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一种用于处理冷氢化料的低能耗精馏工艺 被引量:6

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摘要 多晶硅系统中,低温加压四氯化硅氢化技术中由于硅粉和催化剂的存在,冷氢化料(低温加压四氯化硅氢化技术处理后物料)中杂质含量较高;而多晶硅产品的高纯度要求,导致提纯能耗高。本文介绍了一种处理冷氢化料的低能耗精馏新工艺,新工艺具有降低投资和节能降耗的先进性,最大程度降低多晶硅成本。
出处 《化工管理》 2014年第12期91-92,共2页 Chemical Engineering Management
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参考文献4

二级参考文献23

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共引文献198

同被引文献39

引证文献6

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