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基于压电驱动的纳米级精密定位系统的研究 被引量:9
1
作者 曲东升 孙立宁 +1 位作者 王建国 秦昌 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2002年第6期506-509,共4页
利用压电陶瓷致动器作为驱动元件设计了X-Y两自由度精密定位工作台,并利用有限元分析法对机构进行了优化设计,采用电阻应变片作为微位移检测传感器,在此基础上设计了闭环控制器,该控制器包括压电陶瓷驱动单元、微位移传感器检测单元和... 利用压电陶瓷致动器作为驱动元件设计了X-Y两自由度精密定位工作台,并利用有限元分析法对机构进行了优化设计,采用电阻应变片作为微位移检测传感器,在此基础上设计了闭环控制器,该控制器包括压电陶瓷驱动单元、微位移传感器检测单元和中央处理单元,最后利用PID控制法进行了闭环控制实验研究。实验结果表明,本系统具有较好的控制品质和优异的动态性能,在对10μm×10μm两自由度工作台的控制中,闭环控制精度达10nm,阶跃响应的稳定时间小于8ms。 展开更多
关键词 压电驱动 纳米级 精密定位系统 压电陶瓷致动器 闭环控制 微位移机构
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基于积分分离数字PID控制的超精密定位系统的设计 被引量:4
2
作者 叶树亮 王克奇 《自动化技术与应用》 2003年第10期65-67,共3页
作为精密加工工业的基础 ,超精密定位技术已经成为高精度加工的关键环节之一。本文设计了集位移数据采集、处理、控制于一体的超精密定位系统。在阐述了PID控制算法的一般原理基础上 ,采用了一种基于积分分离数字PID的控制算法 。
关键词 数字PID控制 精密定位系统 系统设计 闭环控制 精密车床
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TP801组成的精密定位系统
3
作者 陈浩然 侯晓丽 《齐齐哈尔大学学报(自然科学版)》 1998年第1期79-82,共4页
本文介绍了TP801组成的精密定位系统以及其接口电路和软件设计。
关键词 定位控制 接口电路 铣床 精密定位系统 精度
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基于固高平台的宏微两级精密定位系统
4
作者 梁学佳 葛红宇 +2 位作者 张博 范伟 郭玉明 《中国科技信息》 2015年第13期119-121,共3页
精密、超精密以及纳米定位平台及其控制技术是微机电系统、微细加工、微操作与微装配、超大规模集成电路、精密、超精密加工及精密测量等领域的关键技术,定位过程中的大行程、高分辨、高精度、强实时等要求是其亟待解决的问题。
关键词 定位平台 精密定位系统 超大规模集成电路 精密加工 控制技术 微机电系统 微细加工 精密测量
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我国广域实时精密定位系统研发取得进展
5
《高科技与产业化》 2010年第1期14-14,共1页
“十一五”863计划地球观测与导航技术领域重点项目“广域实时精密定位技术与示范系统”的主要任务是通过集成导航数据实时处理、互联网、卫星通信及3G通信等技术,提高全球定位系统(GPS)的定位精度,并在其基础上增加面向我国用户的... “十一五”863计划地球观测与导航技术领域重点项目“广域实时精密定位技术与示范系统”的主要任务是通过集成导航数据实时处理、互联网、卫星通信及3G通信等技术,提高全球定位系统(GPS)的定位精度,并在其基础上增加面向我国用户的导航增值服务功能。 展开更多
关键词 数据实时处理 精密定位系统 广域 精密定位技术 研发 导航技术 全球定位系统 863计划
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我国广域实时精密定位系统研发取得进展
6
《光机电信息》 2009年第12期46-46,共1页
“十一五”863计划地球观测与导航技术领域重点项目“广域实时精密定位技术与示范系统”的主要任务是通过集成导航数据实时处理、互联网、卫星通信及3G通信等技术。提高全球定位系统(GPS)的定位精度,
