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题名ZnO:Al绒面透明导电薄膜的制备及分析
被引量：9
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作者
薛俊明
黄宇
熊强
马铁华
孙建
赵颖
耿新华
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机构
南开大学光电子薄膜器件与技术研究所&天津市重点实验室
光电信息技术科学教育部重点实验室
河北省信息产业厅唐山无线电管理分局
仪器科学与动态测试教育部重点实验室
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出处
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第7期701-705,共5页
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基金
天津市重点科技攻关项目(06YFGZGX02100)
国家"973"重点基础研究项目(2006CB202602
+1 种基金
2006CB202603)
天津市自然科学重点基金项目(06YFJZJC01700)
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文摘
利用中频脉冲磁控溅射方法,采用Al掺杂(质量百分比2%)的Zn(纯度99.99%)金属材料为靶材制备平面透明导电ZnO:Al(ZAO)薄膜。利用湿法腐蚀方法,将平面ZAO薄膜在0.5%的稀盐酸中浸泡一定时间后,形成表面凹凸起伏的绒面结构。研究了平面ZAO薄膜的结构特性以及衬底温度、溅射功率和腐蚀时间对绒面ZAO薄膜表面形貌的影响,并对腐蚀前后薄膜的电阻变化进行了分析。结果表明:高温、低功率条件下制备的绒面ZAO薄膜表面形貌较好,在硅薄膜太阳电池中具有潜在的应用前景。
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关键词
中频脉冲磁控溅射
ZnO:Al(ZAO)薄膜
绒面结构
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Keywords
mid-frequency pulsed magnetron sputtering
ZnO： Al thin films
textured structure
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分类号
TM615
[电气工程—电力系统及自动化]
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题名中频脉冲溅射制备绒面ZnO透明导电薄膜
被引量：4
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作者
刘佳宇
杨瑞霞
牛晨亮
薛俊明
赵颖
耿新华
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机构
河北工业大学信息学院
南开大学光电子薄膜器件与技术研究所&天津市重点实验室
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出处
《微纳电子技术》
CAS
2006年第4期186-189,共4页
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基金
国家"973"重大基础研究项目资助(G2000028202
2000028203)
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文摘
采用中频脉冲磁控溅射系统制备高透过率、高电导率的平面ZnO薄膜。电阻率为5.57×10-4Ω·cm,载流子浓度2.2×1020cm-3,霍尔迁移率40.1cm2/V·s,可见光范围内(400～800nm)的平均透过率大于85%。用酸腐蚀的方法可以获得绒面效果。分析了气压和温度对绒面结构的影响,获得了适合薄膜太阳能电池要求的绒面ZnO透明导电薄膜。
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关键词
中频脉冲溅射
绒面氧化锌
透明导电膜
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Keywords
mid-frequency sputtering
textured ZnO
transparent conductive film
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分类号
TN304.054
[电子电信—物理电子学]
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