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Temperature Field Analysis and Adaptive Neuro-fuzzy Inference System for MgO Single Crystal Production 被引量:1
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作者 李铁 WANG Zhen 王宁会 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2012年第6期1089-1095,共7页
The temperature field in MgO single crystal furnace is crucial to grow high-purity MgO single crystals with large sizes. In order to build proper temperature gradient, firstly finite element method (FEM) was used to... The temperature field in MgO single crystal furnace is crucial to grow high-purity MgO single crystals with large sizes. In order to build proper temperature gradient, firstly finite element method (FEM) was used to study the temperature field distributions, and then a temperature controller with adaptive neuro- fuzzy inference system (ANFIS) was developed based on the result of FEM and practical experiences. When the temperature in MgO single crystal furnace was changed, the controller would regulate the positions of three- phase electrodes and the voltage of the power simultaneously. The experimental results indicate that using the adaptive neuro-fuzzy control system can improve the quality and the quantity of the MgO single crystal production. 展开更多
关键词 finite element analysis MgO single crystals furnace temperature field ANFIS
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Absence of magnetic order in dichloro[1,2-bis(diphenylphosphino)ethane]nickel^(2+)single crystal
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作者 Shuaiqi Ma Linlin An Xiangde Zhu 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2021年第5期613-616,共4页
Dichloro[1,2-bis(diphenylphosphino)ethane]nickel^(2+(NiCl2(dppe))is an organic compound containing C_(26)H_(24)P_(2)(dppe)molecules and Cl^(-),Ni^(2+ions.The large-size NiCl_(2)(dppe)single crystals with longest dimen... Dichloro[1,2-bis(diphenylphosphino)ethane]nickel^(2+(NiCl2(dppe))is an organic compound containing C_(26)H_(24)P_(2)(dppe)molecules and Cl^(-),Ni^(2+ions.The large-size NiCl_(2)(dppe)single crystals with longest dimension of 4 mm were grown by the method of slow evaporation of organic solution.Single crystal x-ray diffraction spectrum indicates that the