等离子体源低能离子注入的等离子体特性诊断

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摘要等离子体源低能离子注入的等离子体特性诊断吴桂林雷明凯刘延伟马腾才（大连理工大学三束材料改性国家重点联合实验室１１６０２４）张仲麟（大连理工大学材料工程系１１６０２４）采用ＯＥＳ技术系统地研究了电子回旋共振（ＥＣＲ）微波等离子体源低能氮离子注入的等离子...

作者吴桂林雷明凯刘延伟马腾才张仲麟

出处《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第S2期30-30,共1页 Journal of Dalian University of Technology

基金国家自然科学基金

关键词低能离子注入等离子体特性等离子体源大连理工大学国家自然科学基金电子回旋共振低能氮离子注入材料工程系脉冲负偏压微波等离子

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大连理工大学学报

1997年第S2期

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