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原子层制造的研究现状与科学挑战
被引量：
1
1
作者
钱林茂
陈蓉
+11 位作者
朱利民
赵德文
彭小强
周平
邓辉
余家欣
曹坤
杜春阳
武恩秀
江亮
石鹏飞
陈磊
《中国科学基金》
CSSCI
CSCD
北大核心
2024年第1期99-114,共16页
原子层制造是指加工精度达到原子层量级的可控制造技术,包括原子层去除、添加、迁移等。针对信息、能源、航空航天等领域核心零部件超高性能构建的发展需求,通过原子层可控去除制造全频段原子级精度无损表面,并结合原子层增材制造原子...
原子层制造是指加工精度达到原子层量级的可控制造技术,包括原子层去除、添加、迁移等。针对信息、能源、航空航天等领域核心零部件超高性能构建的发展需求,通过原子层可控去除制造全频段原子级精度无损表面,并结合原子层增材制造原子级新结构,有望实现特殊功能的有效创成,保证超高性能的安全可靠。另外,后摩尔时代先进芯片的制造工艺将迈入亚纳米物理极限,原子层制造需求贯穿芯片制造工艺的全流程。本文阐述了原子层制造技术的发展需求与研究进展,围绕原子层抛光、原子层沉积/刻蚀、原子层损伤控制、原子层工艺与装备等领域,梳理了原子层制造的发展方向及研究目标,凝练了原子层制造领域未来的关键科学问题及面临的挑战,探讨了前沿研究方向和发展战略。
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关键词
原子层制造
原子层抛光
原子层沉积/刻蚀
原子层损伤控制
原子层制造工艺与装备
原文传递
题名
原子层制造的研究现状与科学挑战
被引量：
1
1
作者
钱林茂
陈蓉
朱利民
赵德文
彭小强
周平
邓辉
余家欣
曹坤
杜春阳
武恩秀
江亮
石鹏飞
陈磊
机构
西南交通
大学
机械工程
学院
华中
科技
大学
机械科学与工程
学院
上海交通
大学
机械与动力工程
学院
清华
大学
机械工程系
国防科技大学人工智能学院
大连理工
大学
机械工程
学院
南方
科技
大学
机械与能源工程系
西南
科技
大学
制造过程测试技术教育部重点实验室
天津
大学
精密测试技术及仪器全国重点实验室
出处
《中国科学基金》
CSSCI
CSCD
北大核心
2024年第1期99-114,共16页
基金
国家自然科学基金项目(52235004,51991373,52122507)的资助。
文摘
原子层制造是指加工精度达到原子层量级的可控制造技术,包括原子层去除、添加、迁移等。针对信息、能源、航空航天等领域核心零部件超高性能构建的发展需求,通过原子层可控去除制造全频段原子级精度无损表面,并结合原子层增材制造原子级新结构,有望实现特殊功能的有效创成,保证超高性能的安全可靠。另外,后摩尔时代先进芯片的制造工艺将迈入亚纳米物理极限,原子层制造需求贯穿芯片制造工艺的全流程。本文阐述了原子层制造技术的发展需求与研究进展,围绕原子层抛光、原子层沉积/刻蚀、原子层损伤控制、原子层工艺与装备等领域,梳理了原子层制造的发展方向及研究目标,凝练了原子层制造领域未来的关键科学问题及面临的挑战,探讨了前沿研究方向和发展战略。
关键词
原子层制造
原子层抛光
原子层沉积/刻蚀
原子层损伤控制
原子层制造工艺与装备
Keywords
atomic layer manufacturing
atomic layer polishing
atomic layer deposition/etching
atomic layer damage control
atomic layer manufacturing process and equipment
分类号
O562 [理学—原子与分子物理]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
原子层制造的研究现状与科学挑战
钱林茂
陈蓉
朱利民
赵德文
彭小强
周平
邓辉
余家欣
曹坤
杜春阳
武恩秀
江亮
石鹏飞
陈磊
《中国科学基金》
CSSCI
CSCD
北大核心
2024
1
原文传递
已选择
0
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参考文献
引证文献
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