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超薄石英玻璃晶圆双面抛光过程中破裂的探究
1
作者 李怀阳 花宁 隋镁深 《中国建材科技》 2018年第6期57-59,共3页
本文对超薄石英玻璃晶圆在双面抛光过程当中破裂的产生原因进行了研究,从受力分析及实验检测两方面分析了抛光机施压和转速对晶圆破裂的影响。研究表明:晶圆在双面抛光过程中破裂的主要原因是由于其边缘所承受的切应力和正应力超过晶圆... 本文对超薄石英玻璃晶圆在双面抛光过程当中破裂的产生原因进行了研究,从受力分析及实验检测两方面分析了抛光机施压和转速对晶圆破裂的影响。研究表明:晶圆在双面抛光过程中破裂的主要原因是由于其边缘所承受的切应力和正应力超过晶圆机械强度极限。双面抛光机转速和施加压力的大小是导致晶圆破裂缺陷产生的主要影响因素。本文对4英寸0.3mm超薄石英玻璃晶圆的加工工艺参数进行了研究,当下盘转速高于22rpm或施加轻压小于0.2bar时,晶圆破裂比例大幅提高。当下盘转速为20rpm、施加轻压0.4bar时能够在避免破裂缺陷的同时实现最快加工速度。 展开更多
关键词 双面抛光 超薄石英玻璃晶圆 破裂 压力 转速
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抛光石英玻璃亚表面缺陷研究 被引量：5
2
作者 杜秀蓉 张晓强 +3 位作者 王慧 孙元成 宋学富 隋镁深 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2017年第S1期47-49,77,共4页
针对抛光石英玻璃表面经氢氟酸溶液刻蚀后,出现麻点、划痕等缺陷;本文对出现的亚表面缺陷进行了分类,并研究了各种缺陷经氢氟酸溶液刻蚀后形态变化;结合石英玻璃加工过程对各类亚表缺陷的成因进行了分析。
关键词 石英玻璃 亚表面缺陷 研磨抛光 刻蚀
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PCVD合成超纯石英玻璃工艺研究（英文） 被引量：2
3
作者 宋学富 孙元成 +3 位作者 杜秀蓉 张晓强 花宁 李怀阳 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2017年第S1期43-46,共4页
采用PCVD方法制备超纯石英玻璃工艺中,等离子体输出功率决定了炉膛内温度场。通过气体不同温度时的电导率计算等离子体功率和效率,使用不同电导率的工作气体,导致等离子体功率改变,炉膛内温度场发生变化。使用空气作为工作气体时电导率... 采用PCVD方法制备超纯石英玻璃工艺中,等离子体输出功率决定了炉膛内温度场。通过气体不同温度时的电导率计算等离子体功率和效率,使用不同电导率的工作气体,导致等离子体功率改变,炉膛内温度场发生变化。使用空气作为工作气体时电导率大,输出功率达到40 k W,炉膛温度高于使用氧气,为PCVD方法合成超纯石英玻璃提供了适宜的温度场。 展开更多
关键词 超纯石英玻璃 PCVD 电导率
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石英玻璃晶圆的加工工艺 被引量：3
4
作者 花宁 李怀阳 +1 位作者 王友军 隋镁深 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2016年第A02期96-100,共5页
石英玻璃晶圆(quartz glass wafer)在半导体、光学等行业中应用广泛,随着半导体及光学技术的飞速发展,石英玻璃晶圆的需求量快速增长,下游厂商对石英玻璃晶圆加工精度的要求也愈发严格。为满足下游厂商对于石英玻璃晶圆产品质量与数量... 石英玻璃晶圆(quartz glass wafer)在半导体、光学等行业中应用广泛,随着半导体及光学技术的飞速发展,石英玻璃晶圆的需求量快速增长,下游厂商对石英玻璃晶圆加工精度的要求也愈发严格。为满足下游厂商对于石英玻璃晶圆产品质量与数量的要求,解决石英玻璃晶圆加工制造过程当中加工效率低、产品精度差、检验包装不规范等问题。基于客户实际使用反馈,参照硅类晶圆加工方法并结合石英玻璃基板的加工经验,从材料制造、坯料制备、精密退火、多刀切割、成型加工、精密磨抛、成品检验和清洗包装等方面对石英玻璃晶圆的加工工艺统筹开展了研究。现行工艺制造的产品能够满足绝大多数相关下游厂商对于石英玻璃晶圆质量的要求,同时实现了量产化。该生产工艺已经过市场验证,对实际生产具有指导意义。 展开更多
关键词 石英玻璃 晶圆 精密磨抛
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石英玻璃的机械振动能量损耗特性 被引量：1
5
作者 张晓强 潘瑶 +4 位作者 杜秀蓉 孙元成 宋学富 花宁 祖成奎 《飞控与探测》 2021年第1期92-97,共6页
