镍铬硅薄膜换能元的制备及其发火性能研究

1

作者 任小明 姚洪志 +3 位作者 解瑞珍 刘红娥 王燕兰 王可暄 《火工品》 CAS CSCD 北大核心 2024年第5期42-45,共4页

为了探索镍铬硅薄膜换能元的发火性能,采用MEMS工艺制备了镍铬硅薄膜换能元。利用扫描电子显微镜(SEM)和四探针法对镍铬硅薄膜进行了性能表征;依据GJB/Z 377B-2022感度实验中兰利法进行了镍铬硅薄膜换能元感度测试;在发火电压27 V、发... 为了探索镍铬硅薄膜换能元的发火性能,采用MEMS工艺制备了镍铬硅薄膜换能元。利用扫描电子显微镜(SEM)和四探针法对镍铬硅薄膜进行了性能表征;依据GJB/Z 377B-2022感度实验中兰利法进行了镍铬硅薄膜换能元感度测试;在发火电压27 V、发火电容33μF条件下对镍铬硅薄膜换能元进行了发火性能测试。结果表明:镍铬硅薄膜表面平整、致密性较好,且具有负电阻温度系数,其换能元平均发火电压比镍铬薄膜换能元高;镍铬硅薄膜换能元作用过程中产生等离子体,瞬发度高。 展开更多

关键词 薄膜换能元 镍铬硅 MEMS 性能表征 发火性能

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基于多光谱辐射测温法的换能元桥区温度检测技术

2

作者 李党娟 丁成皎 +3 位作者 樊洋 王可暄 万文博 苏俊宏 《火工品》 CAS CSCD 北大核心 2024年第5期84-90,共7页

火工品换能元起爆过程中桥区温度的全程化精确测量对于研究换能元的电热转换效率、表征火工品点火性能至关重要。本研究通过建立包含6个波长通道的多光谱辐射测温系统,实现了对换能元桥区辐射光谱信号的实时采集,并通过PS800-25一体化... 火工品换能元起爆过程中桥区温度的全程化精确测量对于研究换能元的电热转换效率、表征火工品点火性能至关重要。本研究通过建立包含6个波长通道的多光谱辐射测温系统,实现了对换能元桥区辐射光谱信号的实时采集,并通过PS800-25一体化标准黑体进行系统标定。针对桥区材料在起爆过程中经历的固态、液态到气态的相变,建立了最优化函数温度解算模型,避免了对光谱发射率模型的依赖,并通过罚函数法进行真温的优化求解。试验结果表明,该方法的测温精度在3%以内,可应用于碳基桥箔点火过程中桥区温度的检测。 展开更多

关键词 换能元 火工品 多光谱辐射测温 最优化函数温度解算 碳基桥箔

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电阻性换能元电爆特性与最大不熔断电流特性试验方法研究

3

作者 樊龙龙 马骏 +5 位作者 艾沛延 赵婉君 石敏科 郭莉晴 韩克华 焦清介 《火工品》 CAS CSCD 北大核心 2024年第5期91-96,共6页

针对火工品电阻性换能元作用的可靠性和安全性问题,提出了电阻性换能元电爆特性及最大不熔断电流特性的试验方法,并采用该试验方法进行了桥膜换能元及桥带换能元的相关试验。试验结果表明:桥膜换能元最小爆发电压为20 V,最小爆发电流为1... 针对火工品电阻性换能元作用的可靠性和安全性问题,提出了电阻性换能元电爆特性及最大不熔断电流特性的试验方法,并采用该试验方法进行了桥膜换能元及桥带换能元的相关试验。试验结果表明:桥膜换能元最小爆发电压为20 V,最小爆发电流为1.5 A;桥带换能元最小爆发电压为22 V,最小爆发电流为2.0 A。桥膜换能元的最大不熔断电流为1.6 A,经历1.7~1.9 A的5 min不熔断电流试验后,换能元电阻显著减小;而桥带换能元的最大不熔断电流为1.2 A,在相同条件下未观察到电阻减小现象。 展开更多

