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离子注入表面改性技术

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摘要 成都发动机公司将原子核物理中的辐照技术应用于材料科学,对材料表面实施改性,从而达到提高零件表面耐磨、抗蚀等工业实用性能的目的。该技术包括离子注入工艺和多功能离子注入系统,其功能包括气体离子的直接注入、离子溅射沉积膜等。多功离子注入系统由加速器、溅射枪和靶室等成。
作者 王宜荣
出处 《表面工程资讯》 2005年第2期17-17,共1页 Information of Surface Engineering
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