HS1100/HS1101电容式湿度传感器及其应用 被引量：49

1

作者 林敏 于忠得 侯秉涛 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2001年第10期44-45,共2页

介绍了一种新型的电容式湿度传感器的湿敏特性及其测量显示仪表的工作原理。

关键词 湿度测量 电路 电容式湿度传感器 显示仪表

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于电容式湿度传感器的植物粉料含水率测量 被引量：5

2

作者 戈振扬 于英杰 张梦珠 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期174-177,共4页

提出了一种基于电容式湿度传感器的植物粉料含水率测量方法。由电容式湿度传感器和数据采集卡组成的测量系统获取植物粉料含水率数据,应用一阶差分法剔除奇异值后,通过惯性滤波法处理数据。由菊花粉含水率的13个测量值与烘干法测得的真... 提出了一种基于电容式湿度传感器的植物粉料含水率测量方法。由电容式湿度传感器和数据采集卡组成的测量系统获取植物粉料含水率数据,应用一阶差分法剔除奇异值后,通过惯性滤波法处理数据。由菊花粉含水率的13个测量值与烘干法测得的真值对比试验结果可知,测量值与真值之间的最大相对误差为1.61%,平均相对误差为0.76%,均小于5%(测量样品数为5时置信区间为95%),表明该方法能够用于测量低水分植物粉料的含水率。 展开更多

关键词 植物粉料 含水率 电容式湿度传感器

在线阅读 下载PDF 职称材料

电容式湿度传感器设计 被引量：9

3

作者 张勃 屈保中 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2004年第9期57-58,共2页

电容式湿度传感器是以高分子湿度湿敏电容器为基本感湿元件,利用单片机对测量结果进行分析处理、显示和远距离传输,测量准确度达±2.5%。

关键词 电容式湿度传感器 转换电路 相对湿度

在线阅读 下载PDF 职称材料

电容式湿度传感器多孔上电极受力可靠性分析 被引量：4

4

作者 高翔 禹胜林 张弛 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第10期1511-1515,共5页

电容式湿度传感器不断发展的同时上电极的制造工艺也在不断进行着技术更新,为了使湿度传感器的透水性更加优越,上电极在不断地被做薄,同时在多孔研究方面也在不断地进行着优化,但凡关于多孔上电极受力可靠性的问题,总是涉及到制作栅条... 电容式湿度传感器不断发展的同时上电极的制造工艺也在不断进行着技术更新,为了使湿度传感器的透水性更加优越,上电极在不断地被做薄,同时在多孔研究方面也在不断地进行着优化,但凡关于多孔上电极受力可靠性的问题,总是涉及到制作栅条过程中因为过度腐蚀而断裂的现象。利用ANSYS针对传统的条栅形多孔上电极以及自行设计的环形多孔上电极进行模拟受力分析,通过对多孔上电极内壁面进行压力加载,来模拟光刻过程中过度腐蚀的状况,观察比较两种上电极的模拟受力情况。从得到的受力形变图,等效塑性应变图以及等效应力图分析得出,环形多孔上电极具备比条栅形多孔上电极更可靠的受力响应。 展开更多

关键词 电容式湿度传感器 多孔上电极 可靠性

在线阅读 下载PDF 职称材料

一种高灵敏度的电容式湿度传感器 被引量：4

5

作者 陈果 唐诚 +1 位作者 王忠秀 王韬 《自动化应用》 2022年第8期36-37,41,共3页

湿度在日常生活工作中与人们息息相关,而电容式湿度传感器更是被广泛应用在食品检测、环境监控、生物医疗及工业生产等各个领域中,但是存在诸多不足之处,例如灵敏度不高、稳定性差、器件尺寸大等问题。为了应对电容式湿度传感器的这些问... 湿度在日常生活工作中与人们息息相关,而电容式湿度传感器更是被广泛应用在食品检测、环境监控、生物医疗及工业生产等各个领域中,但是存在诸多不足之处,例如灵敏度不高、稳定性差、器件尺寸大等问题。为了应对电容式湿度传感器的这些问题,提供了一种优化设计,设计了一种MEMS电容式湿度传感器,在半导体工艺中,引入Mo金属层,作加热层和遮蔽电极层,从而减小湿滞和传感器寄生电容,感湿材料上选择含氟PI,进而提高传感器灵敏度。通过传感器湿度特性分析,证明了该湿度传感器有着灵敏度高、重复性好、湿滞效应小且器件尺寸小的优点。 展开更多

