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真空计量标准的研制与应用 被引量：11
1
作者 李得天 张涤新 +2 位作者 冯焱 成永军 卢耀文 《真空》 CAS 北大核心 2009年第6期1-7,共7页
兰州物理研究所研制了一系列真空标准装置,可用于真空规、方向规、分压力质谱计、真空漏孔和正压漏孔的校准。其静态膨胀法真空标准装置、动态流量法真空标准装置及超高/极高真空校准装置是用于真空规校准的三套基础标准,覆盖的校准范围... 兰州物理研究所研制了一系列真空标准装置,可用于真空规、方向规、分压力质谱计、真空漏孔和正压漏孔的校准。其静态膨胀法真空标准装置、动态流量法真空标准装置及超高/极高真空校准装置是用于真空规校准的三套基础标准,覆盖的校准范围为(10-10～105)Pa;程控式真空规校准装置适用于工业部门,其校准范围为(10-4～105)Pa;为实现质谱计的校准,研制了一台具有三路相同独立进样系统的分压力质谱计校准装置,标准分压力通过磁悬浮转子规以两种不同的方法进行测量,该校准装置可实现(10-7～10-1)Pa范围内的分压力校准;为实现真空漏孔的校准,研制了恒压式气体微流量标准装置和固定流导法气体微流量标准装置,恒压式气体微流量标准装置的校准范围为(10-8～10-2)Pa·m3/s,固定流导法气体微流量标准装置的校准范围为(10-10～10-5)Pa·m3/s,漏孔漏率的校准通过比较被校漏孔和标准气体微流量计在一台四极质谱计上引起示漏气体离子流的大小计算得到;为实现正压漏孔的校准,研制了一台正压漏孔校准装置,采用定容法和定量气体动态比较法对正压漏孔进行校准,校准范围为(5×10-8～10-1)Pa·m3/s;研制了一台定向流真空校准装置,实现对方向规的校准和非平衡态分子流的研究,装置的校准范围为(10-7～10-1)Pa。 展开更多
关键词 真空计量 真空标准 真空规 质谱计 漏孔
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中国真空计量发展概述 被引量：19
2
作者 李得天 陈旭 +3 位作者 于红燕 张涤新 费渭南 查良镇 《真空与低温》 2004年第1期6-16,共11页
回顾了近50多年来中国真空计量的发展历史。内容包括真空(全压力)测量与校准、分压力测量与校准、气体微流量测量与校准,从中可对中国真空计量的历史渊源和现状有一个完整的了解。
关键词 中国 真空计量 分压力 气体微流量 校准
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比对法真空计量标准装置的研制 被引量：3
3
作者 刘强 李正海 李得天 《宇航计测技术》 CSCD 北大核心 1992年第6期70-73,共4页
比对法真空计量标准装置是一种结构简单、操作方便、检定效率高、实用性强的二等真空标准装置。主要技术要求完全符合国际标准化组织(ISO)和国内有关真空标准的规定,尤其适用于真空计量二级站和一些基层单位大量常规校准,校准范围为10~5... 比对法真空计量标准装置是一种结构简单、操作方便、检定效率高、实用性强的二等真空标准装置。主要技术要求完全符合国际标准化组织(ISO)和国内有关真空标准的规定,尤其适用于真空计量二级站和一些基层单位大量常规校准,校准范围为10~5～10^(-4)Pa,总不确定度小于10％。在10^(-4)Pa范围内,压力的稳定度好于1％,在1～10~5Pa范围内,压力的稳定度好于0.5％。该标准装置的极限压力达10^(-6)pa。 展开更多
关键词 真空计量 压力计量 比较
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我国国防真空计量发展概况及成就 被引量：6
4
作者 张涤新 李得天 黄良甫 《真空》 CAS 北大核心 2004年第4期33-39,共7页
综述了近 4 0多年来我国国防真空计量的发展概况及成就 ,内容包括真空 (全压力 )测量与校准、分压力测量与校准。
关键词 真空计量学 真空测量 分压力测量 气体微流量测量 校准 国防
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基于LabVIEW的虚拟仪器技术及其在真空计量中的应用 被引量：1
5
作者 成永军 李得天 +1 位作者 郭美如 冯焱 《真空电子技术》 2007年第6期55-58,共4页
