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基于静电力的非接触式微悬臂梁刚度标定方法
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作者 张世玉 赵聆喆 +2 位作者 于枚可 赵美蓉 郑叶龙 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第6期256-265,共10页
微悬臂梁刚度的标定在工业和学术研究中有重要的意义。传统微悬臂梁标定方法存在粘附摩擦、接触磨损等缺点。为了有效解决传统刚度标定中接触摩擦的难题,本文提出一种基于静电力的非接触式微悬臂梁刚度标定方法。该方法将静电力作为标... 微悬臂梁刚度的标定在工业和学术研究中有重要的意义。传统微悬臂梁标定方法存在粘附摩擦、接触磨损等缺点。为了有效解决传统刚度标定中接触摩擦的难题,本文提出一种基于静电力的非接触式微悬臂梁刚度标定方法。该方法将静电力作为标准载荷施加于微悬臂梁末端,基于胡克定律计算微悬臂梁刚度。对平行极板结构进行了数值模拟,结果显示微悬臂梁与参考极板的相对位置存在较小的偏差时,静电力偏差小于5%。静电力标定实验结果显示微悬臂梁刚度为0.344 N/m,相对测量不确定度为1.86%。该方法适用于微悬臂梁的刚度标定,对微纳力值研究领域具有重大意义。 展开更多
关键词 微悬臂梁 刚度标定 静电力 不确定度
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静电力平衡式MEMS电容薄膜真空计检测电路研究
2
作者 王绥辉 徐恒通 +4 位作者 李刚 韩晓东 孙雯君 成永军 李得天 《真空与低温》 2024年第2期105-111,共7页
静电力平衡式MEMS电容薄膜真空计量程宽、稳定性高,具有广阔的应用前景。测量电路是保证静电力平衡式MEMS电容薄膜真空计性能的关键因素。采用交流激励式检测方法,设计了一种微小电容检测电路,并利用软件仿真和实验测试进行验证。结果表... 静电力平衡式MEMS电容薄膜真空计量程宽、稳定性高,具有广阔的应用前景。测量电路是保证静电力平衡式MEMS电容薄膜真空计性能的关键因素。采用交流激励式检测方法,设计了一种微小电容检测电路,并利用软件仿真和实验测试进行验证。结果表明,该电路能够快速检测微小电容并将其转换为直流电压信号,分辨率为0.33 V/pF。此外,抗驱动电压干扰测试表明,该电路能够在1~100 V范围的直流驱动电压下正常工作,电容测量的输出电压最大标准差为0.010 249 V,并且具有优异的稳定性。 展开更多
关键词 静电力平衡式MEMS电容薄膜真空计 微小电容检测 交流激励式 抗驱动电压干扰
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扫描静电力显微镜及其电荷捕获/释放技术 被引量:3
3
作者 王志勇 张鸿海 +2 位作者 鲍剑斌 郭文明 汪学方 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2001年第3期232-237,共6页
介绍扫描静电力显微测量及用其实现电荷捕获释放的技术现状、发展动向 ,以及关键技术的一些最新成果。前者已被广泛应用于测量半导体表面电荷密度分布、表面电势以及铁电材料铁电体结构的研究中 ;后者可望用于研制速度和存贮容量都比现... 介绍扫描静电力显微测量及用其实现电荷捕获释放的技术现状、发展动向 ,以及关键技术的一些最新成果。前者已被广泛应用于测量半导体表面电荷密度分布、表面电势以及铁电材料铁电体结构的研究中 ;后者可望用于研制速度和存贮容量都比现在提高成千上万倍的量子器件。最后 。 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 扫描力显微镜 静电力显微镜 电荷存储 捕获释放技术 扫描静电力显微镜 量子器件 测量技术 铁电材料 半导体 微晶振
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探究电源内部静电力做功
4
作者 徐锋 《数理天地(高中版)》 2024年第20期12-14,共3页
本文首先提出中学教材有关电源内部静电场方向与内阻电势降落这对看似矛盾的叙述,接着分析两类电源模型不同的内部静电场方向和电势分布规律是因为非静电力分布不同造成的,再从做功与能量转化的角度讨论内阻电势降的成因,解释上述矛盾.