关键词 MEMS电容式湿度传感器 Mo加热层 聚酰亚胺(PI) 半导体工艺

在线阅读 下载PDF 职称材料

高灵敏纸基无湿敏材料电容式湿度传感器 被引量：6

6

作者 程子豪 宋智 +1 位作者 夏雨人 薛严冰 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2022年第6期18-22,共5页

为了拓宽湿度传感器的应用范围,兼顾其可穿戴、低成本、高灵敏度等优点,提出了一种电容式纸基无湿敏材料湿度传感器。以叉指电极(interdigital electrode,IDE)为基本结构,利用有限元仿真软件COMSOL Multipysics仿真研究了IDE指数对传感... 为了拓宽湿度传感器的应用范围,兼顾其可穿戴、低成本、高灵敏度等优点,提出了一种电容式纸基无湿敏材料湿度传感器。以叉指电极(interdigital electrode,IDE)为基本结构,利用有限元仿真软件COMSOL Multipysics仿真研究了IDE指数对传感器性能的影响,得到具有良好湿敏特性的传感器结构。利用丝网印刷工艺制作电容式纸基湿度传感器,进行湿敏特性测试,系统研究了纸基类型、工作频率对传感器性能的影响,验证了其工艺一致性、重复性和长期稳定性。实验结果表明:以柯达相纸为基底的20指IDE传感器在1 V/200 Hz的测试电压下具有高达7379%的灵敏度、响应/恢复时间为108 s/131 s,表现出良好的重复性和长期稳定性。 展开更多

关键词 电容式湿度传感器 有限元仿真 纸基底 叉指电极 无湿敏材料 湿敏特性

在线阅读 下载PDF 职称材料

电容式湿度传感器响应特性研究 被引量：7

7

作者 王冰梅 高翔 +1 位作者 杨恒祥 禹胜林 《传感器与微系统》 CSCD 2020年第5期27-29,共3页

通过设计优化的环形上电极结构和普遍采用的栅条形上电极结构,进行理论研究和对比测试分析,并采用Looyenga及Dubinin等方程进行计算研究。为了扩大孔隙率,以提高水分子通过上电极的效率,从而缩短电容式湿度传感器的响应时间,对上电极多... 通过设计优化的环形上电极结构和普遍采用的栅条形上电极结构,进行理论研究和对比测试分析,并采用Looyenga及Dubinin等方程进行计算研究。为了扩大孔隙率,以提高水分子通过上电极的效率,从而缩短电容式湿度传感器的响应时间,对上电极多孔结构进行了优化研究,研究表明优化设计的环形上电极结构有利于改善湿度传感器的响应特性。 展开更多

关键词 电容式湿度传感器 上电极 多孔结构优化 数值模拟

在线阅读 下载PDF 职称材料

电容式湿度传感器的“输出限幅”现象分析 被引量：2

8

作者 琚雪梅 陈海东 王钧 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2002年第3期11-13,共3页

对电容式湿度传感器的“输出限幅”现象进行了较为细致的分析 ,阐明了产生“输出限幅”现象的原因 ,定义了“物理短路”和“品质下降”两个阶段 。

关键词 电容式湿度传感器 湿敏电容器 输出限辐 饱和 失效

在线阅读 下载PDF 职称材料

电容式湿度传感器温-湿-盐雾耦合环境损伤效应与机理研究 被引量：1

9

作者 李晗 魏小琴 +6 位作者 邓家卫 滕俊鹏 赵阳 赵方超 刘世乡 周雪鹏 刘伟 《装备环境工程》 CAS 2023年第7期161-167,共7页

目的研究电容式湿度传感器在温-湿-盐雾耦合环境作用下的性能退化规律和失效机理。方法将电容式湿度传感器放置在三因素循环(85℃+85%RH→40℃+0.05%NaCl中性盐雾→35℃+50%RH干燥)环境下进行加速老化试验,定期取样,分析响应时间和测量... 目的研究电容式湿度传感器在温-湿-盐雾耦合环境作用下的性能退化规律和失效机理。方法将电容式湿度传感器放置在三因素循环(85℃+85%RH→40℃+0.05%NaCl中性盐雾→35℃+50%RH干燥)环境下进行加速老化试验,定期取样,分析响应时间和测量精度退化规律,研究温-湿-盐雾对电容式湿度传感器的环境损伤机制。结果在三因素环境下老化7 d,湿度传感器在标准湿度(>50%RH)环境下感应异常;老化14 d,湿度传感器在每种标准湿度环境下感应异常。测试发现,湿敏电容的电容量偏大,绝缘电阻偏小,损耗角正切偏大,确定湿敏电容失效。湿度传感器在温-湿-盐雾环境下,在盐雾阶段,盐粒子沉积在湿敏材料表面,在干燥阶段水分挥发,最终在湿敏材料表面形成不规整颗粒物,造成湿敏电容绝缘性能降低。在通电测试时,不规整颗粒物在电场作用下易发生尖端发电,使得感湿材料绝缘性能下降,同时伴随有腐蚀和击穿烧蚀,使湿敏电容发生失效。结论湿度传感器在温-湿-盐雾环境下,盐粒子易附着在感湿材料上,在通电环境下发生击穿烧蚀,造成湿度传感器功能失效。 展开更多

