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氧化物半导体气敏传感器的改性研究进展 被引量:11

Progress of research on modified oxide semiconductor gas sensor
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摘要 氧化物半导体气敏传感器具有灵敏度高、制造成本低、信号测量手段简单、使用方便等优点,在有毒有害气体实时监测方面极具应用潜力。综述了新型氧化物半导体气敏感器改性的研究进展、存在的问题及发展趋势。 Oxide semiconductor gas sensor possesses exceptional properties such as high sensitivity,low cost, simple method of measurement and convenience of use,which has great utilization potentiality in the aspect of the real-time detection of toxic and harmful gases.In this paper,the research progress,the existing problems, and the development trends of modified metal oxide semiconductor gas sensor was summarized.
出处 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第17期17017-17021,共5页 Journal of Functional Materials
基金 国家自然科学基金资助项目(51262030) 云南省科技厅应用基础研究资助项目(2013FZ003) 稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室开放课题资助项目(SKL-SPM-201208)
关键词 氧化物半导体 改性 气敏传感器 研究进展 oxide semiconductor modified gas sensor research progress
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参考文献7

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