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考虑结电容和跨导非线性的辐射频段EMI分析模型 被引量:1
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作者 陈雯霞 陈文洁 +3 位作者 程睿 王红彭 霍永琪 吴恢斌 《电源学报》 CSCD 北大核心 2024年第5期19-27,共9页
宽禁带WBG(wide band gap)半导体电力电子器件由于其开关频率高、开关速度快、寄生参数大等特点从噪声源头引发了越来越严峻的电磁干扰问题。然而,传统的噪声源研究主要集中在30 MHz传导频段以内,如何评估噪声源在30~300 MHz较高频率范... 宽禁带WBG(wide band gap)半导体电力电子器件由于其开关频率高、开关速度快、寄生参数大等特点从噪声源头引发了越来越严峻的电磁干扰问题。然而,传统的噪声源研究主要集中在30 MHz传导频段以内,如何评估噪声源在30~300 MHz较高频率范围内的辐射频段产生的影响仍存在不确定性,因此提出1种改进的WBG器件电磁干扰分析模型,与传统的非对称梯形波电磁干扰模型相比,首次详细考虑了WBG器件的结电容和跨导体的非线性特性,评估了非线性参数对辐射频段噪声的影响,并进一步提出该模型在辐射频段噪声源抑制中的应用。仿真结果验证了所提计算方法的准确性,基于SiC器件的硬件测试结果与理论分析相吻合。 展开更多
关键词 结电容 跨导 电磁干扰 开关模型
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基于电阻补偿跨导放大器的忆阻电路 被引量:2
2
作者 陈家辉 段志奎 《佛山科学技术学院学报(自然科学版)》 CAS 2024年第5期18-25,共8页
忆阻器具有独特的记忆特性和非线性特征,被广泛应用在非易失存储器、神经网络、非线性系统等领域。提出了一种集成忆阻电路,该电路采用运算跨导放大器和电容积分电路实现忆阻特性,其中运算跨导放大器采用补偿电阻提高带宽,实现扩展工作... 忆阻器具有独特的记忆特性和非线性特征,被广泛应用在非易失存储器、神经网络、非线性系统等领域。提出了一种集成忆阻电路,该电路采用运算跨导放大器和电容积分电路实现忆阻特性,其中运算跨导放大器采用补偿电阻提高带宽,实现扩展工作频率范围的目的。忆阻电路基于SMIC 180 nm CMOS工艺设计实现,采用0.9 V双供电电源,可完全集成于芯片中,最高工作频率可达到100 MHz,功耗仅为0.252 mW。 展开更多
关键词 集成忆阻电路 宽频率 跨导放大器
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一种非匹配模式恒定跨导的轨到轨运算放大器
3
作者 刘金朋 刘云涛 +1 位作者 刘星晨 方硕 《微电子学与计算机》 2024年第8期101-108,共8页
针对传统轨到轨运算放大器输入级跨导恒定受工艺影响,提出了一种非匹配模式低失调恒定跨导轨到轨运算放大器,输入级电路采用最大电流控制法。该运放通过对P输入对管电流的监测,来控制N输入对管的电流,从而实现与工艺无关的恒定跨导的要... 针对传统轨到轨运算放大器输入级跨导恒定受工艺影响,提出了一种非匹配模式低失调恒定跨导轨到轨运算放大器,输入级电路采用最大电流控制法。该运放通过对P输入对管电流的监测,来控制N输入对管的电流,从而实现与工艺无关的恒定跨导的要求。输出级采用折叠式共源共栅的有源负载与AB类控制的输出级结合,提高电压增益,增加电压输出动态范围。运放基于DB Hitek 0.18μm工艺完成电路设计。仿真结果表明:在电源电压为+2.5 V和−2.5 V时,该运放的共模输入范围为−2.5~2.5 V,动态输出范围为−2.5~2.5 V,平均输入失调电压为12.7μV,开环增益为98 dB,相位裕度为73.1°,带宽为73.1 MHz,电源抑制比为90 dB,共模抑制比为95 dB,压摆率为57.1 V/μs,跨导变化率仅为4.9%,满足了恒定跨导的要求。 展开更多
关键词 轨到轨 运算放大器 非匹配模式 恒定跨导
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正温度系数跨导基准电路及其应用实例
4
