摘要
利用脉冲激光沉积装置在钼筒上沉积镧氧膜,通过俄歇能谱仪确定其表面成分并进行定量分析,结合扫描电镜对薄膜进行形貌观察和能谱分析。实验结果表明,本方法制备的薄膜污染小,表面不同区域成分均匀分布,发射性能测量后薄膜均一性保持良好。综合实验证明激光沉积能够制备均一性良好的镧氧薄膜。
出处
《广西物理》
2007年第2期25-27,共3页
Guangxi Physics
基金
河南科技大学人才科学研究基金(05-079)资助
河南科技大学校青年科学研究基金(2006QN042)资助
河南科技大学人才科学研究基金(05-118)资助
