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碳纳米管场效应晶体管制备的新进展:可降解聚合物包裹技术
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作者 燕春晖(摘译) 《石油炼制与化工》 CAS CSCD 北大核心 2024年第12期126-126,共1页
随着传统硅基技术接近物理极限,寻找新型半导体材料成为了研究热点。碳纳米管(CNTs),特别是半导体型碳纳米管(s-CNTs),因其卓越的载流子迁移率和低本征电容,被认为是未来高性能电子器件的理想材料。然而,传统聚合物包裹技术虽然能有效... 随着传统硅基技术接近物理极限,寻找新型半导体材料成为了研究热点。碳纳米管(CNTs),特别是半导体型碳纳米管(s-CNTs),因其卓越的载流子迁移率和低本征电容,被认为是未来高性能电子器件的理想材料。然而,传统聚合物包裹技术虽然能有效分离半导体碳纳米管(s-CNTs),但用于包裹的残留聚合物会严重影响器件性能。最近,北京大学彭练矛院士的研究团队开发了一种使用可降解聚合物对碳纳米管进行高纯度分离的技术,并可高效去除聚合物,相关研究成果发表于《ACS Nano》杂志上。 展开更多
关键词 半导体碳纳米管 碳纳米管场效应晶体管 可降解聚合物 载流子迁移率 新型半导体 团队开发 物理极限 半导体型
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碳纳米管场效应晶体管的制备技术发展与挑战
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作者 高喜龙 司佳 张志勇 《固体电子学研究与进展》 2024年第6期503-518,共16页
由平行阵列碳纳米管(Aligned carbon nanotubes,ACNTs)材料构建的场效应晶体管因其超高的载流子迁移率、尺寸缩减潜力、互补金属氧化物半导体(Complementary-metal-oxide-semiconductor,CMOS)的可实现性以及晶圆级制备的可能性,成为后... 由平行阵列碳纳米管(Aligned carbon nanotubes,ACNTs)材料构建的场效应晶体管因其超高的载流子迁移率、尺寸缩减潜力、互补金属氧化物半导体(Complementary-metal-oxide-semiconductor,CMOS)的可实现性以及晶圆级制备的可能性,成为后摩尔时代高性能、低功耗场效应晶体管的强力候选者。本文综述了碳纳米管场效应晶体管的制备工艺,分别从材料制备、晶体管结构、源漏工程和栅工程等角度,详细地拆解并评价了各工艺的优势和局限性,总结了目前碳基场效应晶体管所面临的工艺挑战,讨论了适用于超大规模集成电路的工艺方案,并展望了碳纳米管晶体管工艺的未来发展。 展开更多
关键词 阵列碳纳米管 场效应晶体管 集成电路 工艺优化
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碳纳米管场效应晶体管设计与应用 被引量:8
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作者 许高斌 陈兴 +1 位作者 周琪 王鹏 《电子测量与仪器学报》 CSCD 2010年第10期969-978,共10页
碳纳米管具有一些独特的电学性质,在纳米电子学有很好的应用前景。随着纳米技术的发展,新的工艺技术也随之产生。纳米器件的"由下至上"制作工艺,是在纳米技术和纳米材料的基础之上发展起来的,在新工艺基础之上,可以利用纳米... 碳纳米管具有一些独特的电学性质,在纳米电子学有很好的应用前景。随着纳米技术的发展,新的工艺技术也随之产生。纳米器件的"由下至上"制作工艺,是在纳米技术和纳米材料的基础之上发展起来的,在新工艺基础之上,可以利用纳米管、纳米线的性质制作成各种新的电子器件。由于碳纳米管可以和硅在电子电路中扮演同样的角色,随着基于碳纳米管的纳米电路研究的深入发展,电子学将在真正意义上从微电子时代进入纳电子时代。从分析碳纳米管分立场效应晶体管典型结构特点入手,分析阐述了碳纳米管构建的典型纳米逻辑电路结构特征及碳纳米管在柔性纳米集成电路方面的应用。 展开更多
关键词 碳纳米管 场效应晶体管 纳米逻辑门电路 柔性纳米集成电路 纳米电子学
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单壁碳纳米管作沟道的场效应晶体管输运特性理论研究 被引量:3