简要阐述了虚拟仪器的概念、软硬件构成及LabVIEW图形化编程开发平台,介绍了在LabVIEW中利用RemotePanel技术实现远程虚拟仪器的方法,最后给出了虚拟仪器技术在真空计量研究中取得的一些应用成果。
关键词 虚拟仪器 LABVIEW 真空计量
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中国真空计量2004-2019年发展概况及趋势分析 被引量：10
6
作者 李得天 《真空与低温》 2020年第1期1-16,共16页
回顾了近15年来中国真空计量学科领域的发展历程及态势。从真空全压力测量与校准、真空分压力测量与校准、气体微流量(真空漏率)测量与校准、正压漏率校准、真空材料放气率测试等方面分析了我国真空计量体系的动态演变,在应用需求及专... 回顾了近15年来中国真空计量学科领域的发展历程及态势。从真空全压力测量与校准、真空分压力测量与校准、气体微流量(真空漏率)测量与校准、正压漏率校准、真空材料放气率测试等方面分析了我国真空计量体系的动态演变,在应用需求及专业自身发展推动下,真空计量不断向极值量、极端环境条件下计量和动态量发展;通过与前沿学科的交叉融合,真空测量新方法、新概念进一步发展。面对国际单位制的重新定义,量子真空计量技术将是未来发展的重点方向及必然趋势。 展开更多
关键词 真空计量 真空全压力 真空分压力 气体微流量 量子标准
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真空计量的需求与发展 被引量：7
7
作者 张涤新 《真空与低温》 2007年第3期125-127,共3页
综述了对真空计量的需求与发展,其中包括对全压力、分压力、气体微流量、真空泵抽速、空间真空测量和特殊条件下对真空测量的需求,还包括对真空计量标准和测试设备的需求。
关键词 真空计量 真空测量 真空校准
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真空计量的若干进展 被引量：6
8
作者 李得天 《真空与低温》 2003年第3期125-133,174,共10页
真空计量学已发展成为计量学的一个新的独立分支,其研究内容已从传统的全压力测量与校准扩展到分压力测量与校准、气体微流量(漏率)测量与校准。描述了这3个方面的最新进展,从中可看出真空计量学的现状与发展趋势。
关键词 真空计量学 全压力测量 分压力测量 校准 气体微流量测量
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真空计量的现状及发展趋势 被引量：5
9
作者 张涤新 《真空与低温》 2001年第2期63-67,76,共6页
介绍了真空计量、真空计量标准、真空测量与校准技术、空间真空测量等方面的内 容。基于真空计量的现状，提出了真空计量的发展趋势。
关键词 真空计量 真空计量标准 真空测量 真空校准 空间真空测量 真空度测量 气体微量流量测量 分压力测量
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真空计量中静态膨胀法的计算 被引量：1
10
作者 刘兴胜 陈旭 《计量与测试技术》 2007年第4期31-32,共2页
本文结合实际情况,详细分析了静态膨胀法的计算方法。
关键词 真空计量 静态膨胀 玻意尔定律 膨胀系数k值
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真空计量标准期间核查方法的探讨
11
作者 赵光平 张涤新 +2 位作者 徐婕 成永军 魏万印 《真空与低温》 2009年第1期37-40,51,共5页
在选择真空计量标准期间核查方法时,如果计量标准的准确度要求较高,宜优先采用传递比较法和多台平均值法;如果计量标准的准确度要求较低,可采用比对法。介绍了静态膨胀法真空标准装置、气体微流量标准装置、真空规比对标准装置的期间核... 在选择真空计量标准期间核查方法时,如果计量标准的准确度要求较高,宜优先采用传递比较法和多台平均值法;如果计量标准的准确度要求较低,可采用比对法。介绍了静态膨胀法真空标准装置、气体微流量标准装置、真空规比对标准装置的期间核查方法。 展开更多
关键词 真空计量 标准装置 期间核查方法
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真空计量的新进展 被引量：3
12
作者 李得天 《上海计量测试》 2003年第5期4-10,共7页