作者 张然 《微电子学》 CAS 北大核心 2024年第4期597-603,共7页
基于130 nm双极型晶体管与互补金属氧化物半导体(Bipolar and Complementary Metal Oxide Semiconductor,BiCMOS)工艺,提出了一款由跨导参考源与温度系数校准电路构成的,应用于超低增益温漂放大器的正温度系数跨导基准电路。提出的正温... 基于130 nm双极型晶体管与互补金属氧化物半导体(Bipolar and Complementary Metal Oxide Semiconductor,BiCMOS)工艺,提出了一款由跨导参考源与温度系数校准电路构成的,应用于超低增益温漂放大器的正温度系数跨导基准电路。提出的正温度系数跨导基准电路被应用于K频段4通道相控阵接收芯片中,根据接收芯片射频信号链路中各级放大器负载阻抗的温漂特性,设置合适的正温度系数跨导的参考电流,确保各级放大器以及射频信号链路的增益在工作温度发生变化时维持在极低的变化范围内。芯片实测结果表明:含四级有源放大器的接收芯片射频信号链路在中心频率19 GHz处的常温增益等于22.8 dB;在17 G至21 GHz工作频段内,-45℃至85℃温度下,最大增益温漂小于2.9 dB。芯片占用面积3.5 mm×2.5 mm。 展开更多
关键词 基准 超低增益温漂 正温度系数跨导 BICMOS
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一种采用恒定跨导电路的数字RC振荡器设计
5
作者 周振宇 张杰 +2 位作者 徐铫峰 潘运昊 金豫浙 《电子制作》 2024年第17期78-81,共4页
基于0.18μm CMOS工艺,设计了一种采用恒定跨导电路的高精度RC振荡器。电路采用恒定跨导偏置的电流源作为内电源,以产生足够大的驱动电压,可直接高精度控制电路总电流。同时为了更好地限制比较器中的电流,引入恒定跨导电路以产生不随温... 基于0.18μm CMOS工艺,设计了一种采用恒定跨导电路的高精度RC振荡器。电路采用恒定跨导偏置的电流源作为内电源,以产生足够大的驱动电压,可直接高精度控制电路总电流。同时为了更好地限制比较器中的电流,引入恒定跨导电路以产生不随温度、电源电压和工艺变化的稳定电压,并通过中间级确保电压的准确度。电路的版图面积为243μm×337.35μm。电源电压在2.5~5.5V的范围内变化,振荡电路输出频率偏差不超过1.00%。温度在-40℃~+125℃的范围内变化,输出频率误差不超过0.80%。仿真结果表明该RC振荡器具有较高的输出稳定性。 展开更多
关键词 振荡器 偏置电路 恒定跨导 数字修调
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一种新型跨导-电容滤波器自调谐电路 被引量:2
6
作者 朱思奇 杜占坤 +3 位作者 杨洪文 易青 郭桂良 阎跃鹏 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期540-543,共4页
提出了一种基于开关电容技术的跨导-电容(Gm-C)滤波器自调谐电路。与基于压控振荡器(VCO)和压控滤波器(VCF)的传统调谐电路不同,该自调谐电路具有更高的精度和更低的功耗,且电路结构简单。设计了一个9阶椭圆函数低通滤波器,通过该调谐电... 提出了一种基于开关电容技术的跨导-电容(Gm-C)滤波器自调谐电路。与基于压控振荡器(VCO)和压控滤波器(VCF)的传统调谐电路不同,该自调谐电路具有更高的精度和更低的功耗,且电路结构简单。设计了一个9阶椭圆函数低通滤波器,通过该调谐电路,实现了截止频率的精确可调。 展开更多
关键词 跨导放大器 跨导-电容滤波器 自动调谐电路 开关电容电路
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一种可调高线性度跨导器 被引量:7
7
作者 刘弘 董在望 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第9期1282-1284,共3页
本文提出了一种新的跨导器结构,它采用CMOS复合对管实现,可以通过调节栅极电压改变跨导器的跨导值,适合应用于高线性的连续时间滤波器.仿真结果表明,在供电电压为5伏,输人差分信号峰峰值为2.3伏的情况下,可以达到小于0.5%的总谐波失真.