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作者 刘兴辉 张俊松 +7 位作者 王绩伟 曾凡光 李新 敖强 王震 王振世 马迎 王瑞玉 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第7期636-641,共6页
为研究以单壁碳纳米管(CNT)作沟道的场效应晶体管(FET)的输运特性,采用非平衡格林函数(NEGF)理论,构建了CNTFET的电子输运模型,该方法摒弃粗糙的连续体模型,可实现CNTFET输运性质与手性指数的直接对接。以(17,0)锯齿型管为例,数值计算了... 为研究以单壁碳纳米管(CNT)作沟道的场效应晶体管(FET)的输运特性,采用非平衡格林函数(NEGF)理论,构建了CNTFET的电子输运模型,该方法摒弃粗糙的连续体模型,可实现CNTFET输运性质与手性指数的直接对接。以(17,0)锯齿型管为例,数值计算了CNTFET输出特性、转移特性、跨导、亚阈值摆幅、开关态电流比等电学特性;在等效栅氧化层厚度相同的情况下,对比了采用不同栅介质材料时上述电学特性在数值上的差异,发现随栅介质介电常数的增加,漏感应势垒降低效应变得显著,这不但导致开态时从源注入到漏的电子浓度增加、电流增大,也导致关态电流增大,开关态的电流比减少。研究还发现在通常的栅源和漏源电压下,沟道中出现热电子。 展开更多
关键词 碳纳米管 场效应晶体管 环绕栅 漏感应势垒降低 热电子
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碳纳米管定向网络场效应晶体管的制备及特性 被引量:2
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作者 翟春雪 王若铮 +6 位作者 马超 尹铁恩 吴志华 赵丽丽 陈骞 张志勇 邓周虎 《西北大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2011年第6期976-980,共5页
目的采用简单易行的方法,制备以碳纳米管定向网络为导电沟道的场效应晶体管。方法采用氧化及酸处理的方法对碳纳米管进行提纯,用高频交流电泳在电极间形成碳纳米管的定向网络,并据碳纳米管的导电特性确定半导体性碳纳米管的耗尽栅压,利... 目的采用简单易行的方法,制备以碳纳米管定向网络为导电沟道的场效应晶体管。方法采用氧化及酸处理的方法对碳纳米管进行提纯,用高频交流电泳在电极间形成碳纳米管的定向网络,并据碳纳米管的导电特性确定半导体性碳纳米管的耗尽栅压,利用大电流烧蚀法去除金属性碳纳米管。结果制备出背栅型碳纳米管定向网络场效应晶体管,测量了输出特性。结论经过提纯处理的碳纳米管纯度提高,碳纳米管在电极间的定向分布效果随交流电场频率的提高而改善,制备出的碳纳米管场效应晶体管具备一定的场效应特性。 展开更多
关键词 碳纳米管定向网络 碳纳米管提纯 金属性碳纳米管 场效应晶体管
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碳纳米管场效应晶体管的研究进展 被引量:1
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作者 吕建伟 王万录 +3 位作者 张毅 万步勇 曹春兰 孔纪兰 《材料导报》 EI CAS CSCD 2004年第F04期91-93,共3页
介绍了利用纳米材料和技术代替传统的硅(Si)材料,研制电子功能元器件的重要性和急迫性。着重介绍了用纳米碳管研制场效应晶体管(FET)这一重要的电子元件的进展情况及几种常见的碳纳米管FET。分析了现有的碳纳米管FET实用化的困难和存... 介绍了利用纳米材料和技术代替传统的硅(Si)材料,研制电子功能元器件的重要性和急迫性。着重介绍了用纳米碳管研制场效应晶体管(FET)这一重要的电子元件的进展情况及几种常见的碳纳米管FET。分析了现有的碳纳米管FET实用化的困难和存在的问题,并展望了碳纳米管FET的应用前景。 展开更多
关键词 场效应晶体管 碳纳米管 研究进展 FET 纳米材料 电子功能 电子元件 纳米碳管 元器件 实用化 研制
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碳纳米管场效应晶体管电子输运特性的研究 被引量:1
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作者 袁寿财 刘亚媚 《电子器件》 CAS 2008年第5期1523-1528,共6页