single crystal is of high quality.Magnetization results of the NiCl_(2)(dppe)single crystals show an anisotropic paramagnetism behavior and diamagnetic background,which come from Ni^(2+ions and benzene ring,respectively.However,according to the specific heat results with temperature down to 0.1 K and magnetic field up to 14 T,no expected field-induced quantum phase transition was observed in NiCl_(2)(dppe)single crystals. 展开更多
关键词 ANISOTROPIC PARAMAGNETIC single crystal ultra low temperature specific heat
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等离子体加热单晶体生长炉外部换热器设计研究
3
作者 徐留茜 毕孝国 《辽宁化工》 2025年第1期105-110,共6页
针对射频等离子体单晶体生长炉的射频等离子体反应器壁面温度高并且接通射频电源的导电线圈长期暴露于工作空间会存在的安全问题,设计研究出了新型螺旋缠绕管换热器。首先理论计算螺旋缠绕管换热器的主要结构参数,然后利用有限元分析方... 针对射频等离子体单晶体生长炉的射频等离子体反应器壁面温度高并且接通射频电源的导电线圈长期暴露于工作空间会存在的安全问题,设计研究出了新型螺旋缠绕管换热器。首先理论计算螺旋缠绕管换热器的主要结构参数,然后利用有限元分析方法对螺旋缠绕管式换热器进行物理模型建立和数值模拟,最后根据螺旋缠绕管换热器表面温度数值分析结果,优化其结构参数。结果表明:采用3股螺旋管,螺旋缠绕管换热器高120 mm,内环直径60 mm,外环直径90 mm,紫铜管直径8 mm。螺旋缠绕管换热器可以实现外表面温度低于323K的国家标准,实现射频等离子体加热单晶生长的安全生产。 展开更多
关键词 螺旋缠绕管换热器 有限元分析方法 数值模拟 射频等离子体单晶体生长炉
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基于WOA优化FNN-PID的单晶硅加热炉炉温控制
4
作者 周佳凯 张洪 《半导体技术》 CAS 北大核心 2025年第1期86-94,共9页
针对单晶硅加热炉炉温控制的大惯性、强耦合、长调节时间等问题,提出了基于鲸鱼优化算法(WOA)的优化模糊神经网络(FNN)比例-积分-微分(PID)算法。通过测试实验装置的温度推算出模型表达式,采用WOA进行选代寻优,得到合适的PID参数,利用FN... 针对单晶硅加热炉炉温控制的大惯性、强耦合、长调节时间等问题,提出了基于鲸鱼优化算法(WOA)的优化模糊神经网络(FNN)比例-积分-微分(PID)算法。通过测试实验装置的温度推算出模型表达式,采用WOA进行选代寻优,得到合适的PID参数,利用FNN对PID参数进行实时调整,以实现动态解耦。通过仿真软件进行仿真验证,并在搭建的模型上分别进行阶跃响应实验和信号跟随实验。仿真结果表明,相较于传统的PID算法和FNN-PID算法,基于WOA的优化FNN-PID算法有效提升了系统的升温速度且无超调。对加热炉进行升温实验,结果表明温度超调量最高为0.9℃,恒温区温控精度保持在±0.3℃,表明该方法可有效提升系统升温速度和稳定性。 展开更多
关键词 多温区温度控制 鲸鱼优化算法(WOA) 模糊神经网络(FNN) 比例-积分-微分(PID) 单晶硅加热炉
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Pt-Al<sub>2</sub>OM<sub>3</sub>Composite Material Designed for Cyclic Production of Optical Glasses under High Temperature Conditions
5
作者 Aleksandr Bochegov Aleksandr Ermakov Irina Vandysheva 《Journal of Materials Science and Chemical Engineering》 2014年第3期30-36,共7页
