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射频感应等离子体制备球形钨粉的工艺研究 被引量：19
1
作者 古忠涛 叶高英 +1 位作者 刘川东 童洪辉 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第7期1079-1082,共4页
采用射频感应等离子体球化颗粒形状不规则的钨粉（平均粒度尺寸5-12μm）,研究了加料速率、物料分散方式、钨粉颗粒大小等因素对球化率的影响。当加料速率大于95 g/min时,粉体的球化率随着加料速率的增大急剧减小,加料速率增大到135.75 ... 采用射频感应等离子体球化颗粒形状不规则的钨粉（平均粒度尺寸5-12μm）,研究了加料速率、物料分散方式、钨粉颗粒大小等因素对球化率的影响。当加料速率大于95 g/min时,粉体的球化率随着加料速率的增大急剧减小,加料速率增大到135.75 g/min时,样品钨粉球化率仅为30%。当携带气量为0.12m^3/h时,分散效果较佳,其球形度相应也较好,球化率几乎达到100%;随着钨粉球化率提高,其松装密度有所增大。通过对不同粒度分布的原粉进行球化处理,得出结论：钨粉原粉粒度分布均匀,则相应制备出的球形钨粉的粒度分布也比较均匀。 展开更多
关键词 射频感应等离子体 球化 钨粉
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感应等离子体超细钨粉制备技术研究 被引量：8
2
作者 田开文 尚福军 +1 位作者 史洪刚 黄伟 《兵器材料科学与工程》 CAS CSCD 2010年第1期63-66,共4页
利用连续式、感应等离子体粉体制备装置进行超细钨粉制备技术的研究,比较测定经感应等离子体技术处理前后粉体的流动性、氧杂质含量和粒度。结果表明,用感应等离子体技术制备的超细钨粉流动性较原料粉体提高20%以上,氧杂质含量显著降低... 利用连续式、感应等离子体粉体制备装置进行超细钨粉制备技术的研究,比较测定经感应等离子体技术处理前后粉体的流动性、氧杂质含量和粒度。结果表明,用感应等离子体技术制备的超细钨粉流动性较原料粉体提高20%以上,氧杂质含量显著降低,超细粉体制备装置对于制备粉体的粒度具有较为精确的控制能力。 展开更多
关键词 感应等离子体技术 超细钨粉 流动性 粒度
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感应等离子体工艺对制备致密球形钼粉的影响 被引量：5
3
作者 刘晓平 王快社 +1 位作者 胡平 陈强 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 2015年第10期76-80,共5页
研究了原料钼粉携带气体流量和钼粉加料速率对感应等离子球化钼粉形貌和粒度的影响。球化前后钼粉的微观形貌用扫描电镜（SEM）观测,粉体物相用X射线衍射仪（XRD）分析,等离子体处理前后钼粉的松装密度和振实密度分别用斯科特容量计和... 研究了原料钼粉携带气体流量和钼粉加料速率对感应等离子球化钼粉形貌和粒度的影响。球化前后钼粉的微观形貌用扫描电镜（SEM）观测,粉体物相用X射线衍射仪（XRD）分析,等离子体处理前后钼粉的松装密度和振实密度分别用斯科特容量计和振实密度仪检测。结果表明,等离子体处理后产品仍为纯金属钼粉,形状由不规则变为球形,颗粒平均粒径由原料的40~70μm减小至35~60μm,振实密度由2.5 g/cm3提高到5.8 g/cm3。制备球形钼粉最佳工艺参数为：加料速率45 g/min,携带气体流量0.6 m3/h。感应等离子体是制备高纯致密球形钼粉的有效技术。 展开更多
关键词 感应等离子体 钼粉 球化 工艺参数
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射频感应等离子体制备球形钛粉的工艺研究 被引量：6
4
作者 古忠涛 叶高英 金玉萍 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第12期3353-3357,共5页