由于硅器件尺寸不断缩小至纳米尺度,人们因此对纳米尺度器件开展了理论与结构方面的广泛而深入的研究,其中最重要的纳米尺度器件是基于碳纳米管的电场效应器件并被称为碳纳米管场效应晶体管(CNTFET)。本文分析了碳纳米管场效应晶体管沟... 由于硅器件尺寸不断缩小至纳米尺度,人们因此对纳米尺度器件开展了理论与结构方面的广泛而深入的研究,其中最重要的纳米尺度器件是基于碳纳米管的电场效应器件并被称为碳纳米管场效应晶体管(CNTFET)。本文分析了碳纳米管场效应晶体管沟道电子的传输特性,并给出了用器件端子参数描述的器件I-V特性方程表达式,计算了器件的I-V特性曲线并把结果与纳米器件专用分析软件nanoMOS-2.0给出的结果作了比较,发现本文模型的计算结果均大于nanoMOS-2.0给出的结果,表明本文模型尚需进一步的深入分析和优化。 展开更多
关键词 碳纳米管场效应晶体管 弹道输运 器件模拟 量子效应 半导体器件模型 超薄衬底
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基于量子模型的碳纳米管场效应晶体管电子输运特性 被引量:2
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作者 王小羊 《电子元件与材料》 CAS CSCD 2015年第7期28-30,共3页
采用量子输运模型和NEGF理论,自洽求解薛定谔方程和泊松方程,对类MOS-碳纳米管场效应晶体管的电子输运特性建模。考察了沟道长度Lg为5-25 nm时,其对器件的导通电流、阈值电压、关态泄漏电流、电流开关比、亚阈值摆幅等性质的影响。结果... 采用量子输运模型和NEGF理论,自洽求解薛定谔方程和泊松方程,对类MOS-碳纳米管场效应晶体管的电子输运特性建模。考察了沟道长度Lg为5-25 nm时,其对器件的导通电流、阈值电压、关态泄漏电流、电流开关比、亚阈值摆幅等性质的影响。结果表明:当Lg≥15 nm时,MOS-CNTFET没有量子尺寸效应;当Lg〈15 nm时,器件出现短沟道效应;Lg〈10 nm时短沟道效应更加明显。 展开更多
关键词 碳纳米管 场效应晶体管 量子输运模型 电子输运特性 沟道长度 NEGF
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电解液栅型碳纳米管场效应晶体管的实验研究
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作者 吕建伟 王万录 +3 位作者 廖克俊 王永田 万步勇 孔纪兰 《重庆大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期149-152,共4页
由于碳纳米管具有独特的结构和性能,因而一直受到人们的关注。对于包括碳纳米管场效应管在内的分子元件的研究方面尤其令人注目。笔者研究了具有电解液栅的碳纳米管场效应晶体管,研究中所用的碳纳米管是用热灯丝化学气相沉积法 (CVD)合... 由于碳纳米管具有独特的结构和性能,因而一直受到人们的关注。对于包括碳纳米管场效应管在内的分子元件的研究方面尤其令人注目。笔者研究了具有电解液栅的碳纳米管场效应晶体管,研究中所用的碳纳米管是用热灯丝化学气相沉积法 (CVD)合成的。衬底材料是平面玻璃,Fe/Ni混合物用作催化剂。对具有Ag电极的多壁碳纳米管晶体管作了优化设计制造,并利用KCl溶液作为栅极。实验结果表明,电解液栅型碳纳米管晶体管(FET)呈现出良好的电流-电压特性曲线。在栅压 2V时,其跨导约为 0. 5mA/V。并对获得的研究结果进行了讨论。 展开更多
关键词 碳纳米管 场效应晶体管 电解液栅极 I-V特性 跨导
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单壁碳纳米管随机网络场效应晶体管
10
作者 许高斌 王鹏 +1 位作者 陈兴 常永嘉 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2010年第9期532-536,共5页
使用超声分散CVD法合成的商用单壁碳纳米管(SWCNT),利用匀胶机把分散获得的、含有SWCNT的悬浮液均匀旋涂于SiO2/Si基上,利用萌罩式电子束蒸发技术在碳纳米管随机网络薄膜表面制备漏源Au电极。该制备技术避免了碳纳米管器件更多的化学接... 使用超声分散CVD法合成的商用单壁碳纳米管(SWCNT),利用匀胶机把分散获得的、含有SWCNT的悬浮液均匀旋涂于SiO2/Si基上,利用萌罩式电子束蒸发技术在碳纳米管随机网络薄膜表面制备漏源Au电极。该制备技术避免了碳纳米管器件更多的化学接触,有效确保碳纳米管的纯度。该碳纳米管场效应晶体管器件采用重掺杂Si作为背栅、SWCNT随机网络薄膜为导电沟道。在室温环境下利用Keithley-4200对器件性能进行了测试分析,器件开启电流约为1μA,峰值跨导为326nS。该方法制备的SWCNT随机网络场效应晶体管,具有工艺实现简单、器件性能稳定、重复性和一致性好等特点,并可以用于构建CNT逻辑电路。该技术对于研究低成本、大规模基于CNT的集成电路来说,具有较高的借鉴价值。 展开更多
