会聚光红外光学系统及其光控系统设计被引量：2

Convergent Infrared Optical Film Thickness Monitor and Controller

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摘要针对平行光红外光学系统存在光斑大、能量损失大等不足,设计了主要用于中远红外带通滤光片膜厚监控的会聚光红外光学系统及其光控系统.会聚光红外光学系统采用双凸会聚透镜结构设计,系统的球差和色差都较小,且物距可调,适用于不同类型的光学镀膜机.相对于平行光红外光学系统,会聚光红外光学系统能有效地提高系统的信噪比;膜厚监控稳定、重复性好.

作者马勉军熊玉卿罗崇泰黄心耕

机构地区兰州空间技术物理研究所表面工程技术国家级重点实验室

出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第z1期159-161,共3页 Chinese Journal of Vacuum Science and Technology

关键词会聚光平行光红外光学系统设计

分类号 TN216 [电子电信—物理电子学]

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