The article considers one of the possible approaches to the solution of an urgent issue of metal consumption reduction, increase of operating life and maximum operating temperature as well as reduction of irrecoverabl... The article considers one of the possible approaches to the solution of an urgent issue of metal consumption reduction, increase of operating life and maximum operating temperature as well as reduction of irrecoverable losses of platinum products and alloys when operating under high temperature conditions, particularly for glassblowing and single crystal growing crucibles. A two-layered composite material based on platinum-group metals and corundum plasma ceramics is thoroughly investigated. A successful experience of crucibles exploitation, designed for production of high temperature optical glasses from the composite and results of the research on composite material specimens are described. 展开更多
关键词 Sandwich-Structured Composite Material Plasmaceramics Platinum-Group Metals Reduction of Metal Consumption Crucibles for Glassblowing and single crystal Growing HIGH temperature Creep HIGH temperature Strength and heat Resistance Irrecoverable Losses
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型壳加热温度对单晶高温合金显微组织及“雀斑”形成的影响
6
作者 王志成 李嘉荣 +2 位作者 刘世忠 杨万鹏 王效光 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第4期1191-1203,共13页
利用所设计的阶梯试样进行定向凝固试验和模拟,研究定向凝固过程型壳加热温度对单晶高温合金铸件显微组织和“雀斑”形成的影响。分析糊状区的温度场及形貌。结果表明,升高型壳加热温度,一次和二次枝晶间距减小,糊状区液相的渗透率和对... 利用所设计的阶梯试样进行定向凝固试验和模拟,研究定向凝固过程型壳加热温度对单晶高温合金铸件显微组织和“雀斑”形成的影响。分析糊状区的温度场及形貌。结果表明,升高型壳加热温度,一次和二次枝晶间距减小,糊状区液相的渗透率和对流通道的宽度降低,“雀斑”形成倾向性降低,“雀斑”宽度减小,“雀斑”区域枝晶碎片减少。此外,随着型壳加热温度的升高,糊状区液相冷却速率增加,糊状区熔体的冷却时间减少,液体流动对枝晶的破碎程度得到削弱,这进一步降低单晶高温合金铸件“雀斑”形成的倾向性。 展开更多
关键词 单晶高温合金 “雀斑”形成 型壳加热温度 定向凝固 数值模拟
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基于ANSYS的真空热处理炉的温度场分析
7
作者 周军勇 俞能君 +4 位作者 金向阳 单杰锋 张朋越 张志高 葛洪良 《热加工工艺》 北大核心 2024年第8期31-37,共7页
利用ANSYS Workbench软件分析了管式真空热处理炉炉膛内部温度场分布,通过模拟隔热层放置位置/厚度、工件盒厚度/材质、筛网厚度/材质对炉膛内部均温区范围及其平均温度的影响,获得了不同热处理炉隔热层、工件盒与筛网的设计参数;通过... 利用ANSYS Workbench软件分析了管式真空热处理炉炉膛内部温度场分布,通过模拟隔热层放置位置/厚度、工件盒厚度/材质、筛网厚度/材质对炉膛内部均温区范围及其平均温度的影响,获得了不同热处理炉隔热层、工件盒与筛网的设计参数;通过优选设计参数,可使均温区长度从240 mm提升至320 mm,提升了33.33%,平均温度从958.25℃提升至962.94℃。最后采用优化后的热处理炉结构参数对负载Nd2Fe14B试样的温度场进行了仿真。结果表明,Nd2Fe14B永磁体的均温区范围及平均温度得到了明显提升,磁体平均温度从959.07℃提高到963.06℃,且磁体的温度起伏明显趋于平稳,从±1.06℃优化至±0.21℃。 展开更多
关键词 真空热处理炉 ANSYS 温度场仿真 均温区 永磁体
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GaFeO_(3)∶Mg晶体的生长及磁学性能研究
8
作者 王文凯 潘秀红 +6 位作者 胡雨青 刘学超 陈小红 陈锟 方婧红 贺欢 倪津崎 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2024年第10期1699-1704,共6页