关键词 单壁碳纳米管随机网络 场效应晶体管 超声分散 萌罩式电子束蒸发 背栅
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碳纳米管薄膜场效应晶体管低温电学特性
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作者 张静 李梦达 +7 位作者 朱慧平 王磊 彭松昂 陆芃 李晓静 王艳蓉 李博 闫江 《现代应用物理》 2023年第3期217-221,共5页
基于网络状碳纳米管(carbon nanotube,CNT)薄膜制备了网络状碳纳米管薄膜场效应晶体管(carbon nanotube thin film field effect transistor,CNT-TFT),研究了温度为100~300 K时,CNT-TFT的电学特性,并对关键电学参数,如开态电流I_(on)、... 基于网络状碳纳米管(carbon nanotube,CNT)薄膜制备了网络状碳纳米管薄膜场效应晶体管(carbon nanotube thin film field effect transistor,CNT-TFT),研究了温度为100~300 K时,CNT-TFT的电学特性,并对关键电学参数,如开态电流I_(on)、跨导G_(m)、阈值电压V_(th)和亚阈值摆幅S_(S)等,进行了深入分析。研究结果表明,随着温度的降低,G_(m)出现了下降,V_(th)向左漂移;在G_(m)和V_(th)共同作用下,I_(on)显著下降。通过对电学参数随温度演化机制的深入分析,发现器件G_(m)的降低不仅与CNT内的散射及CNT-金属接触电阻相关,而且与交叠的碳纳米管间的结电阻密切相关。同时,研究还表明,低温下,界面俘获中心对电子俘获概率的减小是引起器件V_(th)和S_(S)变化的主要因素。 展开更多
关键词 碳纳米管薄膜场效应晶体管 低温 电学特性 散射 界面俘获中心
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不同手性单壁碳纳米管分离及其场效应晶体管性能研究 被引量:2
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作者 郑苗苗 李亚辉 +5 位作者 姚建 邱松 金赫华 吴昆杰 刘丹丹 李清文 《半导体光电》 CAS 北大核心 2020年第3期344-350,共7页
高纯度的单手性单壁碳纳米管对于下一代碳基电子器件的发展具有重要意义。利用聚[(9,9-二辛基芴-2,7-二基)-共-联吡啶](PFO-BPy)、聚(9,9-二辛基芴-2,7-二基)(PFO)和聚(9,9-二辛基芴-共苯并噻二唑)(PFO-BT)三种聚合物在有机相中分别分选... 高纯度的单手性单壁碳纳米管对于下一代碳基电子器件的发展具有重要意义。利用聚[(9,9-二辛基芴-2,7-二基)-共-联吡啶](PFO-BPy)、聚(9,9-二辛基芴-2,7-二基)(PFO)和聚(9,9-二辛基芴-共苯并噻二唑)(PFO-BT)三种聚合物在有机相中分别分选出(6,5),(7,5)和(10,5)三种手性单壁碳纳米管,具有较高纯度以及浓度,并去除了超过99%的残留分散剂。使用上述溶液沉积获得高均匀性和高密度的碳纳米管薄膜,以此作为器件沟道材料,制备了手性单壁碳纳米管场效应晶体管阵列。结果显示,大直径的(10,5)手性碳纳米管晶体管器件具有较好的电学性能,其迁移率最高达16cm2·V-1·s-1,开关比达107。 展开更多
关键词 单壁碳纳米管 手性分离 碳纳米管薄膜 场效应晶体管器件
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双底栅双壁碳纳米管场效应晶体管的构建和特性研究 被引量:2
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作者 张振宇 王胜 +1 位作者 梁学磊 陈清 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期353-357,共5页