采用单因素法对制备球形钛粉的工艺进行研究,通过控制和调节射频等离子体工作的阳极电流与电压、中气流量、边气流量、粉体携带气流量、抽风负压和钛粉送粉速率等参数,以获得制备球形度较佳的钛粉工艺参数。通过射频感应等离子体对粒度... 采用单因素法对制备球形钛粉的工艺进行研究,通过控制和调节射频等离子体工作的阳极电流与电压、中气流量、边气流量、粉体携带气流量、抽风负压和钛粉送粉速率等参数,以获得制备球形度较佳的钛粉工艺参数。通过射频感应等离子体对粒度为(17.0±2.0)μm的钛粉球化处理研究,制备出球形度好、球化率高、表面粗糙度低的钛粉,钛粉球化率随着抽风负压增加而增加,当抽风负压大于1 800Pa时,钛粉的球化率随着抽风负压的增大迅速降低;同样钛粉球化率也随着钛粉送粉速率增加而增加,当钛粉送粉速率大于90.0g/min时,钛粉的球化率随着钛粉送粉速率的增大而迅速降低。 展开更多
关键词 射频感应等离子体 等离子体炬 球形粉末 球化率 钛粉
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射频感应等离子体制备球形氧化铝的工艺研究 被引量：6
5
作者 钟良 侯力 古忠涛 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第8期311-316,共6页
采用射频(RF)感应等离子体对颗粒形状不规则的氧化铝粉作球化处理,当氧化铝以极短暂时间快速穿越射频等离子体炬时,颗粒因受热而熔化成液滴,快速冷却,形成球形固态颗粒。应用单因素法讨论射频等离子体制备球形氧化铝的工艺参数,研究了... 采用射频(RF)感应等离子体对颗粒形状不规则的氧化铝粉作球化处理,当氧化铝以极短暂时间快速穿越射频等离子体炬时,颗粒因受热而熔化成液滴,快速冷却,形成球形固态颗粒。应用单因素法讨论射频等离子体制备球形氧化铝的工艺参数,研究了制备过程中相关的中气流量、抽风负压、送粉速度和分散方式等主要工艺参数对球形氧化铝粉的影响。用电子扫描显微镜(SEM)观测评估球化效果,测定松装密度和振实密度。 展开更多
关键词 射频感应等离子体 球化 球形度 氧化铝
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射频感应等离子体反应沉积碳化钨 被引量：1
6
作者 蒋显亮 Maher Boulos 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期289-293,共5页
用射频感应等离子体将钨粉炭化成碳化钨,对炭化过后的粉末在氩气保护下,于1900℃进行烧结处理,并对在感应等离子体中钨粉被甲烷炭化的反应过程和在高温基体上碳与沉积物进一步反应的机理进行了研究。采用扫描电镜和X射线衍射仪分析了原... 用射频感应等离子体将钨粉炭化成碳化钨,对炭化过后的粉末在氩气保护下,于1900℃进行烧结处理,并对在感应等离子体中钨粉被甲烷炭化的反应过程和在高温基体上碳与沉积物进一步反应的机理进行了研究。采用扫描电镜和X射线衍射仪分析了原始钨粉、炭化粉末和反应沉积物的显微组织和成分。结果表明,快速炭化反应开始于金属钨粉熔化后,颗粒尺寸为5μm的钨粉在等离子体中被部分炭化,完全炭化要靠反应沉积物在高温基体上与碳的进一步反应来实现,经炭化的钨粉在热处理时存在脱碳现象。 展开更多
关键词 射频感应等离子体 沉积 碳化钨 钨粉 炭化 甲烷 热处理 脱碳
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纳米ZrO_2粉末感应等离子体球化处理工艺研究 被引量：1
7
作者 张锐 王全胜 +1 位作者 柳彦博 孙现凯 《热喷涂技术》 2014年第2期52-56,共5页
