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铝掺杂氧化锌（AZO）薄膜的电学性质研究 被引量：11
1
作者 马瑾 计峰 +1 位作者 马洪磊 李淑英 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第2期216-219,共4页
真空蒸发醋酸锌和氯化铝，在加热的玻璃基片上制备出铝掺杂的氧化锌透明导电薄膜。研究了薄膜的结构和电导率随掺杂功率的变化以及真空退火处理对薄膜电导率的影响。
关键词 Azo薄膜 氧化锌 真空蒸发 氯化铝 电导率
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