MEMS压力传感器测试技术研究现状

1

作者 张晋熙 肖承翔 +1 位作者 潘康华 李根梓 《机械工业标准化与质量》 2024年第7期1-5,共5页

现代MEMS压力传感器测试已经趋向于自动化与虚拟仿真化。本文简述了研究者们为了实现MEMS压力传感器的自动化测试所研制设计的不同测试系统,介绍了不同的研究者在LabVIEW的虚拟环境中实现了对MEMS压力传感器的测试,归纳了MEMS压力传感... 现代MEMS压力传感器测试已经趋向于自动化与虚拟仿真化。本文简述了研究者们为了实现MEMS压力传感器的自动化测试所研制设计的不同测试系统,介绍了不同的研究者在LabVIEW的虚拟环境中实现了对MEMS压力传感器的测试,归纳了MEMS压力传感器测试技术的应用。指出了应共同制定和推广统一的测试标准,以确保测试结果的可比性。 展开更多

关键词 mems压力传感器 测试技术 LABVIEW 标准化

在线阅读 下载PDF 职称材料

MEMS压力传感器在航空领域中的应用

2

作者 韩金哲 王德成 +3 位作者 程鹏 李根梓 齐建军 王黎沁 《机械工业标准化与质量》 2024年第7期55-60,共6页

本文介绍了常见的MEMS压力传感器,分析了目前航空领域发动机内部以及电子仪表系统中MEMS压力传感器的应用情况,总结了压力传感器在航空领域中标准有关情况。当前针对于航空领域中的MEMS压力传感器相关标准较少,未来可针对该方向开展标... 本文介绍了常见的MEMS压力传感器,分析了目前航空领域发动机内部以及电子仪表系统中MEMS压力传感器的应用情况,总结了压力传感器在航空领域中标准有关情况。当前针对于航空领域中的MEMS压力传感器相关标准较少,未来可针对该方向开展标准化工作。 展开更多

关键词 mems压力传感器 航空发动机 电子仪表

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于MEMS压力传感器的土应力分布模型实验研究

3

作者 朱潇钰 邹浩南 +1 位作者 谢昕 姚蔚 《矿产勘查》 2024年第S2期140-148,共9页

对于地基中土体应力传递分布的研究,不仅有助于了解地基沉降变形时的作用过程与机理,而且对于分析其承载力稳定性问题也至关重要。此外,这些研究为城市建设活动中防灾减灾的控制提供有利的依据。鉴于传统土工测试中常用的土压力传感器... 对于地基中土体应力传递分布的研究,不仅有助于了解地基沉降变形时的作用过程与机理,而且对于分析其承载力稳定性问题也至关重要。此外,这些研究为城市建设活动中防灾减灾的控制提供有利的依据。鉴于传统土工测试中常用的土压力传感器因体积庞大、刚度过高而容易引发土拱效应,进而造成测量误差的局限的缺点,本文采用一种具备体积小、低功耗、精确度高等优点的MEMS气压力传感器进行改装,使其适用于土压力的测量,其受压面柔软的特点非常适用于土中自由应力场的测量。基于改装的MEMS土压力传感器建立了土应力分布室内实验模型,通过比较模型实验的实测结果和理论计算结果,验证了含水率的变化对土中应力分布传递存在着影响,同时也验证了经改装的MEMS土压力传感器用于土工试验的有效性。 展开更多

关键词 mems压力传感器 应力分布传递 室内模型实验 土压力传感器

在线阅读 下载PDF 职称材料

充油MEMS压力传感器研制 被引量：1

4

作者 盛文军 陈丛 +1 位作者 钱江蓉 胡国俊 《中国设备工程》 2018年第16期137-138,共2页

设计了一种基于MEMS压力传感器芯片的充油芯体MEMS压力传感器。在不同的温度、压强环境下对传感器进行了系列实验测试,线性度达到0.2%左右,性能指标优良,可以应用于各种场合,包括恶劣的腐蚀性介质环境。

