验结果表明,该电路的测量精度优于0.1 pA,采样频率高于15 Hz。进行了FAIMS系统实验,测得系统输出的背景噪声为0.2 pA。以乙醇为实验样品,在载气(N2)流量为0.8 L/min的情况下,得到了乙醇的FAIMS谱图,证明了该微电流检测电路可用于FAIMS系统。 展开更多
关键词 FAIMS 微电流检测 电阻反馈法 放大电路 LABVIEW
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微流控细胞芯片LED诱导荧光检测微系统 被引量：2
16
作者 李栋顺 徐溢 +3 位作者 彭金兰 周桢 甘俊 王尧 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期49-53,共5页
基于微流控细胞芯片分析技术和微机电系统(MEMS)加工技术,设计制作了阵列式微流控细胞检测芯片,采用自组装的顶窗型光电倍增管(PMT)和信号采集电路采集芯片微管道内流动细胞的荧光信号,构建了一种针对低浓度细胞悬浮液的微流控细胞芯片... 基于微流控细胞芯片分析技术和微机电系统(MEMS)加工技术,设计制作了阵列式微流控细胞检测芯片,采用自组装的顶窗型光电倍增管(PMT)和信号采集电路采集芯片微管道内流动细胞的荧光信号,构建了一种针对低浓度细胞悬浮液的微流控细胞芯片发光二极管(LED)诱导荧光的快速检测微系统,实现了对低浓度(≤40 Cell/mL)荧光标记的HepG2肝癌细胞悬浮液样本的定量计数和测试,而且在血液细胞共存的条件下,仍可以有效地对血液中少量HepG2肝癌细胞进行荧光计数和测试.整个系统结构简单、操作方便且检测灵敏度较高. 展开更多
关键词 微流控芯片 HEPG2肝癌细胞 细胞检测 发光二极管(LED)诱导荧光检测微系统
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基于连续光谱的微型快速救护仪采集系统设计 被引量：2
17
作者 邵胜敏 温志渝 +2 位作者 杨玉发 梁玉前 高亮 《自动化与仪表》 北大核心 2010年第4期42-45,共4页
为满足生化分析仪的小型化、智能化的要求,提出一种基于连续光谱分析的微型快速救护生化仪采集系统驱动的方案。该方案基于连续光谱分析的微小型光谱仪,设计了嵌入式Linux下的采集系统模块,实现了光谱数据的采集以及对前端CCD积分时间和... 为满足生化分析仪的小型化、智能化的要求,提出一种基于连续光谱分析的微型快速救护生化仪采集系统驱动的方案。该方案基于连续光谱分析的微小型光谱仪,设计了嵌入式Linux下的采集系统模块,实现了光谱数据的采集以及对前端CCD积分时间和A/D偏置电压的动态控制。实验表明,该数据采集模块实现了对(330～770)nm范围内光谱信号的动态实时采集,具有良好的稳定性和实时性,提高了整个微型快速救护生化仪的检测精度,缩短了检测时间。 展开更多
关键词 微型快速救护生化仪 LINUX驱动程序 ARM9 光谱信号采集
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电磁式MOEMS扫描光栅微镜驱动系统结构优化 被引量：2
18
作者 陈亮 顾雯雯 +1 位作者 温泉 李东玲 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第S02期579-585,共7页
基于现代农业发展对微型近红外光谱仪的迫切需求,对微型近红外光谱仪的电磁式MOEMS(Micro optical electronic mechanical system)扫描光栅微镜驱动系统进行结构优化改进,旨在解决MOEMS扫描光栅微镜驱动电压高、扫描角度小等问题。通过... 基于现代农业发展对微型近红外光谱仪的迫切需求,对微型近红外光谱仪的电磁式MOEMS(Micro optical electronic mechanical system)扫描光栅微镜驱动系统进行结构优化改进,旨在解决MOEMS扫描光栅微镜驱动电压高、扫描角度小等问题。通过利用专业磁场仿真软件Maxwell 16.0对不同尺寸和材料属性永磁铁进行优化仿真,得到牌号分别为N38和N52的钕铁硼(NdFeB)作为电磁式MOEMS扫描光栅微镜的工作磁铁。在此基础上,设计制造2个相同尺寸的电磁式MOEMS扫描光栅微镜芯片A1和A2,并分别结合永磁铁N38和N52开展性能测试。测试结果表明:相比磁性较弱的N38,当电磁式MOEMS扫描光栅微镜芯片A1和A2在永磁铁N52的作用下达到最大机械扫描半角时,驱动电压分别降低6.6%和8.6%,最大机械扫描半角分别增大20.2%和17.4%;此外,通过对比分析机电性能测试结果可知,通过结合永磁铁N52,电磁式MOEMS扫描光栅微镜能够获得更优异的机械扫描性能。研究结果对于提升光谱仪的光谱检测范围以及检测精度具有实际应用价值。 展开更多
关键词 光谱仪 MOEMS扫描光栅微镜 磁场强度 驱动电压 机械扫描半角
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MOEMS扫描微镜的测试实验与分析 被引量：1
19
作者 罗彪 温志渝 +2 位作者 陈李 钱蓉蓉 梁玉前 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2012年第4期307-312,共6页
针对集成角度传感器微镜在实际使用过程中的要求,在分析研究MOEMS扫描微镜结构与工作原理的基础上,进行了MOEMS扫描微镜最大偏转角度、驱动电压、谐振频率和传感器输出参数的测试.并且为了提高数据的可靠性,利用几何光学理论和误差理论... 针对集成角度传感器微镜在实际使用过程中的要求,在分析研究MOEMS扫描微镜结构与工作原理的基础上,进行了MOEMS扫描微镜最大偏转角度、驱动电压、谐振频率和传感器输出参数的测试.并且为了提高数据的可靠性,利用几何光学理论和误差理论的方法对该测试系统进行了详细分析,以此作为测试的系统误差与测试随机误差进行了误差合成.误差分析表明,该微镜在驱动电压为0.7 V时,最大偏转角为±8.704 15°,测试误差为±0.045 605°.此外,还对测试过程中扫描微镜谐响应频率随扫描模式及扫描电压而变化的现象进行了分析. 展开更多
关键词 MOEMS 微镜 角度传感器 误差分析 测试
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多参数微型快速生化检测仪光谱扫描自动定位控制系统研究 被引量：3
20
作者 吴卫馨 温志渝 +2 位作者 魏康林 周苏怡 杨庭燕 《光电技术应用》 2013年第6期40-43,90,共5页
样品检测光谱扫描自动定位控制是多参数快速生化检测仪的关键技术之一。针对重庆大学研制的基于微型光谱仪的多参数微型快速生化检测仪,提出并完成了多参数样品检测光谱扫描自动定位控制系统的设计,并基于该控制系统展开了多参数微型快... 样品检测光谱扫描自动定位控制是多参数快速生化检测仪的关键技术之一。针对重庆大学研制的基于微型光谱仪的多参数微型快速生化检测仪,提出并完成了多参数样品检测光谱扫描自动定位控制系统的设计,并基于该控制系统展开了多参数微型快速生化检测仪的联机调试实验研究。实验结果表明:样品检测吸光度的变异系数CV≤1%,吸光度的线性相关系数R2≥0.995,满足半自动生化检测仪的相关技术要求。 展开更多
关键词 微型生化检测仪 自动定位 控制 实验
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