关键词 电源 静电力 高中物理 解题
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H_(2)O_(2)和Cu-π静电力协同降解水中双酚A的类芬顿过程
5
作者 彭丹丹 廖威翔 胡春 《广州大学学报(自然科学版)》 2024年第6期95-101,共7页
内分泌干扰物由于化学结构稳定很难从废水中去除,其在水环境中持续的释放仍然是水处理中备受关注的难题。文章以藻类为原料合成的铜掺杂类石墨烯催化剂(Cu@IANC)构建了以Cu为中心的富电子区域和以C为中心的贫电子区域,在含有双酚A(BPA)... 内分泌干扰物由于化学结构稳定很难从废水中去除,其在水环境中持续的释放仍然是水处理中备受关注的难题。文章以藻类为原料合成的铜掺杂类石墨烯催化剂(Cu@IANC)构建了以Cu为中心的富电子区域和以C为中心的贫电子区域,在含有双酚A(BPA)和10 mM H_(2)O_(2)的反应水溶液中,Cu@IANC对BPA的降解呈现出优异的活性和稳定性。反应水溶液中,BPA通过π-π与氢键作用,在Cu@IANC表面的贫电子区域络合,同时H_(2)O_(2)在Cu@IANC表面的富电子区域吸附,由此,在Cu@IANC表面形成多点吸附模式。在这种吸附模式下,BPA受Cu-π静电力的影响电子离域,并被H_(2)O_(2)捕获产生羟基自由基(·OH),生成的·OH游离在水溶液中攻击BPA及其中间体。H_(2)O_(2)与Cu-π静电力在生物炭基类芬顿催化剂上的协同作用是有效降解内分泌干扰物的低成本解决方案。 展开更多
关键词 内分泌干扰物 水处理技术 双反应中心 生物炭基催化剂 Cu-π静电力
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扫描探针针尖与试样间静电力的解析方法
6
作者 王洪喜 贾建援 赵剑 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2005年第12期1404-1406,共3页
针对主体为圆锥、尖端为球冠的扫描探针物理模型,基于针尖与导体平面间电场分布假设,提出计算扫描探针针尖与导体平面间的静电力解析模型。该模型模拟计算结果与采用等效电荷方法数值计算结果相一致。
关键词 针尖 静电力 静电力显微镜
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扫描探针针尖与试样间的静电力分析与建模
7
作者 王洪喜 贾建援 赵剑 《计算物理》 EI CSCD 北大核心 2006年第3期371-374,共4页
针对主体为圆锥、尖端为球冠的扫描探针针尖物理模型,提出了针尖与试样之间等效电场分布假设,基于该假设导出了二者之间静电力的解析模型,分析了针尖结构参数与静电力间的关系.模拟计算结果和数值计算结果一致,并与相关的实验结果吻合,... 针对主体为圆锥、尖端为球冠的扫描探针针尖物理模型,提出了针尖与试样之间等效电场分布假设,基于该假设导出了二者之间静电力的解析模型,分析了针尖结构参数与静电力间的关系.模拟计算结果和数值计算结果一致,并与相关的实验结果吻合,证实了电场分布假设的合理性. 展开更多
关键词 针尖 静电力 静电力显微镜
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微型线振动陀螺仪中机械静电力耦合变形研究
8
作者 郭秋芬 李峰 谢莉莉 《机电设备》 2009年第1期1-5,34,共6页
针对此现象建立微型线振动陀螺仪结构不对称造成的静电力耦合误差模型以及梳齿变形模型,使用Matlab软件进行仿真分析.同时根据有限元分析的方法,使用ANSYS软件进行分析,得到由于结构不对称造成的电场分布图、静电力分布图和变形图.这些... 针对此现象建立微型线振动陀螺仪结构不对称造成的静电力耦合误差模型以及梳齿变形模型,使用Matlab软件进行仿真分析.同时根据有限元分析的方法,使用ANSYS软件进行分析,得到由于结构不对称造成的电场分布图、静电力分布图和变形图.这些分析研究对提高微型线振动陀螺仪的精度起着非常重要的作用. 展开更多
关键词 微型线振动陀螺仪 机械静电力耦合 线速度耦合 静电力变形 Matlab仿真分析 ANSYS
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沙粒形状的不规则性及静电力对起动风速的影响 被引量:11