关键词 电容式湿度传感器 温-湿-盐雾 加速老化 环境损伤 损伤机理

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于电容式湿度传感器的砂土水分含量测定 被引量：5

10

作者 田汇文 翟亚明 +2 位作者 唐瑞 褚浩洋 缪婧娴 《节水灌溉》 北大核心 2019年第11期22-26,32,共6页

为了研究电容式土壤湿度传感器在砂性土壤蒸发不同阶段水分含量测定时存在测值偏差问题,采用直接称重求含水率法对比电容式土壤湿度传感器测量水分含量法,分析了初始饱和砂土柱蒸发条件下水分含量变化过程。结果表明;电容式湿度传感器... 为了研究电容式土壤湿度传感器在砂性土壤蒸发不同阶段水分含量测定时存在测值偏差问题,采用直接称重求含水率法对比电容式土壤湿度传感器测量水分含量法,分析了初始饱和砂土柱蒸发条件下水分含量变化过程。结果表明;电容式湿度传感器量测法与电子秤量法在不同阶段含水率测值表现出差异性与相关性;传感器的插入影响试样蒸发过程:相较于原状土,前期扰动土蒸发速率偏高,中期偏低,后期基本一致。电容式湿度传感器测值偏差是由于插入电极薄片改变了原状土壤试样蒸发条件,其偏差程度与形成机理可从微观角度阐述,电容式土壤湿度传感器测量砂土蒸发过程中水分含量时具有分段式最佳表征形式。 展开更多

关键词 砂土水分蒸发 电容式湿度传感器 含水率 测值偏差机理 分段式表征

在线阅读 下载PDF 职称材料

电容式湿度传感器专利技术综述 被引量：3

11

作者 李进 《科学技术创新》 2018年第25期51-52,共2页

本文从专利角度对湿度传感器中应用最广泛的电容式湿度传感器技术的发展进行了梳理。基于电容式湿度传感器材料、结构不同,工艺不同,其性能和技术指标有很大差异,对其材料,结构的发展路线进行分析,筛选得到相关重要专利,形成电容式湿度... 本文从专利角度对湿度传感器中应用最广泛的电容式湿度传感器技术的发展进行了梳理。基于电容式湿度传感器材料、结构不同,工艺不同,其性能和技术指标有很大差异,对其材料,结构的发展路线进行分析,筛选得到相关重要专利,形成电容式湿度传感器领域的技术发展脉络。 展开更多

关键词 电容式湿度传感器 湿敏膜 电极 结构

在线阅读 下载PDF 职称材料

电容式湿度传感器“输出限幅”的机理探讨

12

作者 陈丽洁 王凡 +1 位作者 耿振亚 陈宝军 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2001年第1期23-25,共3页

介绍了高分子电容式湿度传感器“输出限幅”现象出现的三种情况 :在特定的振动环境条件下、在湿敏元件失效前期时、在高湿环境条件下。从电路、湿敏元件、使用条件等方面进行机理分析 ,给出了试验结果。

关键词 电容式湿度传感器 输出限幅 高分子

在线阅读 下载PDF 职称材料

电容式湿度传感器读出电路的设计 被引量：2

13

作者 肖小霞 魏榕山 《中国集成电路》 2019年第5期34-38,93,共6页

本文提出了一个电容式湿度传感器的读出电路,实现对湿度电容信号到数字信号的转换,即电容数字转换器(CDC)。该CDC采用Sigma-Delta调制技术进行电容信号的转换,同时采用Zoom-i n技术,减少参考电容的大小,扩展电容测量范围。本设计采用SMI... 本文提出了一个电容式湿度传感器的读出电路,实现对湿度电容信号到数字信号的转换,即电容数字转换器(CDC)。该CDC采用Sigma-Delta调制技术进行电容信号的转换,同时采用Zoom-i n技术,减少参考电容的大小,扩展电容测量范围。本设计采用SMI C 0. 18μm CMOS工艺,电源电压为1. 8 V,采样时钟频率为250 KHz。仿真结果表明该调制器精度达到13 bi t,整个调制器共消耗电流为180μA,输入电容的共模范围为0-8pF,动态范围为-0. 26 pF～+0. 26 pF。 展开更多