本文利用光学浮区法生长出了直径为7 mm的铁电单晶Mg_(x)Ga_(1-x)FeO_(3)(x=0.02、0.05、0.07和0.10),研究了Mg^(2+)对GaFeO_(3)(GFO)晶体饱和磁化强度和磁性转变温度的作用。通过XRD测试了晶体的结构和物相,结果显示,所有制备的晶体样... 本文利用光学浮区法生长出了直径为7 mm的铁电单晶Mg_(x)Ga_(1-x)FeO_(3)(x=0.02、0.05、0.07和0.10),研究了Mg^(2+)对GaFeO_(3)(GFO)晶体饱和磁化强度和磁性转变温度的作用。通过XRD测试了晶体的结构和物相,结果显示,所有制备的晶体样品对应标准晶体卡库GFO(PDF#76-1005)的衍射特征,无其他杂相出现。XRD精修结果表明,该晶体结构为正交结构,空间群为Pna 2_(1),晶格常数和晶胞体积随着Mg^(2+)掺杂量的增加,呈现先增加后减小的趋势。通过综合物性测量系统研究了晶体的磁性能,结果表明,磁性转变温度和饱和磁化强度随着Mg^(2+)掺杂量的增加,同样呈现先增加后减小的趋势。当Mg^(2+)掺杂量x=0.07时,磁性转变温度和饱和磁化强度达到最大,分别为187.82 K、8.75 emu/g,达到了掺杂改性的目的。 展开更多
关键词 铁电单晶 GaFeO_(3)∶Mg 光学浮区法 饱和磁化强度 磁性转变温度 矫顽场
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镍基单晶涡轮叶片定向凝固过程温度场数值模拟研究进展
9
作者 孙佳怡 董龙沛 +2 位作者 赵云松 王恩会 侯新梅 《特殊钢》 2024年第4期34-40,共7页
作为先进航空发动机不可缺少的核心部件之一,镍基单晶涡轮叶片(简称单晶叶片)的空心结构尺寸精度、合金元素的分布均匀性和表面及内腔冶金质量等要求极为苛刻。研究发现,定向凝固过程中温度梯度的控制直接影响单晶叶片性能和质量,能否... 作为先进航空发动机不可缺少的核心部件之一,镍基单晶涡轮叶片(简称单晶叶片)的空心结构尺寸精度、合金元素的分布均匀性和表面及内腔冶金质量等要求极为苛刻。研究发现,定向凝固过程中温度梯度的控制直接影响单晶叶片性能和质量,能否持续获得稳定热流成为定向凝固技术的关键。随着计算机技术的不断进步,数值模拟已经成为单晶叶片定向凝固研究的重要手段之一。首先,对单晶叶片制备技术进行了介绍,分析了定向凝固过程中的传热方式。其次,总结了数值模拟界面换热系数边界条件的优化方法,重点介绍了Beck非线性估算法和有限差分法在界面换热系数求解中的应用,证明了两种方法均可以对铸件/型壳间的界面换热系数进行求解,有效提升了温度场模拟的准确性。最后,对定向凝固过程温度场数值模拟的研究进展进行了追踪,总结归纳出了工艺参数对温度场的影响规律。基于对镍基单晶涡轮叶片定向凝固过程温度场数值模拟研究进展的分析,提出了定向凝固工艺优化方向以及相关技术后续的发展趋势,以促进单晶涡轮叶片的高质量研发。 展开更多
关键词 镍基单晶涡轮叶片 定向凝固 数值模拟 温度场 界面换热系数
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红外测温仪在碳化硅单晶生长炉中的应用 被引量:1
10
作者 靳丽岩 《电子工艺技术》 2024年第4期51-55,共5页
碳化硅单晶生长炉的温度监测及控制是碳化硅晶体生长工艺的关键。针对碳化硅单晶生长炉的高温测量需求及使用工况,分析了红外测温仪测温的工作原理及分类,研究了碳化硅单晶生长炉的测温结构及温度控制技术。通过引入模糊PID算法实现了... 碳化硅单晶生长炉的温度监测及控制是碳化硅晶体生长工艺的关键。针对碳化硅单晶生长炉的高温测量需求及使用工况,分析了红外测温仪测温的工作原理及分类,研究了碳化硅单晶生长炉的测温结构及温度控制技术。通过引入模糊PID算法实现了热场温度的稳定控制,经过升温测试试验,达到碳化硅工艺生长的要求。 展开更多
关键词 碳化硅 单晶生长炉 红外测温仪 高温测量
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碳/碳材料作为单晶炉发热体的研究 被引量:1
11
作者 熊赢超 吴雨 方志 《自动化应用》 2024年第2期113-115,共3页
发热体作为单晶炉的唯一热源,是影响拉晶质量的重要部件。通过与传统石墨发热体材料进行对比实验,分别针对电阻率、电阻温度稳定系数、导热系数、力学性能、抗腐蚀性5个重要因素,结合自身的工艺进行比较,探究碳/碳材料作为单晶炉发热体... 发热体作为单晶炉的唯一热源,是影响拉晶质量的重要部件。通过与传统石墨发热体材料进行对比实验,分别针对电阻率、电阻温度稳定系数、导热系数、力学性能、抗腐蚀性5个重要因素,结合自身的工艺进行比较,探究碳/碳材料作为单晶炉发热体的优劣势。 展开更多
关键词 单晶炉 发热体 碳/碳 对比实验
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三温区坩埚下降法生长硫镓银晶体 被引量:7
12