9
作者 岳高伟 黄宁 郑晓静 《中国沙漠》 CSCD 北大核心 2003年第6期621-627,共7页
沙粒形状的不规则性使得沙粒的质心存在着偏心距,且沙粒所处位置的不同使其偏心角各异。笔者通过理论分析给出了起动风速与沙粒的粒径、偏心距、偏心角以及静电力之间的关系模型,并通过数值模拟研究了偏心距、偏心角以及静电力对起沙风... 沙粒形状的不规则性使得沙粒的质心存在着偏心距,且沙粒所处位置的不同使其偏心角各异。笔者通过理论分析给出了起动风速与沙粒的粒径、偏心距、偏心角以及静电力之间的关系模型,并通过数值模拟研究了偏心距、偏心角以及静电力对起沙风速的影响。结果表明在风沙流形成的强电场中,沙粒偏心距为直径的0 05倍时与实验测量结果吻合得很好。 展开更多
关键词 静电力 起动风速 沙粒形状 质心 偏心距 偏心角 风沙电场
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可溯源至质量的静电力复现与测量技术 被引量:8
10
作者 齐永岳 刘明 +1 位作者 林玉池 付鲁华 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期1063-1068,共6页
为实现10-5N以下微小力值的测量及溯源,提出了一种高精度、可溯源至质量的微小力值测量系统,采用受控静电力发生装置复现微小力值,其基本工作原理是基于一种精密设计的圆柱形电容器,电容器内外电极同轴,外电极固定不动作为参考电极,内... 为实现10-5N以下微小力值的测量及溯源,提出了一种高精度、可溯源至质量的微小力值测量系统,采用受控静电力发生装置复现微小力值,其基本工作原理是基于一种精密设计的圆柱形电容器,电容器内外电极同轴,外电极固定不动作为参考电极,内电极由弹性机构支撑和导向,通过改变内外电极间的电压产生静电力,从而将力学量追溯至电容及电压等电学量,利用砝码质量与静电力平衡的原理,可以实现微小力值的溯源。实验结果表明:电容变化梯度为0.82 pF/mm,完全可以复现10-6~10-9N范围内的静电力。 展开更多
关键词 微小力值 电容变化梯度 静电力 电容传感器
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计及边缘效应的静电驱动微结构静电力计算 被引量:22
11
作者 赵剑 王洪喜 贾建援 《微纳电子技术》 CAS 2006年第2期95-97,111,共4页
从计及边缘效应的二维平行板电容计算公式出发,应用虚位移原理给出相应的静电力计算公式,在此基础上导出了矩形、圆形平行板静电力计算式。通过与有限元计算结果对比,得到了不同计算公式的精度,其中应用复变函数方法得到的简化公式形式... 从计及边缘效应的二维平行板电容计算公式出发,应用虚位移原理给出相应的静电力计算公式,在此基础上导出了矩形、圆形平行板静电力计算式。通过与有限元计算结果对比,得到了不同计算公式的精度,其中应用复变函数方法得到的简化公式形式简单,精度高,能够满足工程计算要求。 展开更多
关键词 静电力 平行板电容器 边缘效应
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考虑边缘效应的微镜静电力学性能分析 被引量:3
12
作者 陆静 向宇 +1 位作者 袁丽芸 马小强 《工程力学》 EI CSCD 北大核心 2008年第7期235-240,共6页
该文基于计及边缘效应的矩形平行板静电力计算公式,建立了扭转微镜的非线性静力学模型,分析了边缘效应对微镜静态特性和吸合特性的影响,并通过与实验数据的比较,证明该文所建立的模型更接近于实际。数值分析表明,微镜的激励电压、微镜... 该文基于计及边缘效应的矩形平行板静电力计算公式,建立了扭转微镜的非线性静力学模型,分析了边缘效应对微镜静态特性和吸合特性的影响,并通过与实验数据的比较,证明该文所建立的模型更接近于实际。数值分析表明,微镜的激励电压、微镜电极的几何尺寸等参数都会影响微镜的边缘效应,从而使微镜的静态响应产生较大的误差。因此,在某些情况下分析微镜力学性能时必须考虑边缘效应的影响。 展开更多
关键词 微镜 静态特性 吸合效应 静电力 边缘效应
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静电力作用下微梁变形分析与计算 被引量:5