关键词 电阻性换能元 电爆特性 不熔断电流 爆发电压 爆发电流

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电火工品换能元性能优化的策略与展望

4

作者 王力 任炜 +4 位作者 褚恩义 牛惠媛 李慧 李蛟 张文超 《火工品》 CAS CSCD 北大核心 2024年第5期1-9,I0002,共10页

伴随着高安全性、高可靠性、低能发火和高能输出等应用需求,电火工品换能元的发展经历了技术交叉、融合创新的过程。本文从电火工品换能元的发展历程、技术发展热点和发展展望3个方面对其进行了梳理总结,从内部需求牵引下的换能机制和... 伴随着高安全性、高可靠性、低能发火和高能输出等应用需求,电火工品换能元的发展经历了技术交叉、融合创新的过程。本文从电火工品换能元的发展历程、技术发展热点和发展展望3个方面对其进行了梳理总结,从内部需求牵引下的换能机制和外部技术驱动下学科交叉2个方面对电火工品换能元的发展历程进行了综合阐述。最后,从本质机理探究、安全性和可靠性兼顾、功能拓展3个方面,陈述了对电火工品换能元未来发展思路的一些见解。 展开更多

关键词 电火工品 换能元 机理探究 学科交叉 功能拓展

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贴膜式Ni-Cr换能元设计及性能研究

5

作者 艾沛延 赵婉君 +5 位作者 吴琴钟 杨康 郭凯 唐新月 韩克华 焦清介 《火工品》 CAS CSCD 北大核心 2024年第5期46-53,共8页

通过热压工艺将5μm的Ni-Cr薄膜附着在聚酰亚胺薄膜上制备了贴膜式Ni-Cr薄膜,采用激光刻蚀加工工艺制备了贴膜式Ni-Cr换能元电桥,仿真优化设计了蝶形、S形换能元电桥,并开展了2种形状电桥的贴膜式Ni-Cr换能元的伏安特性、最大不熔断电流... 通过热压工艺将5μm的Ni-Cr薄膜附着在聚酰亚胺薄膜上制备了贴膜式Ni-Cr薄膜,采用激光刻蚀加工工艺制备了贴膜式Ni-Cr换能元电桥,仿真优化设计了蝶形、S形换能元电桥,并开展了2种形状电桥的贴膜式Ni-Cr换能元的伏安特性、最大不熔断电流、50 ms脉冲恒流电爆特性以及发火特性试验研究。研究结果表明:桥区长度为3 mm的换能元电桥在1 A 5 min恒流激励后桥区温度最低;贴膜式Ni-Cr换能元在33μF电容放电时,随着充电电压的升高断桥时间缩短,蝶形和S形未发生断桥的电压分别为16,20 V;蝶形和S形换能元在5 min恒流脉冲输入下的最大不熔断电流分别为1.3,1.2 A;在50 ms脉冲恒流电爆时,随着施加电流幅度的不断增加,其工作电压也不断增高,其断桥时间越来越短,S形换能元和蝶形换能元分别在2.4,2.3 A时电桥未发生爆炸;33μF、28 V电容放电下贴膜式Ni-Cr换能元可以点燃斯蒂芬酸铅,并正常发火。 展开更多

关键词 Ni-Cr桥膜 贴膜式Ni-Cr 换能元 发火特性 电爆

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单片并联式半导体桥换能元能量转换效率影响因素分析

6

作者 贺孝严 韩忠博 +5 位作者 顾伯南 徐建勇 石伟 叶家海 俞春培 张文超 《火工品》 CAS CSCD 北大核心 2024年第5期54-58,共5页

为了研究激励能量和桥区结构对半导体桥换能元能量转换效率的影响,设计了两种不同单片并联式桥区结构的半导体桥换能元,并在电容激励条件下进行测试,以评估并联式桥区结构的能量转换效率,进一步得到电压、桥区面积对能量转换效率的影响... 为了研究激励能量和桥区结构对半导体桥换能元能量转换效率的影响,设计了两种不同单片并联式桥区结构的半导体桥换能元,并在电容激励条件下进行测试,以评估并联式桥区结构的能量转换效率,进一步得到电压、桥区面积对能量转换效率的影响规律。试验结果表明:在47μF电容和25~35 V充电电压条件下,双桥区并联结构的能量转换效率略优于三桥区并联结构。在同一电容激励条件下,同一桥区结构半导体桥换能元的能量转换效率随着充电电压的增加而降低;在相同充电电压下,同一桥区结构半导体桥换能元的能量转换效率随着桥区面积的增大而提高。 展开更多