关键词 数据实时处理 精密定位系统 广域 精密定位技术 研发 全球定位系统 导航技术 863计划
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广域分米级实时精密定位系统技术
7
作者 楼益栋 《中国科技成果》 2015年第5期47-47,共1页
导航与位置服务产业,无论在我国还是在全球都是战略性新兴产业,处于全球化、规模化和大众化的快速发展阶段。目前,卫星导航基准站成千上万,据不完全统计,我国各类CORS站就达到3000个左右,然而由于现在CORS是独立的,不在一个系统... 导航与位置服务产业,无论在我国还是在全球都是战略性新兴产业,处于全球化、规模化和大众化的快速发展阶段。目前,卫星导航基准站成千上万,据不完全统计,我国各类CORS站就达到3000个左右,然而由于现在CORS是独立的,不在一个系统之内,难以实现连接与无缝服务,如何更为充分与有效地发挥我国实时基准站资源潜力已成为我国急需解决的问题。 展开更多
关键词 精密定位系统 实时 技术 广域 卫星导航 CORS 服务产业 新兴产业
原文传递
涂布挤压嘴自动精密定位系统通过技术鉴定验收
8
《航空精密制造技术》 2000年第2期15-15,共1页
关键词 精密定位系统 技术鉴定 技术指标 重复定位精度 自动定位系统 涂布 平行度 定位原理 检验指标 技术要求
原文传递
微装配系统中精密定位装置的研制 被引量:6
9
作者 曹长江 张琛 +1 位作者 李振波 肖永利 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第11期1483-1485,共3页
介绍了一种微型装配系统中的精密定位装置 ,该系统利用了外形尺寸为 2 mm的电磁型微电动机制作了 5mm× 6mm的微型机器人小车作为粗定位的执行器和装配机器人 ;利用压电晶体的压电、电致伸缩特性实现了微工作台的精密定位 .系统还... 介绍了一种微型装配系统中的精密定位装置 ,该系统利用了外形尺寸为 2 mm的电磁型微电动机制作了 5mm× 6mm的微型机器人小车作为粗定位的执行器和装配机器人 ;利用压电晶体的压电、电致伸缩特性实现了微工作台的精密定位 .系统还利用了图像采集系统来实现位置反馈和实时系统状态显示和控制 。 展开更多
关键词 微电动机 微型机器人 精密定位系统 微装配系统
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研发面向MEMS加工的高精度定位系统的必要性
10
作者 冯晓梅 张大卫 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2004年第12期1-2,8,共3页
集成电路是现代信息社会经济发展的基础和核心 ,文章从IC产业的发展过程和现状出发 ,指出MEMS的微连接和系统组装已成为影响MEMS发展的关键技术。结合国内外用于MEMS系统微组装的高速高精度定位系统的研究现状与趋势提出 。
关键词 微电子封装 芯片加工 精密定位系统
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压电型宏/微双驱动精密定位机构的建模与控制 被引量:2
11
作者 肖献强 朱家诚 李欣欣 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期140-143,共4页
提出了基于PZT的串联型宏/微双驱动精密定位系统,宏动台由步进电动机直接驱动,微动台由压电陶瓷驱动器驱动。将微动台安装在宏动台上,宏动台以地面为定位参考物,微动台以宏动台为定位参考物;宏动台实现大行程微米级定位,微动台实现纳米... 提出了基于PZT的串联型宏/微双驱动精密定位系统,宏动台由步进电动机直接驱动,微动台由压电陶瓷驱动器驱动。将微动台安装在宏动台上,宏动台以地面为定位参考物,微动台以宏动台为定位参考物;宏动台实现大行程微米级定位,微动台实现纳米级的定位精度。采用基于机器视觉的视觉伺服来协调控制系统宏动和微动各自的控制部分,将距离信号作为控制阈值,实现整个定位结构的全闭环反馈控制。测试表明:系统的动态以及稳定性良好,工作行程为80mm,定位稳定时间小于40ms,重复定位精度为100nm。 展开更多
关键词 精密定位系统 宏/微双驱动 机构设计 控制系统