13
作者 王洪喜 贾建援 樊康旗 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2005年第4期420-422,共3页
机电耦合问题是微机电系统结构分析中的重要内容之一,目前多采用有限元方法求解。作为结构分析的有限元方法从精度上来说是令人满意的,但对于结构设计来说计算效率低、费用高。本文在对微梁结构控制方程中的静电力和梁伸长拉力公式进行... 机电耦合问题是微机电系统结构分析中的重要内容之一,目前多采用有限元方法求解。作为结构分析的有限元方法从精度上来说是令人满意的,但对于结构设计来说计算效率低、费用高。本文在对微梁结构控制方程中的静电力和梁伸长拉力公式进行校正的基础上,给出一种易于实现的不需要求解方程组的数值计算方法,通过计算实例证明,该方法与有限元方法计算的结果误差在2%以内。 展开更多
关键词 微梁 静电力 微机电系统
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静电力平衡式微型硅加速度计方案分析 被引量:6
14
作者 郭秀中 陈家斌 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 1995年第3期38-43,54,共7页
静电力平衡式微型硅加速度计是一种新型加速度计。本文对这种加速度计的3种典型方案进行了分析,导出静电力(力矩)、静电力平衡回路刚度(角刚度)及加速度测量范围的表达式。有关结果可为这种加速度计参数设计提供理论依据。
关键词 微型硅加速度计 静电力平衡回路 刚度
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微陀螺静电力调频的快速收敛算法研究 被引量:1
15
作者 肖定邦 徐平 +3 位作者 侯占强 江平 吴学忠 李圣怡 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期501-503,共3页
针对电容式微陀螺谐振结构,研究了静电力对谐振频率的影响规律,提出了一种快速收敛的静电力调频算法,建立了微陀螺调频实验系统,该系统采用扫频方法测量谐振频率,利用计算机控制调频收敛过程,并对微陀螺进行了调频实验,调频过程用时少于... 针对电容式微陀螺谐振结构,研究了静电力对谐振频率的影响规律,提出了一种快速收敛的静电力调频算法,建立了微陀螺调频实验系统,该系统采用扫频方法测量谐振频率,利用计算机控制调频收敛过程,并对微陀螺进行了调频实验,调频过程用时少于5分钟,实验结果表明该调频算法具有较快的收敛速度。 展开更多
关键词 微陀螺 静电力 调频 快速收敛
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基于梳齿间距MEMS工艺误差的微传感器电容与静电力分布模型 被引量:1
16
作者 戴强 于奇 +2 位作者 束平 杨洪东 张国俊 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2010年第3期12-14,18,共4页
在理论分析与模拟仿真基础上,提出了由于梳齿微细加工误差所引起的电容和静电力概率分布模型。该模型表明电容和静电力均为类高斯分布,它们在一定区段出现的可能性可根据其准期望和准方差确定,且该准期望与无加工误差情况相比均有小于5... 在理论分析与模拟仿真基础上,提出了由于梳齿微细加工误差所引起的电容和静电力概率分布模型。该模型表明电容和静电力均为类高斯分布,它们在一定区段出现的可能性可根据其准期望和准方差确定,且该准期望与无加工误差情况相比均有小于5%的微小偏移;同时,该准方差依赖于梳齿数目和梳齿加工误差程度,当梳齿数目由10增大到60时,电容与静电力分布准方差分别增大约2倍和1倍,而当梳齿加工误差程度从5%增大到20%时,则分别增大约3.5倍和2.5倍。该模型可望为一大类梳齿结构微传感器或执行器性能偏差的理论研究和工艺实现提供参考。 展开更多
关键词 微传感器 电容分布 静电力分布 概率模型 MEMS工艺误差
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基于微石英晶振的动态非接触静电力显微测量(EFM)技术 被引量:1