采用液体送粉技术及感应等离子体球化技术对纳米YSZ（6%～8%Y2O3-ZrO2）粉末进行了团聚、球化处理,研究了感应等离子体球化处理工艺参数对于粉体球化率的影响,采用三维景深显微镜、场发射扫描电镜、X射线衍射（XRD）研究了球化处理前后... 采用液体送粉技术及感应等离子体球化技术对纳米YSZ（6%～8%Y2O3-ZrO2）粉末进行了团聚、球化处理,研究了感应等离子体球化处理工艺参数对于粉体球化率的影响,采用三维景深显微镜、场发射扫描电镜、X射线衍射（XRD）研究了球化处理前后纳米YSZ粉末的表面形貌、截面形貌及其相结构。结果表明,采用液体送粉感应等离子球化处理技术,可同时对纳米YSZ粉末进行团聚及其致密化处理,得到的粉末为表面光洁、致密的实心球或空心球粉末,其粒径分布范围为40～100μm;YSZ粉末的相结构在处理前后没有发生变化。 展开更多
关键词 感应等离子体球化 YSZ纳米团聚体粉末 粉末性能
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感应等离子体制备超细氮化钼粉研究
8
作者 刘晓平 王快社 +1 位作者 何晓梅 顾盼 《兵器材料科学与工程》 CAS CSCD 北大核心 2020年第4期81-85,共5页
利用感应等离子体设备,在等离子焰流高温作用下,实现钼粉与氮气的合成,制得超细Mo2N粉,同时研究氮气压力、送粉量和原始钼粉粒度等参数对Mo2N粉的影响。用X射线衍射谱(XRD)表征产物Mo2N粉的物相,利用高分辨率扫描电镜(SEM)和高倍透射电... 利用感应等离子体设备,在等离子焰流高温作用下,实现钼粉与氮气的合成,制得超细Mo2N粉,同时研究氮气压力、送粉量和原始钼粉粒度等参数对Mo2N粉的影响。用X射线衍射谱(XRD)表征产物Mo2N粉的物相,利用高分辨率扫描电镜(SEM)和高倍透射电子显微镜(TEM)表征Mo2N粉的形貌和粒度。结果表明:较低氮气压、适当送粉量及小粒度钼粉对提高钼粉氮化率有利,制得纳米级Mo2N粉,且基本为球体;若原料钼粉颗粒度太大或送粉量过大,在瞬间高温下只有钼粉颗粒表面被氮化而心部仍为金属钼。制备Mo2N粉较优工艺参数:等离子功率为65 kW,氮气压为15 kPa,送粉率为60 g/min,原料粉费氏粒度为2~3μm。 展开更多
关键词 氮化钼 感应等离子体 高温合成 纳米
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高频感应等离子体炬内液体喷雾的运动与蒸发
9
作者 单彦广 陈永 杨茉 《工程热物理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期1042-1044,共3页
本文建立了液体喷雾在高频感应等离子体内运动和蒸发的数学模型,在考虑喷雾液滴相互碰撞和喷雾与等离子体相互耦合效应的情况下,模拟了不同喷雾参数下液体喷雾在高频感应等离子内的运动和蒸发。单个液滴的计算结果和文献中的实验结果进... 本文建立了液体喷雾在高频感应等离子体内运动和蒸发的数学模型,在考虑喷雾液滴相互碰撞和喷雾与等离子体相互耦合效应的情况下,模拟了不同喷雾参数下液体喷雾在高频感应等离子内的运动和蒸发。单个液滴的计算结果和文献中的实验结果进行了比较,结果吻合良好.模拟表明,在通常情况下,喷雾液体的碰撞会导致更大尺寸液滴的形成,从而延缓喷雾的完全蒸发.结果还表明,液体喷雾蒸发对等离子体温度场的局部冷却效应明显,因此必须考虑两者的耦合效应. 展开更多
关键词 高频感应等离子体 液体喷雾 运动和蒸发
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感应等离子体球化处理难熔金属(W、Cr)粉末的研究 被引量：5
10
作者 邱振涛 胡可 +2 位作者 韩翠柳 杨芝 张久兴 《稀有金属与硬质合金》 CSCD 北大核心 2017年第4期21-27,共7页
采用感应等离子体球化技术对形状不规则的W粉、Cr粉进行球化处理,研究了喂粉速率对粉末球化效果的影响。采用SEM、XRD、激光粒度仪和霍尔流速计测试了等离子体球化处理前后粉末的形貌、物相、粒径分布和松装密度。研究结果表明,感应等... 采用感应等离子体球化技术对形状不规则的W粉、Cr粉进行球化处理,研究了喂粉速率对粉末球化效果的影响。采用SEM、XRD、激光粒度仪和霍尔流速计测试了等离子体球化处理前后粉末的形貌、物相、粒径分布和松装密度。研究结果表明,感应等离子体球化技术可制备出单相的球形W粉和Cr粉,粉末的松装密度和流动性显著提高;降低喂粉速率,W粉和Cr粉球化率均提高,最高球化率大于98%;原料粉末的分散度影响球化处理后球形粉末的粒径和粒度分布。 展开更多
