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一种高精度微量气体泄漏检测仪的设计与研究 被引量:17

Research and Design of High Precision Micro Air-leakage Detector
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摘要 密封器件气密性检测是一项重要的安全检测之一 ,这里采用微差压原理 ,利用高精度差压传感器、精密对称气路和单片机测控系统组成测试装置 ,实现了对一定容积和压力下密封器件气密性的高精度检测。介绍了该检测仪的工作原理、硬件软件结构和系统性能。 Airproof component airtight detection is one of important safety detections.In this paper,the device is introduced,which composed of high-precision micro differential pressure sensor,rigid symmetry air pipe loop and microchip system by using micro differential pressure principle,realizing airproof component's high-precision airproof detection under certain pressure and cubage.The principle,the hardware and software construction and its performance are discussed.
出处 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第z3期59-62,共4页 Chinese Journal of Scientific Instrument
关键词 微差压原理 高精度 传感器 气体泄漏检测仪 Micro differential pressure principle High precision Sensor Air-leakage detector
  • 相关文献

参考文献1

  • 1[2]徐爱钧,彭秀华.单片机高级语言C51应用程序设计.北京:电子工业出版社,1999.

共引文献1

同被引文献63

引证文献17

二级引证文献61

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