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真空微电子压力传感器阵列数据采集研究
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作者 潘银松 温志渝 +1 位作者 梁玉前 蒋子平 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期435-437,共3页
阐述了真空微电子压力传感器阵列的工作原理和工作波形。设计了一种供真空微电子压力传感器阵列器件使用的 12位A/D数据采集系统。系统采用微机为主控单元 ,地址发生和时序控制部分采用可编程逻辑器件 (CPLD)实现 ,提高了设计的灵活性 ... 阐述了真空微电子压力传感器阵列的工作原理和工作波形。设计了一种供真空微电子压力传感器阵列器件使用的 12位A/D数据采集系统。系统采用微机为主控单元 ,地址发生和时序控制部分采用可编程逻辑器件 (CPLD)实现 ,提高了设计的灵活性 ,简化了电路板设计。利用该采集系统对压力传感器阵列进行了数据采集 。 展开更多
关键词 真空微电子 压力传感器阵列 数据采集 MEMS 工作原理 可编程逻辑器件 电路板设计
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