关键词 半导体桥 换能元 并联式桥区 能量转换效率 电容激励

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电火工品换能元电磁损伤机理及防护技术研究进展

7

作者 韩忠博 贺孝严 +4 位作者 顾伯南 徐建勇 石伟 俞春培 张文超 《火工品》 CAS CSCD 北大核心 2024年第5期10-19,共10页

随着战场空间的电磁环境日趋复杂,火工品面临更高的电磁适应能力要求。本文综述了电火工品换能元在电磁损伤机理和防护技术研究方面的研究进展,介绍了电火工品在不同电磁环境下的损伤机制,探讨了静电、雷电脉冲、核电磁脉冲等干扰对火... 随着战场空间的电磁环境日趋复杂,火工品面临更高的电磁适应能力要求。本文综述了电火工品换能元在电磁损伤机理和防护技术研究方面的研究进展,介绍了电火工品在不同电磁环境下的损伤机制,探讨了静电、雷电脉冲、核电磁脉冲等干扰对火工品性能的影响,并分析分立式电磁防护技术,包括铁氧体材料、电容器和负温度系数热敏电阻等元件在电磁防护中的应用,展示了其在不同电磁环境下的防护效果。同时,讨论了集成式电磁防护技术的发展,特别是MEMS工艺在换能元小型化和多功能集成化中的应用,并针对电火工品换能元电磁防护技术未来发展陈述了一些见解。 展开更多

关键词 电火工品 换能元 复杂电磁环境 微机电系统

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MEMS火工品换能元的研究进展 被引量：25

8

作者 张彬 褚恩义 +3 位作者 任炜 王可暄 李慧 尹明 《含能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第5期428-436,共9页

换能元作为微机电系统(Micro Electro-Mechanical Systems,MEMS)火工品的核心部件,是MEMS火工品安全性和可靠性的重要影响因素,对整个武器系统的影响也是不可忽视的。文中从换能元的基底和电阻材料研究、结构设计等角度,综述了近年来MEM... 换能元作为微机电系统(Micro Electro-Mechanical Systems,MEMS)火工品的核心部件,是MEMS火工品安全性和可靠性的重要影响因素,对整个武器系统的影响也是不可忽视的。文中从换能元的基底和电阻材料研究、结构设计等角度,综述了近年来MEMS火工品换能元的最新发展研究。介绍了MEMS火工品换能元的两大关键技术:MEMS火工品换能元的设计制备方法以及换能元性能参数的测试表征。指出:具有微型化、集成化、多功能化和高可靠性的MEMS火工品换能元是未来研究的热点。为M EM S火工品换能元的设计研究提供理论支撑,应加强微尺度下的热散失特性以及桥区电阻特性研究。认为复合含能薄膜桥换能元是MEMS火工品换能元的一个重要发展方向。 展开更多

关键词 微机电系统(MEMS)火工品 换能元 薄膜桥 桥区结构

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Ni-Cr桥膜换能元的制备 被引量：11

9

作者 解瑞珍 任小明 +3 位作者 王可暄 薛艳 彭志明 卢斌 《含能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期584-587,共4页

为了制作出阻值一致性好,发火电压低的金属桥膜换能元,对Ni-Cr薄膜换能元制作过程中的薄膜溅射、刻蚀等工艺进行了探索,并对制作的换能元参数进行了测试。结果显示随着溅射功率的减小,薄膜的沉积速率减小,成膜致密性提高;在一定范围内,... 为了制作出阻值一致性好,发火电压低的金属桥膜换能元,对Ni-Cr薄膜换能元制作过程中的薄膜溅射、刻蚀等工艺进行了探索,并对制作的换能元参数进行了测试。结果显示随着溅射功率的减小,薄膜的沉积速率减小,成膜致密性提高;在一定范围内,刻蚀液中高氯酸所占的比例越大,刻蚀用时越短。制作的Ni-Cr薄膜换能元电阻的一致性较好,在47μF电容情况下发火电压均值为6.67 V。 展开更多

关键词 物理化学 火工品 Ni-Cr薄膜 溅射 刻蚀 换能元 发火电压

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微机电火工品薄膜结构换能元 被引量：16

10

作者 任炜 赵玉龙 +2 位作者 褚恩义 张彬 李慧 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第9期2319-2325,共7页

