摘要
全面论述了金刚石膜的研究现状,介绍了气相合成金刚石薄膜的原理、方法以及薄膜的性能特点、应用范围,并对其未来的发展进行了展望。
The present state and perspect of diamond film technology are introduced. An account of preparation principal, methods and properties is given.
出处
《材料保护》
CAS
CSCD
北大核心
1998年第12期34-35,共2页
Materials Protection