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低压水射流辅助激光刻蚀加工多晶硅工艺参数的优化 被引量：1
1
作者 陈雪辉 张相炎 +2 位作者 张崇天 袁根福 张程 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2016年第10期30-33,69,共5页
利用低压水射流辅助激光刻蚀加工技术对多晶硅进行刻蚀加工,通过正交试验分析了激光脉宽、频率、输入电流和水射流速度对加工表面质量的影响,得到了最终优化工艺参数。结果表明:最终优化工艺参数为低压水射流速度24m·s^(-1)、激光... 利用低压水射流辅助激光刻蚀加工技术对多晶硅进行刻蚀加工,通过正交试验分析了激光脉宽、频率、输入电流和水射流速度对加工表面质量的影响,得到了最终优化工艺参数。结果表明:最终优化工艺参数为低压水射流速度24m·s^(-1)、激光脉宽1.1ms、频率40Hz、电流180A,此时槽体截面锥度、表面粗糙度、截面深度分别为1.2°,2.63μm,1.88mm,槽体表面质量较好,边缘无开裂、无熔渣、无重铸层等缺陷。 展开更多
关键词 低压水射流辅助激光加工 刻蚀加工 多晶硅 工艺参数优化
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高合金钢的激光诱导低压射流复合加工研究
2
作者 陈雪辉 郭微 +2 位作者 袁根福 郑伟 张相炎 《湖北工业大学学报》 2012年第4期64-67,共4页
分析激光诱导低压射流复合加工的理论可行性,设计一种激光诱导低压射流复合加工试验装置,并用其进行W18Cr4V高合金钢的精密加工试验研究,分析不同的激光工艺参数和射流加工参数对试样材料的刻蚀量以及截面加工质量的影响,最终得到一组... 分析激光诱导低压射流复合加工的理论可行性,设计一种激光诱导低压射流复合加工试验装置,并用其进行W18Cr4V高合金钢的精密加工试验研究,分析不同的激光工艺参数和射流加工参数对试样材料的刻蚀量以及截面加工质量的影响,最终得到一组相对较优的复合加工工艺参数. 展开更多
关键词 高合金钢 难加工材料 激光诱导低压射流复合加工 试验研究
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低压射流辅助激光刻蚀加工工艺参数的数值仿真预测研究
3
作者 陈雪辉 张相炎 +1 位作者 宋伟 袁根福 《电加工与模具》 2017年第5期39-42,共4页
低压射流辅助激光刻蚀加工过程中涉及到的加工参数较多,合理选取参数对加工效果的影响至关重要。针对低压射流辅助激光刻蚀加工的实际情况,建立了该加工工艺的热传导方程及有限元数值仿真模型。以碳化硅陶瓷的复合刻蚀加工为例,通过数... 低压射流辅助激光刻蚀加工过程中涉及到的加工参数较多,合理选取参数对加工效果的影响至关重要。针对低压射流辅助激光刻蚀加工的实际情况,建立了该加工工艺的热传导方程及有限元数值仿真模型。以碳化硅陶瓷的复合刻蚀加工为例,通过数值计算与实验结果的对比验证了数值仿真方法的可行性。在此基础上,介绍了采用数值仿真方法进行工艺参数对刻蚀截面形状影响预测研究的思路。为研究各参数对加工效果的影响或选择合适的加工工艺参数提供了一种快捷准确的方法。 展开更多
关键词 激光刻蚀加工 低压射流 工艺参数 数值仿真预测
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激光辅助低压冷喷涂CNTs/Cu复合涂层耐腐蚀性能研究 被引量：1
4
作者 刘博 蒋超伟 +3 位作者 田凯 李波 孙景勇 姚建华 《电加工与模具》 2023年第1期50-54,共5页
以铜基材料的修复再制造需求为牵引,采用激光辅助低压冷喷涂技术制备了CNTs/Cu复合涂层并研究其耐腐蚀性能。研究发现,由于表面镀铜及激光加热的协同作用,镀铜CNTs均匀分布在复合涂层中,枝晶状铜粘结相粉末之间以及CNTs增强相与铜粘结... 以铜基材料的修复再制造需求为牵引,采用激光辅助低压冷喷涂技术制备了CNTs/Cu复合涂层并研究其耐腐蚀性能。研究发现,由于表面镀铜及激光加热的协同作用,镀铜CNTs均匀分布在复合涂层中,枝晶状铜粘结相粉末之间以及CNTs增强相与铜粘结相之间均实现了良好的界面结合。由于CNTs/Cu复合涂层较低的孔隙率及CNTs本身较高的比表面积,可以阻止腐蚀液渗入涂层内部,从而提升复合涂层的耐腐蚀性能。 展开更多
关键词 低压冷喷涂 激光加工 复合涂层 微观特性 耐腐蚀性能
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Al_2O_3陶瓷低压水射流激光复合打孔形貌的研究 被引量：4