关键词 电容式湿度传感器 电容数字转换器 SIGMA-DELTA调制 Zoom-in技术

在线阅读 下载PDF 职称材料

风速对电容式湿度传感器测量值和响应时间影响的研究 被引量：1

14

作者 宋扬 《计测技术》 2011年第6期37-39,共3页

研究了风速对电容式湿度传感器最终测量值和响应时间的影响,并分析了产生影响的机理;根据测量数据拟合出了电容式湿度传感器的响应时间和风速之间的函数关系。

关键词 湿度测量 电容式湿度传感器 测量值 响应时间

在线阅读 下载PDF 职称材料

DSC-4型高温高分子电容式湿度传感器

15

《机电新产品导报》 1994年第4期109-109,共1页

DSC-4型湿度传感器以DSM-4型高温高分子湿敏元件为感温部,以简便精巧的电路完成C/V转换,具有长剑型结构,输出特性精度高,线性好,响应快。不仅在常温范围内长期稳定、可靠,而且在低、高温环境内也便于全湿范围内的测量;可配制二次仪表或... DSC-4型湿度传感器以DSM-4型高温高分子湿敏元件为感温部,以简便精巧的电路完成C/V转换,具有长剑型结构,输出特性精度高,线性好,响应快。不仅在常温范围内长期稳定、可靠,而且在低、高温环境内也便于全湿范围内的测量;可配制二次仪表或用于控制系统。广泛用于气象、机械、电子、建材、医药卫生、生物工程、食品加工、卷烟。 展开更多

关键词 高分子电容式湿度传感器 高分子湿敏元件 控制系统 输出特性 食品加工 高温环境 二次仪表 生物工程 医药卫生 技术参数

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于MEMS技术的集成压力-湿度传感器 被引量：1

16

作者 陈果 刘正波 +1 位作者 王韬 张万里 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第1期21-28,共8页

设计了一种高灵敏度的集成压力和湿度传感单元的芯片。压力传感单元基于SOI和蛇形电阻结构。室温下,传感器在载压范围为3~129 kPa内灵敏度为0.026 mV/kPa,与有限元仿真基本吻合。传感器在25~120℃范围内的热灵敏度漂移为0.004‰FS/℃,... 设计了一种高灵敏度的集成压力和湿度传感单元的芯片。压力传感单元基于SOI和蛇形电阻结构。室温下,传感器在载压范围为3~129 kPa内灵敏度为0.026 mV/kPa,与有限元仿真基本吻合。传感器在25~120℃范围内的热灵敏度漂移为0.004‰FS/℃,热零点漂移为0.25%FS/℃。湿度传感单元采用的叉指电极和电容式结构,引入含氟PI作湿度敏感膜。设计Mo电阻加热结构加快传感器降湿过程,缩短降湿时间近32%。在10%~90%RH的湿度范围,含氟PI湿度传感器的灵敏度为0.121 pF/%RH,略低于无氟PI器件。含氟基团的引入,使得传感器的湿滞较无氟PI降低16%。“电容-湿度”曲线呈指数分布,相关系数R^(2)=0.996。测试结果发现,湿度传感单元和压力传感单元拥有良好的独立工作性能。 展开更多

关键词 电容式湿度传感器 惠斯通电桥 MEMS工艺 聚酰亚胺(PI) 压力传感器

在线阅读 下载PDF 职称材料

电容式铜掺杂氧化锌湿度传感器的特性

17

作者 叶子 孙宁 刘伟景 《微纳电子技术》 北大核心 2019年第5期368-375,共8页

通过水热法制备不同原子数分数铜(Cu)掺杂氧化锌(ZnO)纳米棒材料,并通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)和X射线光电子能谱仪(XPS)对所制备样品的结构形貌及表面价态进行表征与测量。采用介电泳(DEP)操控技术将不同材料按照电场... 通过水热法制备不同原子数分数铜(Cu)掺杂氧化锌(ZnO)纳米棒材料,并通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)和X射线光电子能谱仪(XPS)对所制备样品的结构形貌及表面价态进行表征与测量。采用介电泳(DEP)操控技术将不同材料按照电场的分布均匀排列在叉指电极之间,制成电容式湿度传感器。测试数据表明与未掺杂ZnO样品相比,Cu掺杂ZnO样品尤其是原子数分数2%及5%Cu掺杂ZnO,具有更好的灵敏度等传感特性。Freundlich模型拟合结果表明,Cu掺杂能够有效提高材料的湿度吸附强度与容量。同时结合复阻抗频谱与多层吸附理论对传感机理进行深入讨论,结果表明适量Cu掺杂能够有效提高敏感材料中氧空位浓度,进而提供更多吸附位点,提高湿度传感特性。 展开更多