作者 张伟 朱世富 +2 位作者 赵北君 刘敏文 李一春 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期324-328,共5页
本文通过对硫镓银单晶生长习性的分析研究 ,设计组装了三温区单晶炉 ,采用三温区坩埚下降法生长出了外形完整、无裂纹的AgGaS2 单晶体 ,尺寸达10mm× 2 5mm。实验测定了AgGaS2 晶体的差热分析曲线和红外透射谱 ,以及单晶 { 112 }... 本文通过对硫镓银单晶生长习性的分析研究 ,设计组装了三温区单晶炉 ,采用三温区坩埚下降法生长出了外形完整、无裂纹的AgGaS2 单晶体 ,尺寸达10mm× 2 5mm。实验测定了AgGaS2 晶体的差热分析曲线和红外透射谱 ,以及单晶 { 112 }解理面的X射线衍射谱 ,结果表明生长晶体的质量较高。 展开更多
关键词 三温区 坩埚下降法 晶体生长 硫镓银 单晶体 三元化合物半导体
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DD6单晶合金过渡液相扩散焊工艺 被引量:24
13
作者 李晓红 毛唯 +1 位作者 郭万林 谢永慧 《焊接学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期51-54,共4页
对国内自行研制的第二代单晶合金DD6的过渡液相扩散焊(TLP扩散焊)工艺进行了研究.所采用中间层合金的主要成分与DD6母材基本一致,同时加入一定量的B作为降熔元素.试验结果表明,在文中的试验条件下,很难获得微观组织与DD6母材完全一致的... 对国内自行研制的第二代单晶合金DD6的过渡液相扩散焊(TLP扩散焊)工艺进行了研究.所采用中间层合金的主要成分与DD6母材基本一致,同时加入一定量的B作为降熔元素.试验结果表明,在文中的试验条件下,很难获得微观组织与DD6母材完全一致的TLP扩散焊接头.1290℃/12h规范扩散焊接头的连接界面,约一半区域为与DD6母材类似的γ+γ'组织,其它区域则为γ固溶体基体上分布着不同形态的硼化物,其980℃的持久性能接近母材性能指标的90%.延长扩散焊保温时间至24h,连接界面上的不均匀区域减少,其980℃及1100℃的持久性能分别达母材性能指标的90%~100%和70%~80%. 展开更多
关键词 单晶合金 TLP扩散焊 接头持久性能
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以炉温为基准的炉膛总括热吸收率 被引量:19
14
作者 石伟 陈海耿 宁宝林 《钢铁》 CAS CSCD 北大核心 1997年第4期69-72,共4页
推导了均匀制度下的炉膛总括热吸收率φ_(CF),并讨论了诸影响因素。在段法基础上,建立了热电偶温度预示模型,计算出非均匀制度下炉温、φ_(CF)及φ_(OG)的分布。进行了影响因素的预示计算和实验验证。
关键词 炉温 炉膛 总括热吸收率 炉气 锅炉
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轴向磁场对硅单晶Czochralski生长过程的影响 被引量:8
15
作者 李友荣 余长军 +1 位作者 吴双应 彭岚 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期249-254,共6页
利用有限元方法对炉内的传递过程进行了全局数值模拟,假定熔体和气相中的流动都为准稳态轴对称层流,熔体为不可压缩流体,Cz炉外壁温度维持恒定,模拟磁场强度范围为(0-0.3)T,研究了用Czochralski(Cz)法生长单晶硅轴向磁场对熔体流动和氧... 利用有限元方法对炉内的传递过程进行了全局数值模拟,假定熔体和气相中的流动都为准稳态轴对称层流,熔体为不可压缩流体,Cz炉外壁温度维持恒定,模拟磁场强度范围为(0-0.3)T,研究了用Czochralski(Cz)法生长单晶硅轴向磁场对熔体流动和氧传输过程的影响.结果表明:轴向磁场可有效地抑制熔体内的流动,但增大加热器功率和结晶界面处晶体内的轴向温度梯度;对于常规Cz炉,轴向磁场可增大结晶界面平均氧浓度,而对于具有气体导板的Cz炉,则会减小结晶界面平均氧浓度. 展开更多
关键词 材料科学基础学科 全局分析 有限元方法 硅Cz炉 轴向磁场
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区熔连铸法制备单晶铜的铸型温度场分布 被引量:3
16
作者 刘振亭 李炳 +3 位作者 范新会 王鑫 严文 陈建 《西安工业大学学报》 CAS 2009年第5期447-451,共5页
利用区域熔化-热型连铸法制备单晶铜线材这项新技术中,能否通过控制不同的加热功率和牵引速度来控制铸型温度场的合理分布是成功生产单晶线材的关键.本实验在加热功率为7 kW、8 kW和9 kW,牵引速度为40 r/min6、0 r/min、80 r/min和100 r... 利用区域熔化-热型连铸法制备单晶铜线材这项新技术中,能否通过控制不同的加热功率和牵引速度来控制铸型温度场的合理分布是成功生产单晶线材的关键.本实验在加热功率为7 kW、8 kW和9 kW,牵引速度为40 r/min6、0 r/min、80 r/min和100 r/min,对金属钼丝牵引的铸型温度和型口温度进行了测量,并对每组线材的组织演化过程及单晶的生长方向进行观察、分析和标定.结果显示,铸型温度主要受加热功率控制,而型口温度主要受牵引速度的影响;当加热功率与牵引速度在一定范围内匹配时,铸型温度场分布合理,可在一个较大的工艺控制范围内生产出无限长小直径单晶铜线材. 展开更多