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双光栅精密定位 被引量:3
12
作者 凌志弘 李新章 《大学物理》 北大核心 1992年第5期33-34,32,共3页
本文介绍了一种在生产和科研上都有广泛应用的精密定位系统.分析了该定位系统的工作原理、为达到实用化而采取的具体装置和应用领域,并对提高定位分辨率的方法和零位的选取作了阐述.该系统的定位分辨率为微米量级,定位范围可达1米... 本文介绍了一种在生产和科研上都有广泛应用的精密定位系统.分析了该定位系统的工作原理、为达到实用化而采取的具体装置和应用领域,并对提高定位分辨率的方法和零位的选取作了阐述.该系统的定位分辨率为微米量级,定位范围可达1米甚至更长,并可实现对被定位物体坐标的实时、数字显示,因此在精密激光加工、激光扫描制版,激光检测等许多领域都有重要的应用. 展开更多
关键词 双光栅 精密定位系统 定位分辨率
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基于传递矩阵的柔性精密定位平台刚度建模方法
13
作者 贾国朋 郑洋洋 +2 位作者 宫金良 张彦斐 刘强 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2019年第1期56-59,63,共5页
刚度是柔性结构的重要性能指标,间接影响着柔性精密定位系统的分辨率、工作空间和承载能力等性能。针对传统刚度建模方法在精确性、简便性和通用性等综合性能上的不足,充分以矩阵为工具,结合传递矩阵、力平衡方程和位移协调方程,得到了... 刚度是柔性结构的重要性能指标,间接影响着柔性精密定位系统的分辨率、工作空间和承载能力等性能。针对传统刚度建模方法在精确性、简便性和通用性等综合性能上的不足,充分以矩阵为工具,结合传递矩阵、力平衡方程和位移协调方程,得到了综合性能较好的刚度建模方法。应用该方法求解了二维精密定位平台的刚度参数模型,并与有限元方法求解结果对比,两者误差在8%以内,表明了该方法的精确性,又由于传递矩阵良好的递推性,保证了该方法求解上的简便性。这些特性最终保证了该方法能够更好的为柔性精密定位系统的设计与分析提供可靠的理论依据。 展开更多
关键词 刚度 精密定位系统 传递矩阵 位移协调
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定位工装设计优化对航空精铸零件装配准确性的影响研究
14
作者 周燕明 《中文科技期刊数据库(引文版)工程技术》 2024年第7期0117-0120,共4页
伴随着航运业对精铸零件装配精度要求的不断提高,传统生产方式无法满足当代航空公司零件的复杂性和精度需求,根据探讨定位工装设计优化对航空公司精铸零件装配精度产生的影响,实行了技术创新和构造改善,引入了3D打印沙模技术、自动化精... 伴随着航运业对精铸零件装配精度要求的不断提高,传统生产方式无法满足当代航空公司零件的复杂性和精度需求,根据探讨定位工装设计优化对航空公司精铸零件装配精度产生的影响,实行了技术创新和构造改善,引入了3D打印沙模技术、自动化精密定位系统和模块化核心理念,探讨其精铸模具相互配合的提升,通过集成热处理和多功能设备的应用,可靠性设计和生产过程,包含精度控制方法的实行、装配全过程的自动化与整体生产过程的改善,致力于提高工作效率,保证产品质量和精确性。 展开更多
关键词 航空精铸 定位工装设计 3D打印沙模技术 自动化精密定位系统
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空间纬度对于差分系统电离层格网性能的影响 被引量:3
15
作者 冯炜 陈向东 +1 位作者 吴星 叶修松 《大地测量与地球动力学》 CSCD 北大核心 2011年第4期135-138,共4页
基于广域精密实时定位系统试算的电离层格网改正数据,使用两种加权方法对参考站上空信号穿刺点的电离层延迟进行了估算,并利用估算出的穿刺点电离层格网计算延迟和实际测量的穿刺点电离层延迟进行了比较。结果表明对于不同位置的测站,... 基于广域精密实时定位系统试算的电离层格网改正数据,使用两种加权方法对参考站上空信号穿刺点的电离层延迟进行了估算,并利用估算出的穿刺点电离层格网计算延迟和实际测量的穿刺点电离层延迟进行了比较。结果表明对于不同位置的测站,中高纬度格网改正较好,低纬度较差,这与电离层的特性有关,并不是加权内插校正方案造成的。 展开更多