关键词 线性度 跨导 二次效应 CMOS复合对管 跨导 模拟集成电路
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一种精确恒定跨导偏置的Gm-C滤波器设计 被引量:1
8
作者 郭桂良 牟荣增 +1 位作者 杜占坤 阎跃鹏 《江苏大学学报(自然科学版)》 EI CAS 北大核心 2011年第1期70-74,共5页
针对片上Gm-C滤波器的自动频率调谐电路结构复杂、功耗大和精度低的问题,提出了一种精确的恒定跨导偏置电路.该电路通过使跨导管的跨导恒等于片外高精度电阻来稳定滤波器截止频率.给出了电路的推导,设计了滤波器及跨导器.将此电路应用... 针对片上Gm-C滤波器的自动频率调谐电路结构复杂、功耗大和精度低的问题,提出了一种精确的恒定跨导偏置电路.该电路通过使跨导管的跨导恒等于片外高精度电阻来稳定滤波器截止频率.给出了电路的推导,设计了滤波器及跨导器.将此电路应用于无线传感器网络节点芯片中九阶低通滤波器,进行了仿真;基于SMIC中0.18μm、1.8 V的1P6M CMOS工艺,采用无源LC滤波器原型综合的方法实现滤波器,并完成测试.结果表明,该滤波器的截止频率与设计值相差仅为1%,带内纹波小于0.8 dB,输入噪声电压小于25 nV/Hz~(1/2),功耗仅为1.6 mW,满足无线传感器网络节点芯片的要求. 展开更多
关键词 跨导电容滤波器 无线传感网 锁相环 恒定跨导 自动频率调谐
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可调频率跨导电容Chebyshev滤波器的设计及仿真 被引量:2
9
作者 江金光 王耀南 《通信学报》 EI CSCD 北大核心 2006年第6期81-86,共6页
首先提出了一种新的跨导运放,其输入级采用了工作在线性区的MOS管作源极负反馈有源电阻实现其良好的线性度,输出级采用折叠式结构,并在电路中引入电压共模负反馈(CMFB)稳定其静态工作点。接着提出了一种新的利用开关电容技术调节跨导运... 首先提出了一种新的跨导运放,其输入级采用了工作在线性区的MOS管作源极负反馈有源电阻实现其良好的线性度,输出级采用折叠式结构,并在电路中引入电压共模负反馈(CMFB)稳定其静态工作点。接着提出了一种新的利用开关电容技术调节跨导运放偏置电流值大小的电路,应用该电路可以精确调节跨导运放Gm值的大小,应用这些电路设计得到了四阶Chebyshev低通滤波器,并实现其频率的精确可调,0.35μm2层多晶硅,4层金属CMOS工艺Spicemodel仿真结果表明设计正确、有效。 展开更多
关键词 跨导运放 源级负反馈 电压共模负反馈 跨导电容滤波器 Chebyshev滤波器
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一种高增益的CMOS差分跨导放大器 被引量:3
10
作者 何广军 戴庆元 《微电子技术》 2002年第1期33-36,共4页
本文设计了一种可用于∑△A/D转换器的全差分跨导放大器 (OTA)。本放大器采用0 6 μm工艺实现 ,其两级间使用共源共栅补偿、并采用了动态共模反馈 ,其标定动态范围 (DR)为 82 8dB、开环直流增益为 90 9dB ,在最坏情况下需要 84 3ns... 本文设计了一种可用于∑△A/D转换器的全差分跨导放大器 (OTA)。本放大器采用0 6 μm工艺实现 ,其两级间使用共源共栅补偿、并采用了动态共模反馈 ,其标定动态范围 (DR)为 82 8dB、开环直流增益为 90 9dB ,在最坏情况下需要 84 3ns以稳定到 0 展开更多
关键词 跨导放大器 增益 CMOS 差分跨导放大器
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高频高线性度跨导电容滤波器
11
作者 傅文渊 李国刚 凌朝东 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2012年第1期92-96,共5页