真空计量学已发展成为计量学的一个新的独立分支,其研究内容已从传统的全压力测量与校准扩展到分压力测量与校准、气体微流量(漏率)测量与校准。本文描述了这三个方面的最新进展,从中可看出真空计量学的现状与发展趋势。
关键词 真空计量学 全压力测量 分压力测量 气体微流量测量 全压力校准 发展趋势
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真空计量装置在动态比对法中的测量不确定度评定 被引量：1
13
作者 刘兴胜 《计量与测试技术》 2009年第6期80-80,83,共2页
动态比对法的校准范围是10^-4t～10^-1pa，属于高真空范畴。本文分析了影响动态比对法的6个不确定度分量，并给出了不确定度的报告。
关键词 真空计量装置 动态比对 不确定度
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基于气体折射率方法的真空计量 被引量：12
14
作者 许玉蓉 刘洋洋 +4 位作者 王进 孙羽 习振华 李得天 胡水明 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2020年第15期15-21,共7页
为保证测量系统的长期稳定性和复现性,真空计量将使用气体密度来表征.利用法布里-珀罗腔可实现对气体折射率的精密测量、并反演得出气体密度.这种基于光学方法的真空计量方法是将气体宏观介电常数与原子微观极化参数联系在一起,由量子... 为保证测量系统的长期稳定性和复现性,真空计量将使用气体密度来表征.利用法布里-珀罗腔可实现对气体折射率的精密测量、并反演得出气体密度.这种基于光学方法的真空计量方法是将气体宏观介电常数与原子微观极化参数联系在一起,由量子标准取代目前基于水银压力计的实物标准.本文讨论了气体折射率至气体压力的反演过程,并采用激光锁定法布里-珀罗腔的方法测定稀薄氩气的折射率,讨论了相关参数对所测得气体压力不确定度的贡献.在1个大气压范围内,对氩气压力测量的标准不确定度为u=√(6mPa)^2+(73×10^-6p)^2. 展开更多
关键词 真空计量 气体压力 维里状态方程 气体折射率
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量子真空计量标准中的非极性稀薄气体折射率测量研究 被引量：6
15
作者 范栋 习振华 +2 位作者 贾文杰 成永军 李得天 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2021年第4期144-152,共9页
为进一步提高真空量值的复现性和准确性,最新研究采用量子技术实现对真空量值的测量与表征.该方法利用Fabry-Perot谐振腔实现腔内气体折射率的精密测量,并反演出气体密度,进而获得对应的真空量值,其中气体折射率的测量是影响真空量值准... 为进一步提高真空量值的复现性和准确性,最新研究采用量子技术实现对真空量值的测量与表征.该方法利用Fabry-Perot谐振腔实现腔内气体折射率的精密测量,并反演出气体密度,进而获得对应的真空量值,其中气体折射率的测量是影响真空量值准确性的关键.本文基于第一性原理,利用从头计算理论计算了在已知压力和温度条件下的氦气折射率,给出腔内气体压力与折射率关系的表达式,并利用基于Fabry-Perot激光谐振腔的真空测量装置,通过双腔谐振激光拍频精确测量了充气前后谐振激光频率的变化,测出了氦气折射率,并分析了测量不确定度.将理论计算值与实验测量值进行了对比分析,得出了制约准确度提高的主要因素,并提出了修正方法. 展开更多
关键词 真空计量 Fabry-Perot谐振腔 气体折射率 氦气渗透率
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基于冷原子的量子真空计量技术研究进展 被引量：3
16
作者 贾文杰 董猛 +3 位作者 习振华 范栋 任正宜 成永军 《宇航计测技术》 CSCD 2021年第3期1-7,共7页
在国际单位制量子化变革背景下,随着激光冷却碱金属原子技术的发展,基于冷原子的真空测量技术研究成为实现超高/极高真空范围量子化测量的突破点。本文对基于冷原子的真空测量方法进行原理解析,分析该方法的优缺点,并介绍了国内外计量... 在国际单位制量子化变革背景下,随着激光冷却碱金属原子技术的发展,基于冷原子的真空测量技术研究成为实现超高/极高真空范围量子化测量的突破点。本文对基于冷原子的真空测量方法进行原理解析,分析该方法的优缺点,并介绍了国内外计量机构对基于冷原子真空测量装置的研究进展情况,及项目组设计的基于冷原子量子真空测量装置原理及运作方式。综上可知,基于冷原子的量子真空测量方法在超高/极高真空计量领域具有独特优势,是实现超高/极高真空范围量子化真空测量的研究热点。结合基于冷原子的量子真空测量装置和abinitio算法,将成为超高/极高真空计量领域原级标准的测量方法之一。 展开更多
