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基于LN/LT-POI多层结构的SAW器件发展
被引量：
4
1
作者
何杰
马晋毅
+1 位作者
胡少勤
许昕
《压电与声光》
CAS
北大核心
2020年第6期864-870,874,共8页
绝缘体上压电单晶薄膜结构材料(POI)为研制高性能、可集成的声表面波(SAW)器件提供了新的解决途径和方案,可满足射频(RF)前端在集成化、小型化发展趋势下对新一代压电声学器件的需求。该文介绍了POI的制备工艺技术。总结了基于铌酸锂/...
绝缘体上压电单晶薄膜结构材料(POI)为研制高性能、可集成的声表面波(SAW)器件提供了新的解决途径和方案,可满足射频(RF)前端在集成化、小型化发展趋势下对新一代压电声学器件的需求。该文介绍了POI的制备工艺技术。总结了基于铌酸锂/钽酸锂-POI(LN/LT-POI)多层结构的高性能SAW器件的最新研究成果,并展望了其未来的发展。
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关键词
绝缘体上压电单晶薄膜结构材料(
poi
)
声表面波(SAW)器件
5G无线通信
射频前端
键合剥离
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职称材料
题名
基于LN/LT-POI多层结构的SAW器件发展
被引量：
4
1
作者
何杰
马晋毅
胡少勤
许昕
机构
中国电子科技集团公司第二十六研究所
出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2020年第6期864-870,874,共8页
文摘
绝缘体上压电单晶薄膜结构材料(POI)为研制高性能、可集成的声表面波(SAW)器件提供了新的解决途径和方案,可满足射频(RF)前端在集成化、小型化发展趋势下对新一代压电声学器件的需求。该文介绍了POI的制备工艺技术。总结了基于铌酸锂/钽酸锂-POI(LN/LT-POI)多层结构的高性能SAW器件的最新研究成果,并展望了其未来的发展。
关键词
绝缘体上压电单晶薄膜结构材料(
poi
)
声表面波(SAW)器件
5G无线通信
射频前端
键合剥离
Keywords
piezoelectric-on-insulator
structure
material
(
poi
)
SAW device
5G wireless communication
RF front-end
smart-cut
分类号
TN384 [电子电信—物理电子学]
TM22 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
基于LN/LT-POI多层结构的SAW器件发展
何杰
马晋毅
胡少勤
许昕
《压电与声光》
CAS
北大核心
2020
4
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