5
作者 陆平卫 袁根福 《应用激光》 CSCD 北大核心 2014年第4期323-326,共4页
针对Al2O3陶瓷激光打孔存在重铸层、微裂纹等问题,提出了Al2O3陶瓷低压水射流激光复合打孔的方法。通过对比分析,研究了水射流流速对Al2O3陶瓷直接激光打孔与低压水射流激光复合打孔形貌的影响规律。研究结果表明,该复合打孔技术利用射... 针对Al2O3陶瓷激光打孔存在重铸层、微裂纹等问题,提出了Al2O3陶瓷低压水射流激光复合打孔的方法。通过对比分析,研究了水射流流速对Al2O3陶瓷直接激光打孔与低压水射流激光复合打孔形貌的影响规律。研究结果表明,该复合打孔技术利用射流速的冲蚀作用,可以大大减少材料表面熔渣的堆积,从而减少甚至避免重铸层和微裂纹的产生。 展开更多
关键词 低压水射流 激光复合加工 陶瓷打孔 表面形貌 内壁形貌
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Al_2O_3陶瓷低压水射流激光复合打孔质量的研究 被引量：3
6
作者 袁根福 陆平卫 《应用激光》 CSCD 北大核心 2015年第4期479-482,共4页
针对Al2O3陶瓷激光打孔存在孔锥度和相对孔径误差较大等问题,提出了Al2O3陶瓷低压水射流激光复合打孔的方法。通过对比分析,研究了水射流流速对Al2O3陶瓷直接激光打孔和低压水射流复合打孔质量的影响规律。研究结果表明,该复合打孔技术... 针对Al2O3陶瓷激光打孔存在孔锥度和相对孔径误差较大等问题,提出了Al2O3陶瓷低压水射流激光复合打孔的方法。通过对比分析,研究了水射流流速对Al2O3陶瓷直接激光打孔和低压水射流复合打孔质量的影响规律。研究结果表明,该复合打孔技术利用水射流的冲击和冷却作用,可以大大减小孔的锥度以及相对孔径误差,也可以减少材料表面和内壁熔渣的堆积,从而改善和提高Al2O3陶瓷打孔的质量。 展开更多
关键词 激光复合加工 低压水射流 陶瓷打孔 锥度
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W6Mo5Cr4V2高速钢的低压水射流辅助激光加工的试验研究 被引量：2
7
作者 王金华 袁根福 +1 位作者 逄志伟 陈春映 《应用激光》 CSCD 北大核心 2013年第2期181-185,共5页
针对激光在硬脆性材料精密加工中存在比较严重的再铸层和不可避免的微裂纹、热变形等影响激光加工表面质量现象,利用低压水射流辅助激光加工的方法对W6Mo5Cr4V2高速钢进行试验加工,对比分析了激光加工参数对常规激光加工与低压射流辅助... 针对激光在硬脆性材料精密加工中存在比较严重的再铸层和不可避免的微裂纹、热变形等影响激光加工表面质量现象,利用低压水射流辅助激光加工的方法对W6Mo5Cr4V2高速钢进行试验加工,对比分析了激光加工参数对常规激光加工与低压射流辅助激光加工后的材料表面微观形貌的影响,研究了激光加工参数对常规激光加工与低压射流辅助激光加工热影响区的影响规律。研究结果表明:这种利用射流束的冲蚀作用的复合加工方法对高速钢加工的表面质量有非常显著的改善作用,复合加工后的高速钢材料表面无明显的再铸层。同时,由于射流束的冷却作用,相对于常规激光加工来讲,复合加工后的高速钢材料表面热影响区显著减小。 展开更多
关键词 激光加工 低压水射流 复合加工 高速钢 热影响区
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低压水射流辅助激光刻蚀Al_2O_3陶瓷的试验研究 被引量：1
8
作者 袁根福 逄志伟 +1 位作者 王金华 陈春映 《应用激光》 CSCD 北大核心 2013年第3期278-284,共7页
研究了低压水射流辅助激光加工的方法,利用该复合加工方法对Al2O3陶瓷材料进行刻蚀加工。通过对比分析,系统研究了脉冲能量、脉冲宽度、重复频率等激光参数对Al2O3陶瓷常规激光刻蚀与低压射流辅助激光刻蚀后的表面微观形貌的影响。研究... 研究了低压水射流辅助激光加工的方法,利用该复合加工方法对Al2O3陶瓷材料进行刻蚀加工。通过对比分析,系统研究了脉冲能量、脉冲宽度、重复频率等激光参数对Al2O3陶瓷常规激光刻蚀与低压射流辅助激光刻蚀后的表面微观形貌的影响。研究结果表明:这种利用了射流束的冲蚀作用的复合加工方法能够减少再铸层和微裂纹的产生,减少试样表面熔渣的堆积,复合加工的试样质量稳定性有很大的提高。 展开更多
关键词 低压水射流 激光复合加工 陶瓷刻蚀 表面质量
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