关键词 感应等离子体 粉末球化 难熔金属 W CR 喂粉速率
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基于Ar发射光谱的感应等离子体球化高温流场温度测量研究 被引量：3
11
作者 曾徽 欧东斌 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2020年第6期1685-1689,共5页
感应等离子体可通过纯净、热等离子体的焦耳加热作用,实现不规则粉末颗粒的球化,感应等离子体球化在航空航天领域具有广阔的应用前景。气流温度是感应等离子体球化制粉的关键参数,等离子体发生器内高温流场温度的空间分布测量为感应等... 感应等离子体可通过纯净、热等离子体的焦耳加热作用,实现不规则粉末颗粒的球化,感应等离子体球化在航空航天领域具有广阔的应用前景。气流温度是感应等离子体球化制粉的关键参数,等离子体发生器内高温流场温度的空间分布测量为感应等离子体制粉研究和相关工艺改进优化提供了定量依据。在传统接触式测量手段难以应用于感应等离子体高温流场测量的背景下,该研究发展了非接触式的发射光谱诊断技术,开展对100kW高频感应等离子体发生器制备球形钛粉过程中高温等离子体气流的诊断。通过测量氩气(Ar)在高温下的发射光谱谱线,结合电动位移扫描技术,获得了等离子体发生器内某一截面温度的径向空间分布。研究结果表明:感应等离子体发生器内径向气流温度的变化呈现马鞍形的变化趋势,不送粉条件下高温流场待测横截面的中心位置有一个低温区,温度在(10120±240)K,气流最大温度值的区域位于测量横截面圆心的两侧,靠近趋肤层的位置,两侧最大温度值分别为(10500±240)和(10620±240)K;相比于不送粉条件,送入钛粉后感应等离子体发生器内高温流场内温度出现明显变化,钛粉送入区域下方出现一个明显的倒三角的低温区,送粉与不送粉下圆心低温区的温差在500 K左右,趋肤层最大温度区的温差在400 K左右,显示了颗粒送入被加热的过程中,附近气流温度也随之出现下降。发展的测量技术为定量了解感应等离子体球化流场温度二维空间分布提供了成熟的非接触式光谱测试手段。 展开更多
关键词 发射光谱 感应等离子体 温度测量
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感应等离子体技术制备球形铸造碳化钨粉体及其性能表征 被引量：1
12
作者 范丽 陈海 +3 位作者 都海良 侯悦 程前 董丽华 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第6期56-66,共11页
球形碳化钨增强金属基复合涂层具有高硬度、高韧性和优异的耐磨、耐蚀性等特点,可以对材料表面起到有效保护作用。传统铸造碳化钨粉体多呈不规则的片状或多角状,流动性差且硬度低,难以满足高性能涂层材料的要求。本文以多角状铸造碳化... 球形碳化钨增强金属基复合涂层具有高硬度、高韧性和优异的耐磨、耐蚀性等特点,可以对材料表面起到有效保护作用。传统铸造碳化钨粉体多呈不规则的片状或多角状,流动性差且硬度低,难以满足高性能涂层材料的要求。本文以多角状铸造碳化钨粉体为原料,采用感应等离子体技术制备球形碳化钨粉体,研究感应等离子体技术工艺参数对碳化钨粉体球化效果的影响规律。采用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、霍尔流速计、激光粒度分析仪等对球化处理前后碳化钨粉体的形貌、物相、松装密度、粒度分布进行表征。结果表明:送粉率为110 g/min、载气流量为5.0 L/min时,采用感应等离子体技术可制备颗粒饱满、表面光滑、分散性良好,球化率高达99%以上,且球形度较好的球形碳化钨粉体。球化后碳化钨粉体无孔洞等缺陷,内部组织为典型的细针状WC和W_(2)C的共晶,组织结构均匀细密。球化后碳化钨粉体的硬度高达3 258HV,提高了408HV;球化后碳化钨粉体的松装密度由8.01 g/cm^(3)提高到9.75 g/cm^(3),霍尔流速由10.30 s/50 g降低到6.80 s/50 g,粉体的流动性提高。 展开更多