关键词 mems压力传感器芯片 充油mems压力传感器 压阻效应 压力检测

在线阅读 下载PDF 职称材料

一种用于胎压监测的MEMS压力传感器设计 被引量：16

5

作者 张鉴 戚昊琛 +2 位作者 杨文华 黄正峰 胡智文 《电子测量与仪器学报》 CSCD 北大核心 2015年第10期1424-1430,共7页

无线胎压监测系统是近年来得到高度关注的一种汽车主动安全装置。为对胎压监测系统实现高线性的压力测量,提出了一种球冠形底部固定极板与复合膜可动上极板相结合的电容式MEMS压力传感器。该结构改变了经典的两极板接触过程,并在下极板... 无线胎压监测系统是近年来得到高度关注的一种汽车主动安全装置。为对胎压监测系统实现高线性的压力测量,提出了一种球冠形底部固定极板与复合膜可动上极板相结合的电容式MEMS压力传感器。该结构改变了经典的两极板接触过程,并在下极板底部中心设置基于深刻蚀工艺的深孔结构,使传感器几乎完全工作在线性区间。针对汽车胎压的量程,分析了复合膜厚度对极板接触状态及线性度的影响,并利用有限元分析法对结构进行了模拟与验证,最后给出了工艺流程说明。该方案的提出,可为工作于100～800 kPa的汽车胎压监测提供一种新的MEMS传感器实现方式。 展开更多

关键词 胎压监测 mems压力传感器 高线性 接触式 有限元分析

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于MAX1452的MEMS压力传感器校准系统的设计 被引量：10

6

作者 赵岩 李永红 王恩怀 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第10期94-96,共3页

为解决飞行器气动参数测试系统中压力测量时的温度漂移问题,设计了一种基于MAX1452的MEMS压力传感器校准系统。介绍了系统结构、功能、数据传输及软件实现。利用Visual C++6.0对上位机软件进行编程,实现了对核心补偿器件MAX1452的可视... 为解决飞行器气动参数测试系统中压力测量时的温度漂移问题,设计了一种基于MAX1452的MEMS压力传感器校准系统。介绍了系统结构、功能、数据传输及软件实现。利用Visual C++6.0对上位机软件进行编程,实现了对核心补偿器件MAX1452的可视化操作与控制。通过最小二乘法进行曲线拟合,得到零点及灵敏度温度漂移补偿数据。运行结果表明:系统工作可靠,压力参数测量精度优于0.5%FS. 展开更多

关键词 mems压力传感器 信号调理 校准 温度补偿

在线阅读 下载PDF 职称材料

MEMS压力传感器及其应用 被引量：11

7

作者 颜重光 《电子产品世界》 2009年第6期58-60,共3页

简述MEMS压力传感器的结构与工作原理,并探讨了其应用、压力传感器Die的设计及生产成本分析,覆盖了从系统应用到销售链。

关键词 mems压力传感器 惠斯顿电桥 硅薄膜应力杯 硅压阻式压力传感器 硅电容式压力传感器

在线阅读 下载PDF 职称材料

MEMS压力传感器的温度漂移分析及补偿电路设计 被引量：8

8

作者 文丰 牛芳 +1 位作者 张文栋 郭涛 《弹箭与制导学报》 CSCD 北大核心 2006年第S8期862-865,共4页

文中针对MEMS压力传感器的温度漂移的现象,作了温度漂移原因的分析,以及采取了合适的温度补偿方法,设计了合适的温度补偿电路,通过实验取得了较好的效果。

关键词 mems压力传感器 温度漂移 温度补偿

在线阅读 下载PDF 职称材料

MEMS压力传感器性能测试系统设计

9

作者 冯春鹏 潘冬灵 《机电技术》 2016年第3期48-50,55,共4页

设计了一种基于51单片机的MEMS压力传感器的测试标定装置,该标定装置由3部分组成:压力容器泵体部分、测试控制电路部分、微型真空气泵部分。利用该测试装置对实验室设计制作的微压力传感器样品进行初步性能测试,并选取其中部分MEMS传感... 设计了一种基于51单片机的MEMS压力传感器的测试标定装置,该标定装置由3部分组成:压力容器泵体部分、测试控制电路部分、微型真空气泵部分。利用该测试装置对实验室设计制作的微压力传感器样品进行初步性能测试,并选取其中部分MEMS传感器实验样品进行系统标定。测试实验结果表明测试装置实际可行,为以后的微传感器测试工作提供了理论参考和实验依据。 展开更多

