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题名一种高灵敏度的电容式湿度传感器
被引量：4
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作者
陈果
唐诚
王忠秀
王韬
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机构
电子科技大学
贵阳航天智慧农业有限公司
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出处
《自动化应用》
2022年第8期36-37,41,共3页
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文摘
湿度在日常生活工作中与人们息息相关,而电容式湿度传感器更是被广泛应用在食品检测、环境监控、生物医疗及工业生产等各个领域中,但是存在诸多不足之处,例如灵敏度不高、稳定性差、器件尺寸大等问题。为了应对电容式湿度传感器的这些问题,提供了一种优化设计,设计了一种MEMS电容式湿度传感器,在半导体工艺中,引入Mo金属层,作加热层和遮蔽电极层,从而减小湿滞和传感器寄生电容,感湿材料上选择含氟PI,进而提高传感器灵敏度。通过传感器湿度特性分析,证明了该湿度传感器有着灵敏度高、重复性好、湿滞效应小且器件尺寸小的优点。
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关键词
MEMS电容式湿度传感器
Mo加热层
聚酰亚胺(PI)
半导体工艺
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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