17
作者 王志勇 鲍剑斌 +1 位作者 张鸿海 郭文明 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2001年第5期664-668,共5页
在一台基于微晶振的原子力显微镜的基础上 ,通过在针式传感器前端细小针尖加入可调交流偏压 ,获得高分辨率动态非接触静电力显微镜。此装置可以分别利用微小针尖与样品间的范德华力与附加的可调静电力信号 ,同时获得样品表面微观形貌特... 在一台基于微晶振的原子力显微镜的基础上 ,通过在针式传感器前端细小针尖加入可调交流偏压 ,获得高分辨率动态非接触静电力显微镜。此装置可以分别利用微小针尖与样品间的范德华力与附加的可调静电力信号 ,同时获得样品表面微观形貌特征和表面电特性 ,如表面电荷分布。 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 静电力显微镜 石英晶振 微力传感器 微观形貌 电特性
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高压静电场中粉尘静电力及收集的研究 被引量:1
18
作者 支学艺 江小华 唐敏康 《金属矿山》 CAS 北大核心 2009年第3期159-162,共4页
在电除尘器中,静电力对粉尘粒子附着在收尘极板上和收集都起着至关重要的作用。收尘极板上粉尘受到的静电力分为电晕静电力、极化静电力、接触静电力和感应静电力。通过建立模型从微观的角度推导了各种静电力的理论计算公式。模拟电除... 在电除尘器中,静电力对粉尘粒子附着在收尘极板上和收集都起着至关重要的作用。收尘极板上粉尘受到的静电力分为电晕静电力、极化静电力、接触静电力和感应静电力。通过建立模型从微观的角度推导了各种静电力的理论计算公式。模拟电除尘器中的静电场,测出在不同外加脉冲高压静电场下粉尘静电力的大小,在振打条件下测定了粉尘颗粒能否返回到气流中的条件。试验结果表明,粉尘所受静电力与外加电场成正比,当流过粉尘电流密度较大时,粉尘颗粒所受静电力较大而不易返混,同时还表明使用芒刺作为放电极也有助于遏制粉尘颗粒二次扬尘。 展开更多
关键词 高压静电 静电力 粉尘 收集 收尘极板
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用于石英水平摆倾斜仪的静电力反馈技术 被引量:1
19
作者 高尚华 姜沣 +2 位作者 李际弘 薛兵 王洪体 《地震》 CSCD 北大核心 2020年第1期151-158,共8页
石英水平摆倾斜仪在前兆地震观测中得到了广泛的应用,但是仍然存在现场安装前灵敏度未知的问题。为解决该问题,引入静电力反馈技术,理论推导了仪器的传递函数和灵敏度等参数,提出了在平行金属板结构中同时实现微位移测量和静电力反馈的... 石英水平摆倾斜仪在前兆地震观测中得到了广泛的应用,但是仍然存在现场安装前灵敏度未知的问题。为解决该问题,引入静电力反馈技术,理论推导了仪器的传递函数和灵敏度等参数,提出了在平行金属板结构中同时实现微位移测量和静电力反馈的方法,并进行了具体设计和调试。实验结果显示,样机的灵敏度测试结果与反馈模型理论计算结果一致,表明引入静电力反馈后,能够实现石英水平摆倾斜仪灵敏度参数的常数化。 展开更多
关键词 倾斜仪 静电力反馈 差动式平板电容 灵敏度
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光电反馈式静电悬浮及静电力机制研究 被引量:2
20
作者 王新杰 章海军 《光学技术》 CAS CSCD 2000年第4期369-371,共3页
本文介绍了光电反馈式静电悬浮方法 ,给出了静电悬浮力的理论计算公式 ,讨论了静电力与电极电压、电极 -悬浮体间距、悬浮体材料等因素之间的关系。通过实验测定了静电力与上述因素之间的关系曲线 ,获得了理想的结果。理论分析与实验结... 本文介绍了光电反馈式静电悬浮方法 ,给出了静电悬浮力的理论计算公式 ,讨论了静电力与电极电压、电极 -悬浮体间距、悬浮体材料等因素之间的关系。通过实验测定了静电力与上述因素之间的关系曲线 ,获得了理想的结果。理论分析与实验结果均表明 。 展开更多
关键词 静电悬浮 静电力 光电反馈
原文传递
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