为了满足MEMS火工品的小型化、集成化和低能发火等要求,本文基于MEMS技术,设计了一种平面"蛇"形结构的薄膜换能元,采用磁控溅射等MEMS薄膜制作技术,完成了不同薄膜桥区电阻和基底材料薄膜换能元样品的制备,采用扫描电镜(SEM)... 为了满足MEMS火工品的小型化、集成化和低能发火等要求,本文基于MEMS技术,设计了一种平面"蛇"形结构的薄膜换能元,采用磁控溅射等MEMS薄膜制作技术,完成了不同薄膜桥区电阻和基底材料薄膜换能元样品的制备,采用扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM),低电阻测试仪、红外热像仪等设备,完成了不同换能元样品结构(薄膜桥区线宽、长度及厚度等)及性能(电阻、电热响应等)参数的测试与表征。通过分析研究,获得了薄膜桥区电阻材料、基底材料、薄膜厚度以及桥区结构形状对换能元性能的影响规律,优选确定以金属Pt和7740玻璃作为换能元电阻及基底材料,发火性能达5V/33μF,满足MEMS火工品的低能化要求。 展开更多

关键词 MEMS 薄膜结构 换能元 薄膜厚度

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火工品换能元直流激励下温度响应特性仿真研究 被引量：8

11

作者 李慧 白颖伟 +3 位作者 任炜 王可暄 张晶鑫 尹明 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第S2期138-143,共6页

使用Multiphysics分析软件,建立了半导体桥发火换能元的有限元仿真模型。重点研究A型、B型两种半导体桥发火换能元在直流激励条件下的安全性能和输出性能。对换能元高瞬发点火时的温度响应进行仿真分析,得出两种情况下换能元的温度分布... 使用Multiphysics分析软件,建立了半导体桥发火换能元的有限元仿真模型。重点研究A型、B型两种半导体桥发火换能元在直流激励条件下的安全性能和输出性能。对换能元高瞬发点火时的温度响应进行仿真分析,得出两种情况下换能元的温度分布云图,并利用红外热波无损检测技术进行温度检测。对比仿真结果进行分析,获取换能元结构、性能等数据,完善火工品换能元性能检测技术。结果表明,B型半导体桥换能元更符合火工品安全性和可靠性要求。 展开更多

关键词 兵器科学与技术 换能元 仿真分析 红外检测 温度响应

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氮化钽换能元的制备工艺研究 被引量：10

12

作者 任小明 苏谦 +3 位作者 解瑞珍 薛艳 刘兰 刘卫 《火工品》 CAS CSCD 北大核心 2020年第1期26-28,I0002,共4页

开展了一种制备氮化钽换能元的工艺研究,利用射频电源溅射氮化钽薄膜,采用剥离工艺制备氮化钽换能元图形,获得满足完整性、一致性和重复性要求的氮化钽换能元。依据GJB/z377A-94感度试验用兰利法,测得氮化钽换能元发火能量为0.6m J。

关键词 换能元 氮化钽 MEMS 发火能量 工艺

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不同桥形微结构换能元的仿真设计与实验研究 被引量：7

13

作者 张彬 任炜 +3 位作者 褚恩义 赵玉龙 尹明 李慧 《含能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第12期1056-1060,共5页

微结构换能元是微机电系统(Micro Electro?Mechanical Systems,MEMS)火工品的关键器件,其桥区微结构设计对MEMS火工品的输出性能和能量利用率具有显著影响。为完善MEMS火工品微结构换能元设计理论,设计制作了8种不同桥形微结构换能元,... 微结构换能元是微机电系统(Micro Electro?Mechanical Systems,MEMS)火工品的关键器件,其桥区微结构设计对MEMS火工品的输出性能和能量利用率具有显著影响。为完善MEMS火工品微结构换能元设计理论,设计制作了8种不同桥形微结构换能元,采用仿真研究与红外测试等手段进行微结构换能元桥形结构优选与微结构效应研究,获得了V?50和L?1两种优选桥形结构换能元,揭示了不同桥形结构对换能元输出性能的影响规律,其中V?50桥形微结构换能元平均发火电压达到了100μF/3.5 V,能量利用率为46.6%。 展开更多