关键词 单片机 mems压力传感器 性能测试 标定

在线阅读 下载PDF 职称材料

多铁纳米MEMS压力传感器性能测试系统设计

10

作者 冯春鹏 赵智增 《山西电子技术》 2016年第3期17-19,24,共4页

针对近年来对微传感器测试研究的发展需求,设计一种基于多铁纳米MEMS压力传感器的性能测试系统,该性能测试装置由3个部分组成:压力容器泵体、测试接口电路和温度磁场调控系统。对实验室设计制作出的多铁纳米MEMS压力传感器,利用该测试... 针对近年来对微传感器测试研究的发展需求,设计一种基于多铁纳米MEMS压力传感器的性能测试系统,该性能测试装置由3个部分组成:压力容器泵体、测试接口电路和温度磁场调控系统。对实验室设计制作出的多铁纳米MEMS压力传感器,利用该测试装置在温度可调、磁场可控的条件下进行传感器性能参数的测试。实验结果初步表明,该方案设计出的基于多铁纳米MEMS压力传感器的性能测试装置是切实可用的,为以后更具体的测试工作提供理论参考和实验依据。 展开更多

关键词 多铁性材料 mems压力传感器 性能测试 磁场可控

在线阅读 下载PDF 职称材料

无源MEMS压力开关的设计与制备 被引量：3

11

作者 刘益芳 陈丹儿 戴婷婷 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第5期1133-1139,共7页

为了克服传统机械式和电子式压力开关的体积大、制作工艺复杂以及不易与后续电路集成等缺点,论文采用具有金属引线台阶覆盖能力的玻璃浆料封装技术进行了无源MEMS压力开关的设计和制备。设计的无源MEMS压力开关的整体结构方案主要包括... 为了克服传统机械式和电子式压力开关的体积大、制作工艺复杂以及不易与后续电路集成等缺点,论文采用具有金属引线台阶覆盖能力的玻璃浆料封装技术进行了无源MEMS压力开关的设计和制备。设计的无源MEMS压力开关的整体结构方案主要包括硅盖板上的压力敏感膜、硅岛、上电极和微阻挡凸台以及玻璃基底上的玻璃浆料和下电极。通过仿真优化了压力敏感膜、硅岛和上下电极的关键尺寸。经过三次湿法腐蚀工艺流程制得了双阻挡凸台、硅岛和感压膜片。通过玻璃浆料热压工艺将硅盖片、玻璃基底和金属引线三者键合成一体,工艺结果显示双阻挡凸台的高度和感压膜片的厚度很好地控制在8μm和50μm,而且经测试,MEMS压力开关的阈值压力为125kPa。 展开更多

关键词 mems压力开关 结构设计 湿法腐蚀 玻璃浆料封装

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于信噪比的MEMS压力传感器设计与分析 被引量：1

12

作者 冒晓莉 吴其宇 +2 位作者 张加宏 李敏 赵雪伟 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2022年第2期1-6,20,共7页

为了研制高精度MEMS压阻式压力传感器,基于信噪比对其压敏结构进行了设计与分析。首先运用ANSYS有限元模拟仿真获得了不同压敏电阻结构芯片的应力分布,并对其噪声和信噪比进行了理论分析,发现在低频区闪烁噪声是传感器噪声的主要来源。... 为了研制高精度MEMS压阻式压力传感器,基于信噪比对其压敏结构进行了设计与分析。首先运用ANSYS有限元模拟仿真获得了不同压敏电阻结构芯片的应力分布,并对其噪声和信噪比进行了理论分析,发现在低频区闪烁噪声是传感器噪声的主要来源。仿真结果表明,芯片结构对其噪声、输出信号和信噪比均存在影响,增加压敏电阻折叠条数通常有助于获得更低的噪声和更高的输出信号和信噪比,获得最大输出信号和信噪比最优的电阻长度分别出现在75μm和125μm左右。然后通过MEMS工艺制作部分传感器芯片并封装测试,实测信噪比与理论分析基本吻合。 展开更多

关键词 mems压阻式压力传感器 噪声 信噪比 传感器结构分析

在线阅读 下载PDF 职称材料

石墨烯MEMS压力传感器Au/Sn共晶键合气密性封装 被引量：2

13

作者 朱泽华 王俊强 +1 位作者 陈绪文 齐越 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2022年第3期304-308,共5页

