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带集成紫外滤光片的背照式CCD器件
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作者 高国龙 《红外》 CAS 2002年第10期42-42,共1页
美国喷气推进实验室的研究人员目前正在研制一种带δ掺杂和集成光学滤光片的减薄型硅CCD器件,这种CCD器件为背照式器件,它将被用作在紫外波长范围内工作的成像探测器.
关键词 背照式CCD器件 电荷耦合器件 Δ掺杂 集成紫外滤光片
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