关键词 微机电系统(MEMS)火工品 微结构换能元 桥形结构 桥区熔断电流

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氮化钽薄膜换能元低能化研究 被引量：9

14

作者 任小明 刘兰 +3 位作者 余可馨 解瑞珍 刘卫 薛艳 《火工品》 CAS CSCD 北大核心 2021年第1期5-8,共4页

为了实现TaN薄膜换能元的低能化,设计制作了不同桥膜厚度、不同桥区尺寸、不同桥区形状的TaN薄膜换能元,依据GJB/z 377A-94感度试验用兰利法,对其进行了发火感度测试。结果表明:当桥区尺寸、形状一定时,随着桥膜厚度的增加,换能元的发... 为了实现TaN薄膜换能元的低能化,设计制作了不同桥膜厚度、不同桥区尺寸、不同桥区形状的TaN薄膜换能元,依据GJB/z 377A-94感度试验用兰利法,对其进行了发火感度测试。结果表明:当桥区尺寸、形状一定时,随着桥膜厚度的增加,换能元的发火电压先减小后增加,当桥膜厚度为0.9μm时,发火电压最小。通过优化桥区尺寸和桥区形状,获得的TaN薄膜换能元最小平均发火电压低于5V。 展开更多

关键词 换能元 TaN薄膜 桥区参数 发火感度

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微桥膜换能元结构设计及电阻计算方法 被引量：6

15

作者 褚恩义 刘卫 +4 位作者 薛艳 张蕊 解瑞珍 刘兰 任小明 《火工品》 CSCD 北大核心 2017年第6期1-5,共5页

针对微结构换能元设计的规范化问题,从解析几何的基本原理出发,建立微结构换能元参数化结构设计方法,获得不同结构微换能元上、下边界的数学表达式。同时借助于单元离散的基本思想,将微结构换能元离散成有限数量个近似方形的微小单元,... 针对微结构换能元设计的规范化问题,从解析几何的基本原理出发,建立微结构换能元参数化结构设计方法,获得不同结构微换能元上、下边界的数学表达式。同时借助于单元离散的基本思想,将微结构换能元离散成有限数量个近似方形的微小单元,依据串、幵联电阻值计算方法,建立微结构换能元电阻值分析计算模型,幵验证了模型准确性。结果表明,菱形和圆弧边界换能元的电阻值随宽度w、特征角度β或特征半径Rc增加呈幂函数形式减小,随长度l增加呈幂函数形式增加。本研究为换能元的结构设计提供技术支撑。 展开更多

关键词 MEMS技术 换能元 结构设计 参数化 电阻

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Al/CuO肖特基结换能元芯片的非线性电爆换能特性 被引量：4

16

作者 李杰 朱朋 +3 位作者 胡博 沈瑞琪 叶迎华 吴立志 《含能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第3期279-283,共5页

依据肖特基势垒理论,设计并制备了Al/CuO肖特基结换能元芯片。用击穿电压仪研究了换能元芯片的电击穿性能,用电容放电的激发方式研究了芯片的电爆特性。结果表明,对前者,芯片存在发火阈值,具有整流特性,击穿电压与肖特基结的个数无关,... 依据肖特基势垒理论,设计并制备了Al/CuO肖特基结换能元芯片。用击穿电压仪研究了换能元芯片的电击穿性能,用电容放电的激发方式研究了芯片的电爆特性。结果表明,对前者,芯片存在发火阈值,具有整流特性,击穿电压与肖特基结的个数无关,击穿电压为8 V;对后者,芯片也存在发火阈值,发火阈值与肖特基结数呈正相关,芯片还具有发火延迟特性。延迟时间的长短与肖特基结数也呈正相关。同时芯片还具有多次激发而连续发火的特性。显示Al/CuO肖特基结换能元芯片是一种具有非线性电爆换能特性的新型电爆换能元。 展开更多