关键词 单晶铜线材 区域熔化 热型连铸 加热功率 牵引速度 温度场
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高温热管MCT晶体材料生长炉 被引量:5
17
作者 虞斌 朱亚军 +1 位作者 刘铁臣 涂善东 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2000年第2期53-56,共4页
介绍了同轴径向传热的高温热管结构、工作原理及其传热特性。根据这种高温热管的传热特性 ,结合Bridgman晶体生长法 ,研制了碲镉汞 (MCT)晶体材料生长炉 ,并利用该热管炉生长出了合格的 MCT晶体材料试样。
关键词 高温热管 MCT晶体材料 生长炉
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基于自适应解耦的加热炉燃烧系统控制 被引量:3
18
作者 鲁照权 任才横 +4 位作者 何娟 邹扬举 汪红梅 董学平 张晓江 《化工自动化及仪表》 CAS 2013年第7期827-830,837,共5页
钢坯加热炉具有多个温区,各温区存在着较强的耦合性,具有大惯性、大时滞及不确定性等特点,运行中还存在着负荷变化及燃气压力波动等扰动。由于建立准确数学模型很困难,使得一些解耦方法难以应用。针对加热炉的特点,提出了基于增益自适... 钢坯加热炉具有多个温区,各温区存在着较强的耦合性,具有大惯性、大时滞及不确定性等特点,运行中还存在着负荷变化及燃气压力波动等扰动。由于建立准确数学模型很困难,使得一些解耦方法难以应用。针对加热炉的特点,提出了基于增益自适应的解耦方法,有效克服了模型偏差或系统参数摄动的影响。在解耦合的基础上,对各温区设计了温度串级双闭环交叉限幅比值控制。仿真结果表明:在系统参数大幅度摄动时,具有良好的解耦能力和优良的控制性能。 展开更多
关键词 钢坯加热炉 三温区 自适应解耦 交叉限幅 比值控制
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无需参考信号的单晶炉温度干扰抑制新方法 被引量:1
19
作者 张新雨 刘丁 +2 位作者 梁军利 汪姣 杨文 《西安理工大学学报》 CAS 北大核心 2014年第4期379-385,共7页
为有效地抑制单晶炉热场温度测量值中的低频干扰,改善热场温度的估计精度,提出了一种无需参考信号的新的自适应对消法。该方法将迭代自适应法引入自适应对消法中,利用迭代自适应法从输入信号中逐个估计低频干扰分量,并且在估计每个干扰... 为有效地抑制单晶炉热场温度测量值中的低频干扰,改善热场温度的估计精度,提出了一种无需参考信号的新的自适应对消法。该方法将迭代自适应法引入自适应对消法中,利用迭代自适应法从输入信号中逐个估计低频干扰分量,并且在估计每个干扰分量的过程中能够减少其它分量的影响,将各个干扰分量消除。仿真和工程实验结果表明,该方法在无需参考信号的条件下,能够准确地估计各个干扰分量,从而有效地抑制单晶炉热场温度测量值中的干扰,优于现有方法,符合单晶炉热场温度控制系统的工艺要求。 展开更多
关键词 单晶炉热场温度 低频干扰 干扰抑制 自适应对消法 迭代自适应法
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一种检测单晶炉热场温度的新方法 被引量:1
20
作者 张新雨 刘丁 +1 位作者 汪姣 李琦 《控制理论与应用》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期1310-1317,共8页
为去除单晶炉热场温度测量信号中的低频干扰、提高温度信号的估计精度,本文提出了一种基于跨维模拟退火(trans dimensional simulated annealing,TDSA)的单晶炉热场温度检测方法.该方法首先将AIC(Akaike information criterion)信号个... 为去除单晶炉热场温度测量信号中的低频干扰、提高温度信号的估计精度,本文提出了一种基于跨维模拟退火(trans dimensional simulated annealing,TDSA)的单晶炉热场温度检测方法.该方法首先将AIC(Akaike information criterion)信号个数判断准则纳入采样机制中以便对干扰个数采样估计,进而利用所设计的基于信号频谱和轮盘赌思想的Metropolis Hastings机制对相应个数的干扰频率进行采样,最后设计了混合均匀和高斯采样机制对单晶炉热场温度进行采样估计.仿真和单晶炉工程实验结果表明,该方法在干扰个数未知的情况下,能够有效地抑制低频干扰、准确检测单晶炉热场的温度. 展开更多
关键词 单晶炉 热场温度检测 低频干扰 跨维模拟退火 最大似然准则 AIC准则 最小二乘法
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