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基于干共混法控制柔性模板上金属薄膜微裂纹形貌
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作者 田波 叶向东 《复合材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第12期3111-3118,共8页
以500 nm的SiO2纳米粒子为填料,聚二甲基硅氧烷(PDMS)为包覆纳米粒子的聚合物,通过一种新颖的干共混法制备了SiO2纳米粒子含量高达83.8wt%的SiO2/PDMS柔性模板。所制备柔性模板的弹性模量为16.58 MPa,热膨胀系数为96×10^−6/℃,较S... 以500 nm的SiO2纳米粒子为填料,聚二甲基硅氧烷(PDMS)为包覆纳米粒子的聚合物,通过一种新颖的干共混法制备了SiO2纳米粒子含量高达83.8wt%的SiO2/PDMS柔性模板。所制备柔性模板的弹性模量为16.58 MPa,热膨胀系数为96×10^−6/℃,较SiO2直接掺入PDMS中湿共混制备的纯PDMS柔性模板,弹性模量提高了91.56%,热膨胀系数降低了69.23%,且该柔性模板具有良好的透明度。最后,在柔性模板表面采用磁控溅射法沉积银薄膜,利用SEM和AFM对银薄膜表面形貌进行表征。结果显示,银薄膜表面光滑,粗糙度很小,且具有良好稳定性。干共混法制备的柔性模板有效抑制了金属薄膜微裂纹的产生,为制造导电性良好的电极及大面积的金属薄膜提供了新方案。 展开更多
关键词 sio2/pdms柔性模板 干共混法 微裂纹 弹性模量 热膨胀系数
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