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欧姆龙采用MEMS技术将非接触温度传感器灵敏度提高至原来的7倍

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摘要欧姆龙在最新召开的“第37届国际福利机器展”推出了一款新型非接触式温度传感器，由于采用了MEMS技术，传感器元件缩小为150gm，将传感器元件排成16~16的阵列时，芯片尺寸只有6mm见方，为“业界最小水平”，灵敏度提到到原有的7倍。

出处《传感器世界》 2010年第10期35-36,共2页 Sensor World

关键词传感器灵敏度 MEMS技术欧姆龙接触温度传感器元件温度传感器非接触式芯片尺寸

分类号 F416.6 [经济管理—产业经济]

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传感器世界

2010年第10期

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