关键词 差分系统 广域精密实时定位系统 电离层 格网 加权内插
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步进电机定位不准的原因分析及控制手段 被引量:1
16
作者 高洁 《河南科技》 2014年第3期81-81,共1页
对于步进电机的速度控制过程中可能发生"丢步"或"过冲"现象,本文分析了电机运行过程中定位不准的主要原因,并提出了解决定位不准的相应控制手段。
关键词 步进电机定位原因分析控制 精密定位系统
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纳米级精密机械的设计及特性
17
作者 Ying Xu P.D.Atherton +2 位作者 M.McConnell T.R.Hicks 雍玲 《国防科技参考》 1997年第3期90-93,共4页
最近,Queensgate仪器有限公司研制出一系列超精定位机械,它们将Queensgate的压电及纳米级传感器技术融合为具有亚纳米级定位精度能力的多轴定位控制器。在这篇论文中,将介绍和讨论在这些机械的研制中所用到的一些技术,以解释如何获得纳... 最近,Queensgate仪器有限公司研制出一系列超精定位机械,它们将Queensgate的压电及纳米级传感器技术融合为具有亚纳米级定位精度能力的多轴定位控制器。在这篇论文中,将介绍和讨论在这些机械的研制中所用到的一些技术,以解释如何获得纳米或亚纳米级水平的计量能力。 展开更多
关键词 纳米级 精密机械 精密定位系统
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基于非均匀有理B样条的压电陶瓷非线性校正 被引量:1
18
作者 常丽 李庆斌 +1 位作者 黄格格 修国一 《沈阳工业大学学报》 EI CAS 北大核心 2017年第2期183-187,共5页
针对压电陶瓷的非线性迟滞特性限制两级进给式大行程精密定位系统定位精度提高的问题,利用非均匀有理B样条(NURBS)快速插补算法对迟滞特性进行补偿.在通过MATLAB软件实现NURBS插补算法的过程中,将NURBS插补算法与线性插值算法进行仿真... 针对压电陶瓷的非线性迟滞特性限制两级进给式大行程精密定位系统定位精度提高的问题,利用非均匀有理B样条(NURBS)快速插补算法对迟滞特性进行补偿.在通过MATLAB软件实现NURBS插补算法的过程中,将NURBS插补算法与线性插值算法进行仿真和比较.结果表明,NURBS插补算法的误差明显小于线性插值算法的误差,验证了利用NURBS插补算法解决压电陶瓷非线性的正确性、可行性和实用性,解决了压电陶瓷非线性迟滞特性曲线模型建立的问题,且在精密工作台满足速度要求的前提下可实现更高的定位精度. 展开更多
关键词 压电陶瓷 精密定位系统 迟滞特性 NURBS插补 弓高误差 进给速度 误差补偿 定位精度
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大型贮罐液位精确检测方法的研究 被引量:1
19
作者 王惠秋 司媛春 +1 位作者 周雅夫 高希玉 《大连理工大学学报》 CAS CSCD 北大核心 1996年第3期339-342,共4页
就液面精确定位和贮罐液位自动测量方法进行了研究.给出感盘在各种状态下的受力分析及对机、电、磁一体化精密定位系统的作用.给出考虑钢丝重量和液体密度补偿的液位计算公式.
关键词 贮罐 测量 液面法 精密定位系统
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ACD 21数字化交流伺服驱动器
20
《中国乡镇企业信息》 1996年第3期2-2,共1页
一、用途:ACD 21型数字化交流伺服驱动器与 SNW、SJTJ 系列钕铁硼永磁交流正弦波同步伺服电动机组成数字化交流伺服系统。电机同轴安装光电编码器作为反馈元件。可作为精密调速系统,精密定位系统(脉冲跟踪系统),
关键词 交流伺服驱动器 数字化 光电编码器 交流伺服系统 精密定位系统 调速系统 跟踪系统 同步伺服 电动机组 反馈元件
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