针对石墨烯MEMS压力传感器气密性封装的需求,设计出一种用于石墨烯MEMS压力传感器芯片级Au/Sn共晶键合工艺方法。石墨烯压力传感器芯片键合密封环金属采用50/400 nm的Cr/Au,基板键合密封环金属采用50/400/500/3 nm的Cr/Au/Sn/Au。随后... 针对石墨烯MEMS压力传感器气密性封装的需求,设计出一种用于石墨烯MEMS压力传感器芯片级Au/Sn共晶键合工艺方法。石墨烯压力传感器芯片键合密封环金属采用50/400 nm的Cr/Au,基板键合密封环金属采用50/400/500/3 nm的Cr/Au/Sn/Au。随后使用倒装焊机在280℃以及8 kN的压力环境下保持6 min,完成芯片与基板的Au/Sn互溶扩散键合工艺,从而实现石墨烯压力传感器芯片的气密性封装。对键合指标进行测试,平均剪切力达20.88 MPa,平均漏率为4.91×10^(-4) Pa·cm^(3)/s,满足GJB548B-2005的要求。通过比较键合前后的芯片电学特性,石墨烯敏感结电阻平均值变化了1.1%,具有较高的稳定性。此外键合界面能谱测试结果符合Au/Sn键合金属合金元素组分,为石墨烯MEMS压力传感器低成本、高效率气密性封装奠定了基础。 展开更多

关键词 石墨烯 mems压力传感器 Au/Sn键合 气密封装

在线阅读 下载PDF 职称材料

MEMS压力传感器电容读出电路

14

作者 柳林刚 李荣宽 赵路坦 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 2016年第12期121-124,129,共5页

提出了新的一种用于MEMS压力传感器的电容数字转换方法.与传统的将电容值转换成电压值的方法不同,该方法是将微弱电容信号转换为时间间隔,然后通过计数器量化、数字滤波器处理,得到高精度、宽输入范围的电容读出电路.这种方法下的电路... 提出了新的一种用于MEMS压力传感器的电容数字转换方法.与传统的将电容值转换成电压值的方法不同,该方法是将微弱电容信号转换为时间间隔,然后通过计数器量化、数字滤波器处理,得到高精度、宽输入范围的电容读出电路.这种方法下的电路结构简单,受供电电压影响较小,具有很高的线性度.在cadence环境下,基于TSMC标准的BCD0.25μmCMOS工艺模型,对电路进行设计和仿真.该电路输入范围可达8pF,分辨率为4fF. 展开更多

关键词 mems压力传感器 高精度 电容数字转换器 仿真

在线阅读 下载PDF 职称材料

MEMS压力传感器原理及其应用论述 被引量：3

15

作者 林智春 《通讯世界（下半月）》 2015年第3期192-192,共1页

MEMS压力传感器在土木工程、电力系统、城市建设、环境监测、航空航天等领域得到了普遍的应用。对此,本文对MEMS压力传感器的基本原理构造及在社会各领域中的应用进行了详细论述。

关键词 mems压力传感器 薄膜溅射 原理 应用

在线阅读 下载PDF 职称材料

机动车MEMS压力传感器电磁兼容测试 被引量：1

16

作者 陈得民 《上海计量测试》 2015年第2期34-37,共4页

论述机动车压力传感器的电磁干扰(EMI)测试,主要进行辐射抗干扰测试和传导抗干扰测试。测试中,部分项目不符合要求,通过整改,达到测试标准。解读了相关机动车EMI测试标准,对类似机动车电子产品的测试人员和设计人员有一定参考价值。

关键词 mems压力传感器 测试 电磁兼容

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于MEMS压力传感器的外置式数字胎压计

17

作者 王彦乐 黎天龙 王京瑞 《数码设计》 2020年第20期29-29,共1页

胎压监测系统是保证汽车行驶安全的重要电子装置,但传统的胎压监测装置大多安装在轮胎内部,不利于维护检修且金属轮辋容易导致信号屏蔽。本项目设计的外置式胎压计采用MEMS压力传感器直连气门芯,可直接测量胎内气压。采集到的气压信号通... 胎压监测系统是保证汽车行驶安全的重要电子装置,但传统的胎压监测装置大多安装在轮胎内部,不利于维护检修且金属轮辋容易导致信号屏蔽。本项目设计的外置式胎压计采用MEMS压力传感器直连气门芯,可直接测量胎内气压。采集到的气压信号通过A/D转换模块转换为数字信号,经STC89C52单片机处理后再通过无线模块HC-12与接收端进行无线通信,避免了信号屏蔽,方便拆卸检修。将得到的胎压值显示在接收端的OLED显示屏上,实现实时监测轮胎气压并在胎压异常时报警,有效预防了因胎压异常引起的交通事故。 展开更多