为了提高滤波器的工作频率和线性度,提出一种新型跨导放大器。该跨导器采用差分和交叉耦合来改善跨导输入级直流传输特性的线性度,以及扩大输入电压允许范围;同时,为了稳定输出共模电平和增大动态范围,提出共模反馈电路和各支路增益调... 为了提高滤波器的工作频率和线性度,提出一种新型跨导放大器。该跨导器采用差分和交叉耦合来改善跨导输入级直流传输特性的线性度,以及扩大输入电压允许范围;同时,为了稳定输出共模电平和增大动态范围,提出共模反馈电路和各支路增益调整方法。对该滤波器进行理论分析和验证,结果表明,Gm-C滤波器的截止频率为159.6MHz,过渡带宽大于45dB,动态范围为64dB,具有较好的高频和高线性度特性。 展开更多
关键词 滤波器 线性度 跨导电容 跨导放大器
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具有均衡时延修正功能的高频跨导电容滤波器
12
作者 傅文渊 李国刚 凌朝东 《华中师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2011年第4期573-577,共5页
提出一种适用于高频领域的新结构跨导电容滤波器,它采用带共模反馈电路差分交叉耦合型的高频跨导放大器,稳定了输出电平和静态工作点.应用该跨导放大器设计了截止频率为160MHz的七阶跨导电容低通滤波器.针对高阶椭圆函数滤波器群时延大... 提出一种适用于高频领域的新结构跨导电容滤波器,它采用带共模反馈电路差分交叉耦合型的高频跨导放大器,稳定了输出电平和静态工作点.应用该跨导放大器设计了截止频率为160MHz的七阶跨导电容低通滤波器.针对高阶椭圆函数滤波器群时延大的缺点,设计了均衡时延修正电路来精确调节群时延大小.仿真实验表明,加入时延电路后,滤波器在通带范围内的群时延减小了83.1%.该方法可望应用于高速混合信号处理电路设计及其相关领域. 展开更多
关键词 跨导放大器 均衡时延 跨导电容滤波器 椭圆函数
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GaN HFET中的能带峰势垒和跨导崩塌(续)
13
作者 薛舫时 杨乃彬 陈堂胜 《固体电子学研究与进展》 CAS 北大核心 2022年第4期251-257,262,共8页
考虑大沟道电流下外沟道局域电子气慢输运行为破坏沟道电中性,诱生空间电荷导致的能带峰势垒,提出了新的跨导崩塌模型。详细计算了不同栅压和不同沟道电流密度、即不同空间电荷密度下的场效应管能带。引入新的能带峰势垒和沟道电子跨越... 考虑大沟道电流下外沟道局域电子气慢输运行为破坏沟道电中性,诱生空间电荷导致的能带峰势垒,提出了新的跨导崩塌模型。详细计算了不同栅压和不同沟道电流密度、即不同空间电荷密度下的场效应管能带。引入新的能带峰势垒和沟道电子跨越势垒的动态模型,解释了沟道打开过程中源电阻增大、沟道电子平均速度下降、大沟道电流下跨导下降等各类跨导崩塌行为,解释了场效应管沟道电子速度远低于异质结材料的缘由。运用沟道打开时的异质结充电和大沟道电流激励下空间电荷触发的能带峰势垒模型解释了跨导钟形曲线上升段中的电流崩塌和下降段中的跨导崩塌。深入研究了陷阱和局域电子气的相互作用,解释了可靠性加速寿命试验中的跨导曲线变化。沟道夹断的强负栅压应力产生内沟道逆压电缺陷,减弱栅电压对内沟道电子气的控制和沟道打开时跨导的上升斜率。沟道打开后的大电流应力使局域电子气与晶格碰撞产生热电子缺陷和空间电荷,抬高能带峰势垒引发外沟道堵塞,降低沟道电流,导致阈值电压正移。这一研究证明在场效应管直流和射频工作中的器件性能退化都是由陷阱同局域电子气相互作用产生的,开创了优化设计异质结能带来提高场效应管可靠性的新途径。最后讨论大沟道电流下能带峰势垒引发的外沟道堵塞和跨导崩塌在场效应管研发中的重要作用,提出了在空间电荷区上方设置专用的异质结鳍来平衡内、外沟道能带,解开场效应管中的电流崩塌、跨导崩塌、线性、器件性能退化及3 mm高频工作等难点。 展开更多
关键词 跨导崩塌 能带峰势垒 能带畸变 局域电子气 陷阱和局域电子气的相互作用 沟道电子的速-场特性 钟形跨导曲线 异质结鳍
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GaN HFET中的能带峰势垒和跨导崩塌
14
作者 薛舫时 杨乃彬 陈堂胜 《固体电子学研究与进展》 CAS 北大核心 2022年第3期163-169,共7页
