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宁波材料所在无结薄膜晶体管领域取得重要进展

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摘要最近，国外科研人员报道了一种新型的无结纳米线晶体管。这种晶体管源极和漏极与沟道区之间没有结的存在。相比传统的结型晶体管，无结晶体管的源极、漏极与沟道共用一根重掺杂的硅纳米线，从而大大简化了传统器件的制备工艺并降低了器件的制作成本。

出处《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2011年第12期141-141,共1页 New Chemical Materials

关键词薄膜晶体管材料宁波硅纳米线结型晶体管科研人员制作成本制备工艺

分类号 TN321.5 [电子电信—物理电子学]

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化工新型材料

2011年第12期

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