关键词 外置式胎压计 mems压力传感器 单片机 无线通信

在线阅读 下载PDF 职称材料

高频响耐高温MEMS压力传感器封装工艺研究 被引量：12

18

作者 李瑜 刘志远 +2 位作者 王晓光 丁文波 王明伟 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2021年第5期64-66,共3页

高温封装微机电系统(MEMS)感压元件是制作高频响耐高温MEMS压力传感器的基础核心元件,导电烧结及绝缘烧结技术是制作高温封装MEMS感压元件的关键技术。通过对比实验,验证纳米银玻璃浆用于芯片Cr/Pt/Au多层金属电极与高温管座可伐(4J29)... 高温封装微机电系统(MEMS)感压元件是制作高频响耐高温MEMS压力传感器的基础核心元件,导电烧结及绝缘烧结技术是制作高温封装MEMS感压元件的关键技术。通过对比实验,验证纳米银玻璃浆用于芯片Cr/Pt/Au多层金属电极与高温管座可伐(4J29)转接端子之间导电烧结的可行性。经过仿真计算及实验验证,用纳米银玻璃浆烧结的感压元件可以耐受5个循环-55~350℃的温冲考核,并且用其制作出的高频响耐高温MEMS压力传感器在高温、常温、低温下的输出性能稳定,满足航天、工业、民用等各领域的高频性耐高温的应用需求。 展开更多

关键词 高频响 耐高温 微机电系统(mems)压力传感器 绝缘烧结 导电烧结

在线阅读 下载PDF 职称材料

MEMS高温压力传感器复合金属层可靠性研究

19

作者 杜康乐 雷程 +3 位作者 梁庭 肖楚译 王旦旦 罗后明 《仪表技术与传感器》 北大核心 2025年第2期22-27,共6页

为解决MEMS压力传感器因复合金属层形貌翘曲导致高温失效分析后出现失效的问题,文中提出了3种制备复合金属层的工艺方法,经过逐步模拟键合过程,观察每增加一步工艺对应复合金属层的形貌,通过场发射扫描电子显微镜观察复合金属层的形貌,... 为解决MEMS压力传感器因复合金属层形貌翘曲导致高温失效分析后出现失效的问题,文中提出了3种制备复合金属层的工艺方法,经过逐步模拟键合过程,观察每增加一步工艺对应复合金属层的形貌,通过场发射扫描电子显微镜观察复合金属层的形貌,最后在300℃、保持100 h高温条件下验证传感器的可靠性。采用常温溅射—光刻图形—IBE刻蚀制备出的复合金属层形貌完整且分层明显,模拟键合实验后复合金属层依然未出现翘曲现象,经300℃高温考核后,传感器零位输出稳定在4.5 mV左右,零点漂移为0.906%,时漂约为7.76μV/h,验证了该方案在高温失效分析下的可行性。 展开更多

关键词 mems压力传感器 复合金属层 翘曲 高温考核 模拟键合过程 常温溅射

在线阅读 下载PDF 职称材料

MEMS多晶硅纳米膜压力传感器过载能力设计 被引量：1

20

作者 冯张彬 熊福敏 +2 位作者 王健 赵立杰 席宇欣 《工业仪表与自动化装置》 2023年第4期89-92,97,共5页

针对MEMS压力传感器感压膜片受较大压力易发生断裂而导致传感器性能失效问题,提出了MEMS多晶硅纳米膜压力传感器过载能力设计的方法。采用厚度为80 nm多晶硅薄膜构建感压膜片结构,利用静态大变形和接触非线性有限元分析方法,分析感压膜... 针对MEMS压力传感器感压膜片受较大压力易发生断裂而导致传感器性能失效问题,提出了MEMS多晶硅纳米膜压力传感器过载能力设计的方法。采用厚度为80 nm多晶硅薄膜构建感压膜片结构,利用静态大变形和接触非线性有限元分析方法,分析感压膜片触底保护的腔体高度,在此基础上,进一步得出感压膜片尺寸与过载能力的关系,并重点讨论了不同传感器量程下改变膜片尺寸对过载能力的影响。仿真结果表明,所设计的1 MPa量程MEMS多晶硅纳米膜压力传感器,其过载能力8 MPa,为传感器量程8倍。本次研究为MEMS压力传感器的实际生产制备提供了新思路。 展开更多

关键词 mems压力传感器 多晶硅纳米膜 过载能力 有限元分析 腔体高度

在线阅读 下载PDF 职称材料