关键词 真空计量 冷原子 量子 激光冷却
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Excel在真空计量中的应用
17
作者 田东旭 吕时良 《航空计测技术》 1998年第3期27-29,共3页
在真空计量领域中，Excel电子表格软件得到了广泛的应用。本文举例说明了Excel的数据计算、统计分析、回归分析、宏、OLE和DDE功能。
关键词 EXCEL 真空计量 电子表格软件 数据计算
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恢复真空计量学天平的研制
18
作者 黄锦才 《实用测试技术》 1996年第1期5-10,共6页
恢复真空计量学天平的研制黄锦才（中国测试技术研究院，成都６１００６１）１前言真空计量学天平（以下简称真空天平）是我国建立国家干克基准和传递质量量值的关键设备。它被列为我国１９６３－１９７２年十年科学技术发展规划的重点... 恢复真空计量学天平的研制黄锦才（中国测试技术研究院，成都６１００６１）１前言真空计量学天平（以下简称真空天平）是我国建立国家干克基准和传递质量量值的关键设备。它被列为我国１９６３－１９７２年十年科学技术发展规划的重点项目之一。在１９６６年由一机部以（... 展开更多
关键词 真空计量学 真空天平 天平 制造
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冷原子量子真空计量技术研究进展 被引量：5
19
作者 李毅 李得天 王多书 《真空与低温》 2019年第3期145-155,共11页
超高/极高真空度测量技术在宇航科学、半导体制造、表面科学等领域具有广泛的应用。随着超冷原子技术的发展,利用冷原子损失率与气体压力之间的关系测量真空度,逐渐发展成一种新的真空测量方法——冷原子量子真空测量。在该方法中,冷原... 超高/极高真空度测量技术在宇航科学、半导体制造、表面科学等领域具有广泛的应用。随着超冷原子技术的发展,利用冷原子损失率与气体压力之间的关系测量真空度,逐渐发展成一种新的真空测量方法——冷原子量子真空测量。在该方法中,冷原子损失率仅仅与冷原子和气体的碰撞截面有关,因此基于冷原子量子真空测量的方法有望发展出绝对真空计量技术。首先介绍了激光冷却和囚禁原子的基本概念以及磁光阱的结构和工作原理。其次,论述了冷原子量子真空计量技术的国内外研究现状、技术优势和关键技术。最后展望了冷原子量子真空计量技术的发展趋势。随着冷原子装置的小型化、商业化、普及化,这种新型量子真空计量技术有望应用到诸如航天器等需要高性能、轻量化、微型化装置的领域中。 展开更多
关键词 冷原子 磁光阱 超高/极高真空 碰撞截面 真空计量
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真空计量的量子化研究进展 被引量：1
20
作者 郑一鸣 王旭迪 吴俊 《真空》 CAS 2023年第6期9-14,共6页
欧洲计量创新与研究计划(EMPIR)的量子帕斯卡(Quantum Pascal)项目旨在开发基于光子的真空计量标准,以将压力的国际制单位(Pa)转换为气体密度单位。该项目的主要研究方向包括折射率法、吸收光谱法和冷原子法等基于光学方法的量子真空标... 欧洲计量创新与研究计划(EMPIR)的量子帕斯卡(Quantum Pascal)项目旨在开发基于光子的真空计量标准,以将压力的国际制单位(Pa)转换为气体密度单位。该项目的主要研究方向包括折射率法、吸收光谱法和冷原子法等基于光学方法的量子真空标准,这些方法各有特点,且都具备高精度和高可重复性的优点。其中,折射率法和吸收光谱法主要基于气体分子在真空中的相互作用机制进行测量,而冷原子法则是利用玻色-爱因斯坦凝聚态的性质进行测量。本文对这些原理和应用装置进行了详细介绍,为量子真空计量技术的发展提供了有益的参考。这些技术的发展将有助于实现更准确的真空测量和更精确的科学研究,对于半导体制造、材料科学、量子信息等领域都具有重要意义。 展开更多
关键词 真空计量 量子真空 折射率法 冷原子 吸收光谱法
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