关键词 球形粉体 感应等离子体技术 铸造碳化钨 球化率 工艺参数
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射频感应等离子体的Langmiur探针和光谱诊断 被引量：3
13
作者 张健 任春生 +1 位作者 齐雪莲 王友年 《核聚变与等离子体物理》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期156-162,共7页
用Langmuir探针对射频（13．56Mnz）感应等离子体进行了诊断，给出了Ar等离子体轴向和径向参数随气压的变化。采用发射光谱测量了等离子体中氩原子的750．3nm谱线强度随气压在轴向的变化，其变化趋势与Langmuir探针测量结果的变化趋势... 用Langmuir探针对射频（13．56Mnz）感应等离子体进行了诊断，给出了Ar等离子体轴向和径向参数随气压的变化。采用发射光谱测量了等离子体中氩原子的750．3nm谱线强度随气压在轴向的变化，其变化趋势与Langmuir探针测量结果的变化趋势相一致。测量了氩离子的434．8nm谱线强度随气压在轴向的变化并获得了氩离子的434．8nm谱线强度与氩原子的430．0nm谱线强度的比值在轴向三个不同位置的变化。从测得的结果可知：在放电室中上部形成了均匀稳定的高密度等离子体，在靶附近有所降低，在中部以下等离子体密度逐渐变低；在径向6-7cm以内的区域等离子体参数变化不大，形成了均匀稳定的等离子体，等离子体参数在器壁处变化明显。 展开更多
关键词 LANGMUIR探针 发射光谱 感应耦合等离子体 等离子体参数
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等离子体加工用的感应等离子体
14
作者 Kell.,JH 晨亮 《国外核聚变与等离子体应用》 1997年第1期70-76,共7页
因为在单一晶片蚀刻工具中要求高等离子体密度和低压力，所以已经和正在研制大量商业出售的感应蚀刻装置。本文回顾低压力感应等离子体的一些历史，给出感应等离子体的特性。限制及校正，并介绍等离子体加工的用途，也讨论了趋肤深度，... 因为在单一晶片蚀刻工具中要求高等离子体密度和低压力，所以已经和正在研制大量商业出售的感应蚀刻装置。本文回顾低压力感应等离子体的一些历史，给出感应等离子体的特性。限制及校正，并介绍等离子体加工的用途，也讨论了趋肤深度，ｒｆ线圈阻抗和效率的理论。 展开更多
关键词 感应等离子体 等离子体加工 蚀刻工具
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感应式脉冲等离子体推力器高效能量沉积与转化技术研究综述
15
作者 车碧轩 吴建军 +3 位作者 冉媛媛 李小康 郭大伟 张宇 《上海航天(中英文)》 2025年第1期157-168,共12页
感应式脉冲等离子体推力器(IPPT)在未来空间核电推进等方向具有良好发展前景。本文围绕IPPT中的高效能量沉积与转化技术,从推力器基本工作原理、推力器性能优化理论、推力器磁场渗透特性研究3个层面开展文献综述研究。首先,按照历史脉... 感应式脉冲等离子体推力器(IPPT)在未来空间核电推进等方向具有良好发展前景。本文围绕IPPT中的高效能量沉积与转化技术,从推力器基本工作原理、推力器性能优化理论、推力器磁场渗透特性研究3个层面开展文献综述研究。首先,按照历史脉络对各型IPPT的性能水平和技术特点进行了对比分析;其次,在此基础上,结合推力器性能差异,进一步总结了Lovberg准则、动态匹配理论和临界比能量原理等各类性能优化理论的作用、局限性和相互关系;最后,通过横向对比不同型号推力器中的磁场分布,明确了磁场渗透特性对于推力器能量沉积与转化的重要影响,并围绕磁场渗透特性在实验和数值仿真研究中所采用的主要方法、重要结论及局限性进行了讨论。 展开更多
