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点衍射干涉系统光学结构参数优化研究
被引量：
5
1
作者
邵卫红
杨甬英
+2 位作者
陈晓钰
刘东
沈亦兵
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第5期10-16,共7页
采用时域有限差分方法,在分析点衍射波前误差的前提下,讨论了点衍射干涉系统中物镜数值孔径、针孔尺寸、检测的数值孔径对衍射光强的影响;逐步优化光学结构参数,得到不同光学结构参数之间的匹配数值表;通过比较点衍射干涉系统和Zygo干...
采用时域有限差分方法,在分析点衍射波前误差的前提下,讨论了点衍射干涉系统中物镜数值孔径、针孔尺寸、检测的数值孔径对衍射光强的影响;逐步优化光学结构参数,得到不同光学结构参数之间的匹配数值表;通过比较点衍射干涉系统和Zygo干涉仪对球面镜的测量结果,得到测量面形误差的均方根之差为波长的1/1000,且获得的干涉条纹具有合适的对比度和亮度,验证了光学结构参数选择的合理性。
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关键词
点衍射干涉检测
时域有限差分方法
衍射
波前误差
衍射
光强
光强均匀度
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职称材料
基于时域有限差分方法的点衍射波前误差分析
被引量：
15
2
作者
陈琛
杨甬英
+1 位作者
王道档
卓永模
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第9期165-169,共5页
小孔的直径影响小孔衍射波前的误差,进而会影响点衍射干涉(PDI)检测的精度。基于矢量衍射理论中的时域有限差分(FDTD)方法,精确分析了可见光情况下衍射小孔直径接近以及小于入射光波长时所对应的衍射波前相对于标准球面波的偏离误差。...
小孔的直径影响小孔衍射波前的误差,进而会影响点衍射干涉(PDI)检测的精度。基于矢量衍射理论中的时域有限差分(FDTD)方法,精确分析了可见光情况下衍射小孔直径接近以及小于入射光波长时所对应的衍射波前相对于标准球面波的偏离误差。数值仿真结果表明,当小孔的直径为400 nm时,所对应的数值孔径为0.65的衍射波前的误差峰谷值小于1 nm,而误差均方根值小于0.35 nm。随着小孔尺寸的减小,其衍射波前的误差进一步减小。仿真结果原理上验证了小孔点衍射干涉方法用于实现大数值孔径球面的高精度检测的可行性,并为实际检测中点衍射小孔尺寸的选择提供了精确的数值依据。
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关键词
光学测量
点衍射干涉检测
时域有限差分法
波前误差
矢量
衍射
原文传递
题名
点衍射干涉系统光学结构参数优化研究
被引量：
5
1
作者
邵卫红
杨甬英
陈晓钰
刘东
沈亦兵
机构
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第5期10-16,共7页
基金
国家重大科技专项
现代光学仪器国家重点实验室创新基金项目(MOI201208)
文摘
采用时域有限差分方法,在分析点衍射波前误差的前提下,讨论了点衍射干涉系统中物镜数值孔径、针孔尺寸、检测的数值孔径对衍射光强的影响;逐步优化光学结构参数,得到不同光学结构参数之间的匹配数值表;通过比较点衍射干涉系统和Zygo干涉仪对球面镜的测量结果,得到测量面形误差的均方根之差为波长的1/1000,且获得的干涉条纹具有合适的对比度和亮度,验证了光学结构参数选择的合理性。
关键词
点衍射干涉检测
时域有限差分方法
衍射
波前误差
衍射
光强
光强均匀度
Keywords
point diffraction interferometry testing
finite difference time domain （FDTD） method
diffracted wavefronterror
diffracted intensity
intensity uniformity
分类号
O436.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
基于时域有限差分方法的点衍射波前误差分析
被引量：
15
2
作者
陈琛
杨甬英
王道档
卓永模
机构
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第9期165-169,共5页
文摘
小孔的直径影响小孔衍射波前的误差,进而会影响点衍射干涉(PDI)检测的精度。基于矢量衍射理论中的时域有限差分(FDTD)方法,精确分析了可见光情况下衍射小孔直径接近以及小于入射光波长时所对应的衍射波前相对于标准球面波的偏离误差。数值仿真结果表明,当小孔的直径为400 nm时,所对应的数值孔径为0.65的衍射波前的误差峰谷值小于1 nm,而误差均方根值小于0.35 nm。随着小孔尺寸的减小,其衍射波前的误差进一步减小。仿真结果原理上验证了小孔点衍射干涉方法用于实现大数值孔径球面的高精度检测的可行性,并为实际检测中点衍射小孔尺寸的选择提供了精确的数值依据。
关键词
光学测量
点衍射干涉检测
时域有限差分法
波前误差
矢量
衍射
Keywords
optical measurement
point diffraction interferometry
finite difference time domain
diffraction wavefront error
vector diffraction
分类号
O436.1 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
点衍射干涉系统光学结构参数优化研究
邵卫红
杨甬英
陈晓钰
刘东
沈亦兵
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
5
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职称材料
2
基于时域有限差分方法的点衍射波前误差分析
陈琛
杨甬英
王道档
卓永模
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
15
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