关键词 含能材料 Al/CuO肖特基结 换能元芯片 电爆特性

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厚度对MEMS换能元薄膜电阻率的影响研究 被引量：5

17

作者 张彬 褚恩义 +4 位作者 任炜 倪德彬 尹明 李慧 王可暄 《火工品》 CAS CSCD 北大核心 2018年第1期49-53,共5页

为完善微机电系统(Micro Electro-Mechanical Systems,MEMS)火工品薄膜换能元设计理论,减小微尺度下换能元参数的设计误差,保证设计电阻及MEMS火工品的作用性能,理论分析了微尺度下薄膜电阻率的影响因素,采用磁控溅射进行了不同材料(Al... 为完善微机电系统(Micro Electro-Mechanical Systems,MEMS)火工品薄膜换能元设计理论,减小微尺度下换能元参数的设计误差,保证设计电阻及MEMS火工品的作用性能,理论分析了微尺度下薄膜电阻率的影响因素,采用磁控溅射进行了不同材料(Al、W、Cr、Ni-Cr)、不同微纳米厚度(<2μm)薄膜的制备,并对不同厚度薄膜的电阻率参数进行表征,揭示了微纳尺度下电阻率的尺度效应规律,获得了相应的拐点数据。 展开更多

关键词 MEMS换能元 金属薄膜 尺度效应 电阻率

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爆炸箔换能元失效模式分析 被引量：4

18

作者 张玉若 梁车平 +3 位作者 程涛 韩克华 金丽 何强 《火工品》 CAS CSCD 北大核心 2018年第4期5-7,共3页

基于提升爆炸箔类火工品一致性与可靠性的目的,结合换能元制备过程,采用故障树分析法(FTA)建立了换能元失效模型,并在此基础上通过感度试验,对各类失效模式进行了验证与分析。结果表明,换能元桥区存在微小通孔时或边缘存在凸起时,50%发... 基于提升爆炸箔类火工品一致性与可靠性的目的,结合换能元制备过程,采用故障树分析法(FTA)建立了换能元失效模型,并在此基础上通过感度试验,对各类失效模式进行了验证与分析。结果表明,换能元桥区存在微小通孔时或边缘存在凸起时,50%发火电压有较大幅度提升,失效概率最高。 展开更多

关键词 冲击片雷管 爆炸箔 换能元 故障树 感度

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影响微冲击片换能元性能的关键因素初探 被引量：2

19

作者 尹明 张晶鑫 +4 位作者 王可暄 周密 任小明 任西 秦国圣 《火工品》 CAS CSCD 北大核心 2019年第4期1-5,I0001,共6页

采用MEMS工艺制作了微冲击片换能元,研究了桥箔、飞片、加速膛的微观形貌,并通过测试桥箔电爆性能、飞片速度和微冲击片换能元的发火性能,研究了桥箔厚度、飞片坚膜工艺、加速膛高度等对微换能元的起爆性能影响。研究表明:采用SU-8胶制... 采用MEMS工艺制作了微冲击片换能元,研究了桥箔、飞片、加速膛的微观形貌,并通过测试桥箔电爆性能、飞片速度和微冲击片换能元的发火性能,研究了桥箔厚度、飞片坚膜工艺、加速膛高度等对微换能元的起爆性能影响。研究表明:采用SU-8胶制作飞片、加速膛,并对飞片进行坚膜工艺处理,以及选择3.3μm厚度的桥箔和201μm高度的加速膛,可使微冲击片换能元具有更好的发火性能。 展开更多

关键词 微换能元 起爆性能 微冲击片雷管 飞片 加速膛 桥箔

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基于MEMS工艺的电极塞换能元一体化集成技术 被引量：2

20

作者 陈建华 刘兰 +3 位作者 任小明 解瑞珍 刘卫 薛艳 《火工品》 CAS CSCD 北大核心 2020年第6期18-20,共3页

针对传统电火工品桥丝焊接存在虚焊、人工效率低等问题,开展了基于MEMS工艺的电极塞换能元一体化集成技术研究。提出了电极塞换能元一体化集成设计的方案,通过在传统电极塞中引入MEMS工艺,形成了一体化集成的电极塞换能元。所设计的电... 针对传统电火工品桥丝焊接存在虚焊、人工效率低等问题,开展了基于MEMS工艺的电极塞换能元一体化集成技术研究。提出了电极塞换能元一体化集成设计的方案,通过在传统电极塞中引入MEMS工艺,形成了一体化集成的电极塞换能元。所设计的电极塞换能元具有平面结构、无人工焊接、批量化等特点,在10μF/15V条件下能够可靠作用。本研究为新一代电火工品设计提供技术支撑。 展开更多

关键词 换能元 电极塞 MEMS技术 集成

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