摘要
加速度计是惯性导航系统测量载体加速度和影响惯性导航系统精度的主要元器件。为提高惯性导航系统的精度,在使用加速度计以前需要进行加速度计的标定测试[1]。主要介绍了微机电(Micro Electro Mechanical Systems,简称MEMS)加速度计的六位置标定法,以便从MEMS加速度计的误差模型中分离出MEMS加速度计的各项标定参数。这些参数包括MEMS加速度计的标度因数、零位漂移以及安装误差系数。并且在得到MEMS加速度计的各项标定参数后将其封装在C函数中进行了验证实验。实验结果表明MEMS加速度计的六位置标定法的原理简单并且在工程应用中容易实现,所得到的MEMS加速度计的输出不但反映了MEMS加速度计的实际输出,而且使MEMS加速度计的线性度得到改善。
Accelerometer is the main component of Inertial Navigation System（INS） to measure the acceleration of a body. The accelerometer must be calibrated before the first time use, because the precision of accelerometer is the key factor to affect the precision of the Inertial Navigation System. Six-position testing of Micro Electro Mechanical Systems（MEMS）accelerometer was designed to determine the parameters from the error model of MEMS aceelerometer. The parameters are the scale factor of MEMS accelerometer,bias of MEMS accelerometer and error on installation of MEMS accelerometer. The parameters of MEMS accelerometer are encapsulated in the function of C for examination. The results of examination show that the way is simple to analyze on principle, easy to realize and the scale factor linearity of MEMS accelerometer has a good effect for the error model of MEMS accelerometer.
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第11期1557-1561,共5页
Chinese Journal of Sensors and Actuators
关键词
惯性导航系统
MEMS加速度计
六位置标定
标度因数
安装误差
线性度
inertial navigation system（INS）
MEMS accelerometer
six-position testing
scale factors
error of installation
nonlinearity