为研究石英玻璃的机械振动能量损耗特性,以石英半球谐振子为实验对象,考察了铣磨、抛光、刻蚀和退火对石英玻璃机械振动能量损耗大小的影响,并分析了其作用机理。研究结果表明:对于采用机械加工成型的石英玻璃,表面损耗占主导作用,亚表... 为研究石英玻璃的机械振动能量损耗特性,以石英半球谐振子为实验对象,考察了铣磨、抛光、刻蚀和退火对石英玻璃机械振动能量损耗大小的影响,并分析了其作用机理。研究结果表明:对于采用机械加工成型的石英玻璃,表面损耗占主导作用,亚表面损伤是造成表面损耗的主要原因;退火可以消除机械应力,降低石英玻璃的“假想温度”,改善石英玻璃的结构稳定性,减小本征损耗。 展开更多
关键词 石英玻璃 机械振动能量损耗 机械品质因数 半球谐振子 本征损耗 表面损耗
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熔拉工艺对石英管壁厚的影响 被引量：1
6
作者 花宁 徐肖飞 +2 位作者 秦建鸿 隋镁深 王友军 《中国建材科技》 CAS 2022年第2期39-41,共3页
合成石英玻璃具有高纯度性能而被广泛应用于光纤、半导体等领域。以合成石英玻璃厚壁管为母材,采用无接触拉管法制备石英玻璃薄壁管,研究加热功率、管内气体流量、母材尺寸对石英玻璃薄壁管壁厚的影响。结果表明,加热功率、管内气体流... 合成石英玻璃具有高纯度性能而被广泛应用于光纤、半导体等领域。以合成石英玻璃厚壁管为母材,采用无接触拉管法制备石英玻璃薄壁管,研究加热功率、管内气体流量、母材尺寸对石英玻璃薄壁管壁厚的影响。结果表明,加热功率、管内气体流量与石英玻璃薄壁管壁厚成反函数关系,石英管母材截面积与石英薄壁管截面积近似成线性关系而影响壁厚。 展开更多
关键词 石英玻璃管 壁厚 熔拉工艺
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中频拉棒工艺中石墨坩埚开裂探究 被引量：1
7
作者 隋镁深 花宁 李怀阳 《中国建材科技》 2017年第6期80-81,共2页
分析了中频拉棒工艺中石墨坩埚开裂的原因,并通过理论计算得出极限高度,让生产操作规程有据可循。结果表明,石墨坩埚发生开裂都是最先从内壁开始,施加配重前计算好坩埚内壁能承受的极限应力。
关键词 石墨坩埚 抗拉强度 中频炉
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石英玻璃厚壁管制备工艺的研究
8
作者 花宁 徐肖飞 +3 位作者 秦建鸿 隋镁深 刘昌良 王友军 《中国建材科技》 CAS 2022年第6期55-58,共4页
研究了石英玻璃厚壁管加工设备、工装夹具、工艺参数对厚壁管精度及表面质量的影响,确定了厚壁管取芯工艺合适的取芯设备、冷却液、取芯钻头及工艺参数,珩磨工艺合适的珩磨头、冷却水过滤方式及工艺参数,外圆精密加工合适的工装夹具及... 研究了石英玻璃厚壁管加工设备、工装夹具、工艺参数对厚壁管精度及表面质量的影响,确定了厚壁管取芯工艺合适的取芯设备、冷却液、取芯钻头及工艺参数,珩磨工艺合适的珩磨头、冷却水过滤方式及工艺参数,外圆精密加工合适的工装夹具及工艺参数,对石英玻璃厚壁管加工工艺的选择有指导意义。 展开更多
关键词 石英玻璃厚壁管 卧式取芯 深孔珩磨 外圆加工 进给量
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气体流量和牵引速度对熔制石英管尺寸的影响
9
作者 隋镁深 花宁 +1 位作者 徐肖飞 刘昌良 《中国建材科技》 CAS 2023年第4期41-43,共3页
石英管作为特种工业技术玻璃,具有透光性好、电绝缘性好、耐腐蚀、耐高温等性能。无接触拉管法拉制成型石英管的尺寸主要受到加热功率、母材尺寸、管内气体流量、牵引速度的影响。本文主要探究管内气体流量、牵引速度对石英管尺寸的影... 石英管作为特种工业技术玻璃,具有透光性好、电绝缘性好、耐腐蚀、耐高温等性能。无接触拉管法拉制成型石英管的尺寸主要受到加热功率、母材尺寸、管内气体流量、牵引速度的影响。本文主要探究管内气体流量、牵引速度对石英管尺寸的影响。通过参数公式计算,可快速调整工艺操作拉制所需石英管。 展开更多
关键词 石英管 管内气体流量 牵引速度
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石英玻璃把持管的高效制备工艺
10
作者 花宁 李怀阳 +1 位作者 隋镁深 王友军 《中国建材科技》 2019年第4期76-77,89,共3页
石英玻璃把持管是光纤RIC-ODD制造工艺中的重要配套材料,目前国内制造效率低下,产品国产化率低。通过对石英玻璃把持管的毛坯制备技术、组合取芯技术、深孔珩磨技术进行整合研究,成功开发出一套石英玻璃把持管的高效制备工艺,该工艺现... 石英玻璃把持管是光纤RIC-ODD制造工艺中的重要配套材料,目前国内制造效率低下,产品国产化率低。通过对石英玻璃把持管的毛坯制备技术、组合取芯技术、深孔珩磨技术进行整合研究,成功开发出一套石英玻璃把持管的高效制备工艺,该工艺现已经过市场验证,对实际生产具有指导意义。 展开更多
关键词 石英玻璃 光纤 把持管
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