提高平面元件制造精度的方法被引量：2

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摘要应用干涉测量技术对平面元件被加工表面与光胶垫板基准面之间的平行度进行测控,或者利用错胶的办法,以达到高平行度要求.根据光胶垫板加工零件过程中,零件第二面面形反弹规律,有效控制第二面面形,以达到高面形精度的要求.

作者田军史成浡耿浩

机构地区河南平原光电有限公司

出处《国防制造技术》 2021年第1期39-41,共3页 Defense Manufacturing Technology

关键词干涉测量平面元件面形平行度制造精度

分类号 TH161.1 [机械工程—机械制造及自动化]

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