关键词 感应式脉冲等离子体推力器(IPPT) 能量沉积与转化 磁场渗透
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感应耦合等离子体离子源放电特性仿真研究
16
作者 李日正 倪国华 +1 位作者 孙红梅 王城 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第9期819-824,共6页
针对于一款放电腔直径为60 mm的射频感应耦合等离子体离子源,采用数值模拟的方法研究了射频天线和放电腔结构对氩离子密度分布的影响。结果表明,相比于均匀绕制线圈,非等匝间距的射频天线可有效提高所产生等离子体中氩离子平均密度与其... 针对于一款放电腔直径为60 mm的射频感应耦合等离子体离子源,采用数值模拟的方法研究了射频天线和放电腔结构对氩离子密度分布的影响。结果表明,相比于均匀绕制线圈,非等匝间距的射频天线可有效提高所产生等离子体中氩离子平均密度与其径向均匀性均;氩离子密度随着放电腔高度的增大先增大后减小,在高度为38 mm时达到最大值;使用阶梯式介质窗虽然可以提高氩离子的密度,但也增加了其被溅射的风险。将模拟计算结果应用于离子源实验装置的研制,实现了0.24 mA氩离子束稳定引出。 展开更多
关键词 离子源 数值模拟 感应耦合等离子体 等离子体发生器
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感应等离子体制备高纯致密球形钼粉研究 被引量：11
17
作者 刘晓平 王快社 +1 位作者 胡平 陈强 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期1325-1329,共5页
利用感应等离子体技术制备出高纯致密球形钼粉,实现了钼粉的球化、致密化、细化和纯化,同时研究了感应等离子体功率和原料粉粒度对球化率的影响。采用扫描电子显微镜、X射线衍射仪和激光粒度分析仪对球化处理前后粉末的形貌、物相和粒... 利用感应等离子体技术制备出高纯致密球形钼粉,实现了钼粉的球化、致密化、细化和纯化,同时研究了感应等离子体功率和原料粉粒度对球化率的影响。采用扫描电子显微镜、X射线衍射仪和激光粒度分析仪对球化处理前后粉末的形貌、物相和粒度分布进行测试和分析。结果表明,形状不规则的原料钼粉,经等离子体球化处理后得到球形度好、表面光滑、分散性良好、球化率几乎可达100%的球形钼粉。球化处理后,钼粉粒度变细,且粒度分布更集中。相同工艺条件下,随着等离子体功率的增加,钼粉的球化率先增大后降低,当等离子体功率为25 kW时钼粉球化效果最好,粒度较小的钼粉球化率较高。随着钼粉球化率的提高,粉末的流动性得到显著改善,松装密度也得到提高。钼粉末的流动性由40 s/50 g提高为11 s/50 g,松装密度由2.3 g/cm^3提高到6.1 g/cm^3。 展开更多
关键词 感应等离子体 钼粉 球化 致密化
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脉冲感应式电推进中平面型线圈激励等离子体的流动特征分析 被引量：1
18
作者 成玉国 夏广庆 《推进技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第10期2373-2382,共10页
感应等离子体推力器是一种具有较好应用前景的空间推进方式,受到复杂瞬态电磁场的影响,流场中热力学和动力学参数的时变特性难以实验测量。采用单流体磁流体力学理论,结合高温气体的热力学和输运模型,数值计算初始静止且无预电离的情况... 感应等离子体推力器是一种具有较好应用前景的空间推进方式,受到复杂瞬态电磁场的影响,流场中热力学和动力学参数的时变特性难以实验测量。采用单流体磁流体力学理论,结合高温气体的热力学和输运模型,数值计算初始静止且无预电离的情况下,等离子体参数的二维分布,着重分析等离子体在前半周期内的流动特征。