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基于全因子实验设计的离子抛光工艺研究
被引量：
11
1
作者
马晓丽
刘礼
+2 位作者
王立强
李晓玲
曹力军
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第3期276-280,共5页
材料学院检测分析中心利用离子抛光设备在电镜制样服务中发现,金属基复合材料的送样率很高,但缺乏标准制样工艺研究。本文针对钛基复合材料,设计了离子抛光两因素四水平的全因子试验。两因素分别为加速电压和抛光时间,其中加速电压的水...
材料学院检测分析中心利用离子抛光设备在电镜制样服务中发现,金属基复合材料的送样率很高,但缺乏标准制样工艺研究。本文针对钛基复合材料,设计了离子抛光两因素四水平的全因子试验。两因素分别为加速电压和抛光时间,其中加速电压的水平为3 kV、4 kV、5 kV和6 kV,抛光时间为2 h、4 h、6 h和8 h。抛光宽度、抛光深度和抛光面积为离子抛光形态主要的表征参数。观察不同抛光工艺参数条件下的抛光形态,并利用软件对抛光成形参数进行量化和对比计算。利用方差分析验证了主效应和交互效应的模型准确性,并对离子抛光的成形参数进行了回归分析和范围预测。该研究可以为材料离子抛光工艺提供检测服务案例,建立标准制样工艺,以减小实验周期和成本,提高电镜制样效率。
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关键词
加速电压
抛光
时间
抛光
宽度
抛光
深度
抛光面积
在线阅读
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职称材料
试样凸出量和抛光时间对钛基复合材料试样制备成形参数的影响
2
作者
马晓丽
刘礼
+1 位作者
陈秋龙
王立强
《理化检验（物理分册）》
CAS
2020年第9期16-19,共4页
金属基复合材料的基体与增强相物理性能差异较大,导致电镜制样比较困难。离子抛光方法是制备金属基复合材料电子背散射衍射试样的有效手段之一,影响离子抛光质量的工艺参数主要包括试样凸出量和抛光时间。通过观察不同凸出量和抛光时间...
金属基复合材料的基体与增强相物理性能差异较大,导致电镜制样比较困难。离子抛光方法是制备金属基复合材料电子背散射衍射试样的有效手段之一,影响离子抛光质量的工艺参数主要包括试样凸出量和抛光时间。通过观察不同凸出量和抛光时间下试样的形貌,结合图像处理软件统计计算了离子抛光成形参数。结果表明:抛光宽度、抛光深度和抛光面积等成形参数随着试样凸出量的增大而减小,随着抛光时间的增加而增大。
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关键词
凸出量
抛光
时间
抛光
宽度
抛光
深度
抛光面积
在线阅读
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职称材料
题名
基于全因子实验设计的离子抛光工艺研究
被引量：
11
1
作者
马晓丽
刘礼
王立强
李晓玲
曹力军
机构
上海交通大学材料科学与工程学院
永大电梯设备(中国)有限公司
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第3期276-280,共5页
基金
上海交通大学决策咨询课题重点课题(No.JCZXSJA2018-001)
文摘
材料学院检测分析中心利用离子抛光设备在电镜制样服务中发现,金属基复合材料的送样率很高,但缺乏标准制样工艺研究。本文针对钛基复合材料,设计了离子抛光两因素四水平的全因子试验。两因素分别为加速电压和抛光时间,其中加速电压的水平为3 kV、4 kV、5 kV和6 kV,抛光时间为2 h、4 h、6 h和8 h。抛光宽度、抛光深度和抛光面积为离子抛光形态主要的表征参数。观察不同抛光工艺参数条件下的抛光形态,并利用软件对抛光成形参数进行量化和对比计算。利用方差分析验证了主效应和交互效应的模型准确性,并对离子抛光的成形参数进行了回归分析和范围预测。该研究可以为材料离子抛光工艺提供检测服务案例,建立标准制样工艺,以减小实验周期和成本,提高电镜制样效率。
关键词
加速电压
抛光
时间
抛光
宽度
抛光
深度
抛光面积
Keywords
polishing voltage
polishing time
polishing width
polishing penetration
polishing area
分类号
O766.1 [理学—晶体学]
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职称材料
题名
试样凸出量和抛光时间对钛基复合材料试样制备成形参数的影响
2
作者
马晓丽
刘礼
陈秋龙
王立强
机构
上海交通大学材料科学与工程学院
永大电梯设备(中国)有限公司
出处
《理化检验（物理分册）》
CAS
2020年第9期16-19,共4页
基金
上海交通大学决策咨询课题重点课题(JCZXSJA2018-001)。
文摘
金属基复合材料的基体与增强相物理性能差异较大,导致电镜制样比较困难。离子抛光方法是制备金属基复合材料电子背散射衍射试样的有效手段之一,影响离子抛光质量的工艺参数主要包括试样凸出量和抛光时间。通过观察不同凸出量和抛光时间下试样的形貌,结合图像处理软件统计计算了离子抛光成形参数。结果表明:抛光宽度、抛光深度和抛光面积等成形参数随着试样凸出量的增大而减小,随着抛光时间的增加而增大。
关键词
凸出量
抛光
时间
抛光
宽度
抛光
深度
抛光面积
Keywords
protrusion
polishing time
polishing width
polishing depth
polishing area
分类号
O766.1 [理学—晶体学]
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职称材料
题名
作者
出处
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1
基于全因子实验设计的离子抛光工艺研究
马晓丽
刘礼
王立强
李晓玲
曹力军
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2019
11
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
试样凸出量和抛光时间对钛基复合材料试样制备成形参数的影响
马晓丽
刘礼
陈秋龙
王立强
《理化检验（物理分册）》
CAS
2020
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职称材料
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