关键词 电容式湿度传感器 纳米棒 氧化锌(ZnO) 氧空位 FREUNDLICH模型 多层吸附理论

在线阅读 下载PDF 职称材料

PI电容湿度传感器的研制 被引量：6

18

作者 吴正元 陈涛 陈萍丽 《华中理工大学学报》 CSCD 北大核心 1999年第4期46-48,共3页

采用集成电路光刻工艺在玻璃衬底上制成了以聚酰亚胺（ＰＩ）为介质膜，以铬、金为电极的电容式湿度传感器．给出了传感器的制造工艺、湿敏特性和工作原理．测试结果表明：在相对湿度ＲＨ为０～９６％范围内Ｃ～ＲＨ曲线线性度良好，灵... 采用集成电路光刻工艺在玻璃衬底上制成了以聚酰亚胺（ＰＩ）为介质膜，以铬、金为电极的电容式湿度传感器．给出了传感器的制造工艺、湿敏特性和工作原理．测试结果表明：在相对湿度ＲＨ为０～９６％范围内Ｃ～ＲＨ曲线线性度良好，灵敏度为ＲＨ变化１％，电容变化０．１５～０．１７ｐＦ，该种湿度传感器的ＲＨ长期稳定性为３％／ 展开更多

关键词 聚酰亚胺薄膜 电容式湿度传感器 集成电路光刻工艺

在线阅读 下载PDF 职称材料

Honsywell电容式RH湿度传感器与Analog Devices的一体化温度传感器的系统应用技术

19

作者 凌云 《电工技术》 2003年第2期55-56,共2页

用美国模拟器件公司生产的内部集成温度传感器的 AD7417转换器和 Honsywell 公司生产的 IH3605热固聚酯电容式 RH 湿度传感器制成采样板,用 AT89C2051控制8点(最多16点)温湿度采样,用 TC1602A字符型液晶显示器显示组成数字式温湿度监测... 用美国模拟器件公司生产的内部集成温度传感器的 AD7417转换器和 Honsywell 公司生产的 IH3605热固聚酯电容式 RH 湿度传感器制成采样板,用 AT89C2051控制8点(最多16点)温湿度采样,用 TC1602A字符型液晶显示器显示组成数字式温湿度监测系统,该系统电路简单,编程容易,温湿度测量范围大,工作稳定可靠,具有一定的实用价值。 展开更多

关键词 电容式RH湿度传感器 AnalogDevices 一体化 温度传感器 AD7417转换器 Honsywell公司

在线阅读 下载PDF 职称材料

可穿戴柔性湿度传感器开发及在人体呼吸模式检测中的应用

20

作者 马士腾 郗广帅 +2 位作者 张冬至 周兰娟 陈璨 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2024年第9期29-32,共4页

针对传统湿度传感器存在测量范围窄、响应时间长和稳定性差等问题,开发了一种基于石墨相氮化碳(g-C_(3)N_(4))与TiO_(2)复合材料的聚酰亚胺(PI)基底电容式柔性湿度传感器。通过扫描电镜(SEM)分析了g-C_(3)N_(4)/TiO_(2)复合材料的多孔... 针对传统湿度传感器存在测量范围窄、响应时间长和稳定性差等问题,开发了一种基于石墨相氮化碳(g-C_(3)N_(4))与TiO_(2)复合材料的聚酰亚胺(PI)基底电容式柔性湿度传感器。通过扫描电镜(SEM)分析了g-C_(3)N_(4)/TiO_(2)复合材料的多孔结构和形态特性,并采用饱和盐溶液法对g-C_(3)N_(4)/TiO_(2)柔性湿度传感器在不同湿度下的湿敏性能、湿滞特性、响应和恢复速率等进行测试。结果表明,g-C_(3)N_(4)/TiO_(2)柔性湿度传感器具有相对湿度检测范围宽(0%~97%)、湿度迟滞低(1.48%)、响应时间短(3.5 s)等优势,可实现人体呼吸频率、呼吸强度以及比奥呼吸、潮式呼吸、睡眠暂缓呼吸等模式的检测。 展开更多

关键词 电容式柔性湿度传感器 湿度检测 石墨相氮化碳 水热合成

在线阅读 下载PDF 职称材料