构建了以双壁碳纳米管为导电通道、Al2O3和SiO2为绝缘层、Al和Si为栅极、Pd为源和漏电极的双底栅场效应晶体管,测量了晶体管的特性。观测到了双壁碳纳米管的三种典型的输运特性;观测到了两个底栅分别的调制作用;发现两个底栅的调制作用... 构建了以双壁碳纳米管为导电通道、Al2O3和SiO2为绝缘层、Al和Si为栅极、Pd为源和漏电极的双底栅场效应晶体管,测量了晶体管的特性。观测到了双壁碳纳米管的三种典型的输运特性;观测到了两个底栅分别的调制作用;发现两个底栅的调制作用存在着显著的相互影响,使得场效应晶体管的特性明显不同于单栅器件,具备了逻辑“与”门的基本功能;利用能带图分析了双底栅器件的特性。 展开更多
关键词 双栅 场效应晶体管 双壁碳纳米管 特性
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基于肖特基接触的碳纳米管场效应晶体管 被引量:1
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作者 金铁凝 陈长鑫 +3 位作者 刘晓东 魏良明 王英 张亚非 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2013年第4期201-205,219,共6页
由于具有独特的一维纳米结构、稳定的化学特性和优异的电学性能,单壁碳纳米管被认为是制作高性能电子器件以及下一代纳米电路的理想材料,作为新型基础电子元件的一种,碳纳米管场效应晶体管一直是研究的热点。研究了一种基于非对称肖特... 由于具有独特的一维纳米结构、稳定的化学特性和优异的电学性能,单壁碳纳米管被认为是制作高性能电子器件以及下一代纳米电路的理想材料,作为新型基础电子元件的一种,碳纳米管场效应晶体管一直是研究的热点。研究了一种基于非对称肖特基接触的碳纳米管场效应晶体管,金属钯与金属铝分别作为电极材料制作出的碳纳米管场效应晶体管分别表现出p型和n型的导通特性,当这两种金属分别作为源、漏电极制作在单根半导体性单壁碳纳米管的两端时,便构成了非对称肖特基接触结构碳纳米管场效应晶体管。器件表现出了优良的整流特性,整流比达到103,在栅压的调控下,正向电流的开关比接近103。 展开更多
关键词 碳纳米管 场效应晶体管 肖特基势垒 二极管 电子束光刻
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碳纳米管场效应晶体管用于大肠杆菌检测的研究 被引量:1
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作者 符晓龙 杨丹娜 +1 位作者 谌志强 李赛 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2015年第8期192-194,共3页
采用连接分子1-芘丁酸琥珀酰亚胺酯(PASE)和大肠杆菌抗体对碳纳米管场效应晶体管(CNTFET)进行修饰,制备出针对大肠杆菌检测的生物传感器。通过扫描电镜发现有连接分子修饰的CNTFET对大肠杆菌有很好的吸附效果,且根据检测大肠杆菌过程中C... 采用连接分子1-芘丁酸琥珀酰亚胺酯(PASE)和大肠杆菌抗体对碳纳米管场效应晶体管(CNTFET)进行修饰,制备出针对大肠杆菌检测的生物传感器。通过扫描电镜发现有连接分子修饰的CNTFET对大肠杆菌有很好的吸附效果,且根据检测大肠杆菌过程中CNTFET源漏电极之间电阻的变化特点,发现仅有连接分子修饰的CNTFET对大肠杆菌有很好的响应效果。另外,用CNTFET检测不同浓度的大肠杆菌时,随着大肠杆菌浓度的增加,源漏电极之间的电阻也越来越大,证明了以CNTFET为基础的生物传感器检测大肠杆菌的可能性。 展开更多
关键词 碳纳米管场效应晶体管 生物传感器 大肠杆菌
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单壁碳纳米管场效应晶体管的制备工艺研究
16
作者 黄改燕 陈长鑫 张亚非 《微纳电子技术》 CAS 2008年第2期78-82,共5页
综述了碳纳米管场效应晶体管(CNTFET)的主要结构和导电沟道的制备工艺,如AFM探针操控、CVD原位生长、交流介电泳和L-B大面积操控排布等方法。在对CNTFET的这些结构和制备工艺进行详细分析的基础上,着重指出目前CNTFET导电沟道制备中存... 综述了碳纳米管场效应晶体管(CNTFET)的主要结构和导电沟道的制备工艺,如AFM探针操控、CVD原位生长、交流介电泳和L-B大面积操控排布等方法。在对CNTFET的这些结构和制备工艺进行详细分析的基础上,着重指出目前CNTFET导电沟道制备中存在的诸如金属性单壁碳纳米管(SWCNT)的烧除、接触电阻大、滞后现象以及p型CNTFET转化等问题,并针对这些问题提出了具体可行的解决方案。 展开更多
关键词 单壁碳纳米管 碳纳米管场效应晶体管 肖特基势垒 超声纳米焊接 原位生长
