离子辐照是控制金属纳米颗粒分布和结构的有效方法。将能量为200 keV、剂量为5×10^(16)ions/cm^2的Ag^+注入到非晶SiO_2中,形成Ag纳米颗粒层,再用能量为200和500 ke V的Ar^+辐照Ag纳米颗粒。Ar^+辐照后,在部分较大的Ag纳米颗粒中...离子辐照是控制金属纳米颗粒分布和结构的有效方法。将能量为200 keV、剂量为5×10^(16)ions/cm^2的Ag^+注入到非晶SiO_2中,形成Ag纳米颗粒层,再用能量为200和500 ke V的Ar^+辐照Ag纳米颗粒。Ar^+辐照后,在部分较大的Ag纳米颗粒中出现空洞,空洞的平均尺寸随着Ar^+辐照剂量的增加而变大。辐照前,Ag纳米颗粒在非晶SiO_2中沿纵向呈近似高斯分布;辐照后,投影射程附近的较大的Ag纳米颗粒平均尺寸变大,而投影射程下面的小颗粒逐渐消失。结合Trim程序模拟分析结果可知,Ar^+辐照时的核能量损失和电子能量损失是影响Ag纳米颗粒尺寸分布和结构的重要因素。展开更多
文摘离子辐照是控制金属纳米颗粒分布和结构的有效方法。将能量为200 keV、剂量为5×10^(16)ions/cm^2的Ag^+注入到非晶SiO_2中,形成Ag纳米颗粒层,再用能量为200和500 ke V的Ar^+辐照Ag纳米颗粒。Ar^+辐照后,在部分较大的Ag纳米颗粒中出现空洞,空洞的平均尺寸随着Ar^+辐照剂量的增加而变大。辐照前,Ag纳米颗粒在非晶SiO_2中沿纵向呈近似高斯分布;辐照后,投影射程附近的较大的Ag纳米颗粒平均尺寸变大,而投影射程下面的小颗粒逐渐消失。结合Trim程序模拟分析结果可知,Ar^+辐照时的核能量损失和电子能量损失是影响Ag纳米颗粒尺寸分布和结构的重要因素。