考虑大沟道电流下外沟道局域电子气慢输运行为破坏沟道电中性,诱生空间电荷导致的能带峰势垒,提出了新的跨导崩塌模型。详细计算了不同栅压和不同沟道电流密度、即不同空间电荷密度下的场效应管能带。引入新的能带峰势垒和沟道电子跨越... 考虑大沟道电流下外沟道局域电子气慢输运行为破坏沟道电中性,诱生空间电荷导致的能带峰势垒,提出了新的跨导崩塌模型。详细计算了不同栅压和不同沟道电流密度、即不同空间电荷密度下的场效应管能带。引入新的能带峰势垒和沟道电子跨越势垒的动态模型,解释了沟道打开过程中源电阻增大、沟道电子平均速度下降、大沟道电流下跨导下降等各类跨导崩塌行为,解释了场效应管沟道电子速度远低于异质结材料的缘由。运用沟道打开时的异质结充电和大沟道电流激励下空间电荷触发的能带峰势垒模型解释了跨导钟形曲线上升段中的电流崩塌和下降段中的跨导崩塌。深入研究了陷阱和局域电子气的相互作用,解释了可靠性加速寿命试验中的跨导曲线变化。沟道夹断的强负栅压应力产生内沟道逆压电缺陷,减弱栅电压对内沟道电子气的控制和沟道打开时跨导的上升斜率。沟道打开后的大电流应力使局域电子气与晶格碰撞产生热电子缺陷和空间电荷,抬高能带峰势垒引发外沟道堵塞,降低沟道电流,导致阈值电压正移。这一研究证明在场效应管直流和射频工作中的器件性能退化都是由陷阱同局域电子气相互作用产生的,开创了优化设计异质结能带来提高场效应管可靠性的新途径。最后讨论大沟道电流下能带峰势垒引发的外沟道堵塞和跨导崩塌在场效应管研发中的重要作用,提出了在空间电荷区上方设置专用的异质结鳍来平衡内、外沟道能带,解开场效应管中的电流崩塌、跨导崩塌、线性、器件性能退化及3 mm高频工作等难点。 展开更多
关键词 跨导崩塌 能带峰势垒 能带畸变 局域电子气 陷阱和局域电子气的相互作用 沟道电子的速-场特性 钟形跨导曲线 异质结鳍
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改善跨导放大器线性化方法的研究
15
作者 施树春 王国伟 《贵州大学学报(自然科学版)》 2007年第1期83-86,共4页
讨论了电流模式电路及跨导器的基本概念及性能特点,研究并给出了改善输入级传输特性的线性程度并扩大线性范围的方法。
关键词 跨导运算放大器 跨导 电流模式电路 线性化
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基于模块跨导的IGBT键合线健康状态准在线监测方法 被引量:14
16
作者 李亚萍 周雒维 +2 位作者 孙鹏菊 彭英舟 龚灿 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2018年第23期7035-7044,共10页
IGBT模块被广泛应用于电力电子各个领域,其运行的可靠性至关重要。键合线失效是IGBT模块最常见的一种失效模式,该文提出一种基于模块跨导的IGBT键合线老化失效状态的准在线监测方法,该方法能够准确辨识键合线老化失效过程。首先对键合... IGBT模块被广泛应用于电力电子各个领域,其运行的可靠性至关重要。键合线失效是IGBT模块最常见的一种失效模式,该文提出一种基于模块跨导的IGBT键合线老化失效状态的准在线监测方法,该方法能够准确辨识键合线老化失效过程。首先对键合线准在线状态监测的原理进行了详细的分析,设计模块跨导的测量电路和数据分析方案,通过实验测量确定了键合线脱落数量与模块跨导之间的定量关系,并进行了温度的归一化处理。理论分析和实验结果表明,所提基于模块跨导的IGBT键合线状态监测方法对键合线老化失效敏感,可在变流器停机时(如风机切除风速时、电动汽车停车时等)实行准在线监测,易于工程实现,对提高功率变流器的可靠性具有非常重要的意义。 展开更多
关键词 IGBT模块 模块键合线 跨导 可靠性 状态监测
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一种恒跨导高增益轨到轨运算放大器 被引量:8
17
作者 唐俊龙 黄思齐 +5 位作者 罗磊 涂士琦 肖仕勋 龚磊 刘远治 谢海情 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2018年第4期458-462,共5页
基于TSMC 0.18μm CMOS工艺,设计了一种新颖的恒跨导高增益轨到轨运算放大器。输入级仅由NMOS管差分对构成,采用电平移位及两路复用选择器控制技术,在轨到轨共模输入范围内实现了输入级恒跨导。中间级采用折叠式共源共栅放大器结构,运... 基于TSMC 0.18μm CMOS工艺,设计了一种新颖的恒跨导高增益轨到轨运算放大器。输入级仅由NMOS管差分对构成,采用电平移位及两路复用选择器控制技术,在轨到轨共模输入范围内实现了输入级恒跨导。中间级采用折叠式共源共栅放大器结构,运算放大器能获得高增益。输出级采用前馈型AB类推挽放大器,实现轨到轨全摆幅输出。利用密勒补偿技术进行频率补偿,运算放大器工作稳定。仿真结果表明,在1.8V电源电压下,该运算放大器的直流开环增益为129.3dB,单位增益带宽为7.22MHz,相位裕度为60.1°,整个轨到轨共模输入范围内跨导的变化率为1.44%。 展开更多