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碳纳米管随机网络场效应晶体管电学性能分析
17
作者 常永嘉 皇华 黄文龙 《电子科技》 2012年第8期86-89,共4页
利用电子束蒸发技术在Si衬底形成Au电极作为底栅电极,在底栅电极上生长SiO2薄膜。超声分散CVD法合成的商用单壁碳纳米管(SWCNTs),使用匀胶机将单壁碳纳米管悬浮液均匀旋涂于SiO2薄膜上。再利用荫罩式电子束蒸发技术,在单壁碳纳米管随机... 利用电子束蒸发技术在Si衬底形成Au电极作为底栅电极,在底栅电极上生长SiO2薄膜。超声分散CVD法合成的商用单壁碳纳米管(SWCNTs),使用匀胶机将单壁碳纳米管悬浮液均匀旋涂于SiO2薄膜上。再利用荫罩式电子束蒸发技术,在单壁碳纳米管随机网络薄膜表面制备漏源电极。该工艺过程避免了碳纳米管过多的化学接触,有效地保护了碳纳米管的性状。在室温条件下对器件电学性能进行测试和分析。使用该方法制备的单壁碳纳米管随机网络薄膜场效应晶体管,具有器件性能稳定、重复性和一致性较好等优点,并可用于构建碳纳米管逻辑电路。该方法对于研究基于碳纳米管的大规模、低成本的集成电路,具有较高的借鉴价值。 展开更多
关键词 单壁碳纳米管 随机网络 场效应晶体管 荫罩式电子束蒸发 底栅
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一种基于单壁碳纳米管网络的柔性场效应晶体管器件
18
作者 王怀鹏 张伟博 谢丹 《微处理机》 2023年第4期1-3,共3页
针对未来可穿戴电子设备对高性能柔性场效应晶体管的迫切需求,提出一种基于单壁碳纳米管网络的柔性场效应晶体管的制备方法,采用超柔的聚酰亚胺薄膜(PI)作为衬底,以具有高介电常数的氧化铪作为栅介质层,由一维碳纳米管搭建的网路状结构... 针对未来可穿戴电子设备对高性能柔性场效应晶体管的迫切需求,提出一种基于单壁碳纳米管网络的柔性场效应晶体管的制备方法,采用超柔的聚酰亚胺薄膜(PI)作为衬底,以具有高介电常数的氧化铪作为栅介质层,由一维碳纳米管搭建的网路状结构作为晶体管导电沟道。实验结果表明,在超柔PI衬底上,所制备柔性场效应晶体管表现出典型的P型导电特性,开关比达到10^(5)以上,具有良好的开关特性。所制备器件在200次弯折之后,仍能表现出10^(4)以上的高开关比,证明所制备柔性晶体管器件具有良好的耐弯折特性,具有应用于可穿戴电子器件的巨大潜力。 展开更多
关键词 碳纳米管 柔性器件 场效应晶体管 电学特性
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我国碳纳米管场效应晶体管和可控制备研究获重要进展
19
《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第4期213-213,共1页
在国家自然科学基金委、科技部、中科院的大力支持下,中科院化学所有机固体院重点实验室刘云圻研究员、朱道本院士和他们的研究生,与胶体、界面与化学热力学院重点实验室韩布兴研究员、刘志敏副研究员合作,在碳纳米管场效应晶体管的... 在国家自然科学基金委、科技部、中科院的大力支持下,中科院化学所有机固体院重点实验室刘云圻研究员、朱道本院士和他们的研究生,与胶体、界面与化学热力学院重点实验室韩布兴研究员、刘志敏副研究员合作,在碳纳米管场效应晶体管的研究方面取得新进展,有关研究成果申请了中国发明专利并发表在国际材料学术期刊《先进材料》(Advanced Materials(2006,Vol.18,No.2,p181-185)上。 展开更多
关键词 场效应晶体管 碳纳米管 可控制备 中科院化学所 国家自然科学基金 重点实验室 先进材料 研究员
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介质厚度不同对碳纳米管场效应晶体管的影响
20
作者 余文娟 《应用物理》 2014年第5期76-84,共9页
本文运用非平衡格林函数理论,计算碳纳米管场效应晶体管栅极氧化层中由一个缺陷电荷引起的无规则电报信号杂音。文章模拟计算了该杂音强弱与栅极氧化层厚度的依赖关系,研究单层和复合绝缘层两种不同情况下碳纳米管场效应晶体管中的无规... 本文运用非平衡格林函数理论,计算碳纳米管场效应晶体管栅极氧化层中由一个缺陷电荷引起的无规则电报信号杂音。文章模拟计算了该杂音强弱与栅极氧化层厚度的依赖关系,研究单层和复合绝缘层两种不同情况下碳纳米管场效应晶体管中的无规则电报信号杂音。 展开更多
关键词 碳纳米管 场效应晶体管 非平衡格林函数 无规则电报信号杂音
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