对内径ri为0.05m,外径ro为0.15m的线圈计算表明,其等离子体-线圈耦合距离约为0.032m,以Ar为工质情况下,有效冲量产生时,高价离子(Ar^3+,Ar^4+)与低价离子(Ar^+,Ar^2+)由于受电磁力影响不同,产生了局部分离电场,推动了电流片运动,且在电流片内部,前缘主要为低价离子,后缘主要为高价离子。单脉冲能量210.7J、峰值径向磁感应强度为0.5T、有效作用时间约12μs条件下,5μs时刻的Ar^2+,Ar^3+的最大数密度大于6×10^21m^-3,且大于Ar^+,Ar^4+的数密度。电流片运动大于耦合距离后,受径向运动以及激励电流反转的影响,线圈表面等离子体磁场非线性特征显著,而前缘磁场维持规则分布。对外径为0.15m,0.3m和0.5m的线圈计算发现,ro为0.5m时,电流片径向均匀长度达到0.3m,表明较大线圈尺寸除增加耦合距离外,可提高径向电流密度的均匀性。 展开更多
关键词 感应等离子体 高温热力学 电流片 流动特征 数值计算
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基于FLUENT的二维感应耦合等离子体炬数值模拟 被引量：9
19
作者 朱海龙 童洪辉 +1 位作者 叶高英 陈伦江 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2012年第3期199-205,共7页
将等离子体作为磁流体,考虑其流体属性和电磁属性,介绍了利用FLUENT软件包并将其进行二次开发,解算电磁场方程、质量连续性方程、动量守恒方程、以及能量守恒方程的数值模拟方法,得到了以磁矢势为表达形式的电磁场分布、温度分布和速度... 将等离子体作为磁流体,考虑其流体属性和电磁属性,介绍了利用FLUENT软件包并将其进行二次开发,解算电磁场方程、质量连续性方程、动量守恒方程、以及能量守恒方程的数值模拟方法,得到了以磁矢势为表达形式的电磁场分布、温度分布和速度分布。数值模拟了粉末球化所用的感应耦合等离子体炬电磁场分布、温度分布、速度分布。分析了温度分布、速度分布产生的物理原因,为感应耦合等离子体炬球化粉末颗粒提供理论性指导。 展开更多
关键词 数值模拟 感应耦合等离子体 磁流体力学 FLUENT
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感应耦合等离子体刻蚀在聚合物光波导制作中的应用 被引量：9
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作者 张琨 岳远斌 +2 位作者 李彤 孙小强 张大明 《中国光学》 EI CAS 2012年第1期64-70,共7页
提出了利用感应耦合等离子体(ICP)刻蚀技术提高聚合物光波导器件性能的方法,介绍了ICP刻蚀技术的原理和优点。选取聚甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸环氧丙酯(P(MMA-GMA))作为波导材料,采用氧气作为刻蚀气体,研究了ICP参数变化对刻蚀效果的... 提出了利用感应耦合等离子体(ICP)刻蚀技术提高聚合物光波导器件性能的方法,介绍了ICP刻蚀技术的原理和优点。选取聚甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸环氧丙酯(P(MMA-GMA))作为波导材料,采用氧气作为刻蚀气体,研究了ICP参数变化对刻蚀效果的影响。介绍了倒脊形光波导的制备过程,采用改变单一工艺参数的方法,分析了刻蚀效果随时间、功率、压强、气体流量等参数的变化,对参数优化后刻蚀得到的凹槽和平板结构进行了表征。实验结果表明:在天线射频功率为300 W,偏置射频功率为30 W,气体压强为0.5 Pa,氧气流速为50 cm3/min的条件下,可获得侧壁陡直、底面平整的P(MMA-GMA)凹槽结构。 展开更多
关键词 聚合物光波导 倒脊形光波导 感应耦合等离子体(ICP)刻蚀
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