关键词 跨导 高增益 轨到轨 运算放大器
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低功耗自适应跨导-电容带通滤波器电路实现 被引量:8
18
作者 马德群 崔福良 +2 位作者 何捷 黄林 洪志良 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第9期1186-1191,共6页
采用单层多晶硅 3.3V,0 .35μm CMOS数字工艺 ,实现了用于蓝牙系统的自适应带通滤波器 ,其中心频率为2 MHz,带宽为 1.2 MHz,功耗为 12 m W.并对滤波器 PL L自适应电路中压控振荡器 (VCO)的谐振条件进行了研究 ,分析了 VCO中运放寄生参... 采用单层多晶硅 3.3V,0 .35μm CMOS数字工艺 ,实现了用于蓝牙系统的自适应带通滤波器 ,其中心频率为2 MHz,带宽为 1.2 MHz,功耗为 12 m W.并对滤波器 PL L自适应电路中压控振荡器 (VCO)的谐振条件进行了研究 ,分析了 VCO中运放寄生参数对谐振频率的影响 .同时 ,用一种简单的跨导运放结构作为 VCO中的负阻抗 ,解决了VCO振荡幅度限幅问题 . 展开更多
关键词 跨导—电容滤波器 锁相环 自适应电路
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一种低电压CMOS折叠-共源共栅跨导运算放大器的设计 被引量:23
19
作者 李建中 汤小虎 魏同立 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2005年第4期412-415,共4页
设计了一种全差分折叠共源共栅跨导运算放大器,并将其应用于80MHz开关电容带通ΔΣA/D转换器中。该跨导运算放大器采用0.35μmCMOSN阱工艺实现,工作于2.5V电源电压。模拟结果表明,该电路的动态范围为80dB、直流增益63.4dB、单位增益带宽... 设计了一种全差分折叠共源共栅跨导运算放大器,并将其应用于80MHz开关电容带通ΔΣA/D转换器中。该跨导运算放大器采用0.35μmCMOSN阱工艺实现,工作于2.5V电源电压。模拟结果表明,该电路的动态范围为80dB、直流增益63.4dB、单位增益带宽424MHz;在最大输出摆幅、建立精度为0.1%时,建立时间为7.5ns,而功耗仅为7.5mW。 展开更多
关键词 跨导运算放大器 折叠-共源共栅 全差分 A/D转换器
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Ar+背面轰击对SiOxNy栅介质的n—MOSFET迁移率和跨导的影响 被引量:5
20
作者 李观启 黄美浅 +1 位作者 曾绍鸿 曾旭 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第10期775-779,共5页
用低能量氩离子束轰击芯片背面,能改善以热氮化和快速热氮化SiOxNy为栅介质的n沟MOSFET的特性.结果表明,在能量为550eV和束流密度为0.5mA/cm2时,随着轰击时间的增加,跨导、沟道电导和有效迁移率增大,... 用低能量氩离子束轰击芯片背面,能改善以热氮化和快速热氮化SiOxNy为栅介质的n沟MOSFET的特性.结果表明,在能量为550eV和束流密度为0.5mA/cm2时,随着轰击时间的增加,跨导、沟道电导和有效迁移率增大,然后这些变化趋于减缓,甚至开始呈恶化趋势.快速热氮化SiOxNy为介质的MOSFET的改善效果要比常规热氮化的好.实验证明,上述参数的改善是由于界面态密度和固定电荷密度减小的结果.文中利用杂质吸除和应力补偿的机理进行分析. 展开更多
关键词 氩离子轰击 SiOxNy栅介质 N-MOSFET 迁移率 跨导
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