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一种新型真空微电子压力传感器的研制 被引量:6
1
作者 张正元 徐世六 +2 位作者 温志渝 张正璠 黄尚廉 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2001年第2期97-99,120,共4页
采用各向异性腐蚀与各向同性腐蚀相结合的技术和特殊的硅 -硅键合技术 ,成功地研制出了一种新型真空微电子压力传感器。测试分析结果表明 ,该传感器反向击穿电压达到 1 0 0 V;在加 3V正向电压时 ,其单个锥尖发射电流为 0 .2 n A;在 2 5... 采用各向异性腐蚀与各向同性腐蚀相结合的技术和特殊的硅 -硅键合技术 ,成功地研制出了一种新型真空微电子压力传感器。测试分析结果表明 ,该传感器反向击穿电压达到 1 0 0 V;在加 3V正向电压时 ,其单个锥尖发射电流为 0 .2 n A;在 2 5~ 1 0 0 g的压力范围内与输出电压呈线性关系 ,灵敏度为 0 . 展开更多
关键词 微电子传感器 真空压力传感器 各向异性腐蚀
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硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极真空微电子压力传感器特性的测试 被引量:1
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作者 陈绍凤 夏善红 《液晶与显示》 CAS CSCD 2002年第1期34-38,共5页
封装、测试了硅尖阵列 -敏感薄膜复合型阴极的真空微电子压力传感器 ,在计算机模拟计算的基础上 ,对封装好的真空微电子压力传感器进行了实物测试 ,得出实物测试场发射电流曲线 (开启电压低 ,发射电流曲线与计算机模拟曲线一样 ,电压 45... 封装、测试了硅尖阵列 -敏感薄膜复合型阴极的真空微电子压力传感器 ,在计算机模拟计算的基础上 ,对封装好的真空微电子压力传感器进行了实物测试 ,得出实物测试场发射电流曲线 (开启电压低 ,发射电流曲线与计算机模拟曲线一样 ,电压 45V时发射电流可达到86mA ,平均每个硅尖为 2 1 μA)、压力特性曲线 (呈线性变化 ,与计算机模拟计算的曲线相近 )及灵敏度数据。电压 1 .5V即可测试并且其压力特性成线性变化 ,灵敏度为 0 .3 μA/kPa。 展开更多
关键词 真空微电子压力传感器 压力特性 测试 硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极 计算机模拟
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高精度宽量程MEMS皮拉尼真空度传感器
3
作者 乔靖评 焦斌斌 +10 位作者 刘瑞文 孔延梅 云世昌 赵成圆 刘鑫 叶雨欣 杜向斌 余立航 贾士奇 王子龙 李思博 《微纳电子技术》 CAS 2024年第12期81-89,共9页
真空度传感器是真空检测的核心元件。基于全桥结构微电子机械系统(MEMS)皮拉尼芯片开发了一款高精度宽量程MEMS皮拉尼真空度传感器。全桥结构的设计从芯片级有效抑制了传感器的温漂。测试结果表明,传感器最大温漂为0.15%/℃。校准后,该... 真空度传感器是真空检测的核心元件。基于全桥结构微电子机械系统(MEMS)皮拉尼芯片开发了一款高精度宽量程MEMS皮拉尼真空度传感器。全桥结构的设计从芯片级有效抑制了传感器的温漂。测试结果表明,传感器最大温漂为0.15%/℃。校准后,该传感器能够在5×10^(-2)~1.01×10^(5)Pa的真空度范围内实现小于5%的高读数精度,最大灵敏度为1.34 V/Dec。传感器平均噪声小于-100 dB,理论计算最小检测极限为1.9×10^(-3)Pa。该真空度传感器具有宽量程和高检测精度的特点,能够满足不同领域的真空检测需求。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 皮拉尼真空度传感器 硅丝式 高精度 宽量程
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传感器
4
《中国光学》 EI CAS 1995年第2期64-65,共2页
TN366 95021147投影光刻机调焦传感器研究[学,中]/李东;中科院光电技术研究所.—112页.—1994.6研究了投影光刻机的调焦传感器.重点讨论了调焦传感器的工艺适应性及调焦传感器信号的高精度处理.提出了一种新颖的调焦传感器方案.并对该... TN366 95021147投影光刻机调焦传感器研究[学,中]/李东;中科院光电技术研究所.—112页.—1994.6研究了投影光刻机的调焦传感器.重点讨论了调焦传感器的工艺适应性及调焦传感器信号的高精度处理.提出了一种新颖的调焦传感器方案.并对该方案做了理论分析、设计和实验. 展开更多
关键词 图像传感器 投影光刻机 调焦 理论分析 工艺适应性 传感器研究 传感器信号 微电子传感器 技术研究所 高精度
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美国的个人防护用电子装置
5
作者 柴振荣 《管理观察》 1996年第11期25-25,共1页
关键词 个人防护 微电子传感器 保护装置 泰和公司 安全保卫 信号系统 拉斯维加斯 电子装置 电休克 亚利桑那州
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浅析机械电子技术的发展前景
6
作者 刘静 《大科技》 2013年第2期305-306,共2页
20世纪80年代随着经济的发展,微电子技术高度发达,从而兴起了一门新技术也就是机械电子技术。本文主要阐述一些有关机械电子工程的名词定义和涵义,以数控机床、工业机器人以及柔性自动化系统为主线,介绍机械电子工程发展历史,阐述... 20世纪80年代随着经济的发展,微电子技术高度发达,从而兴起了一门新技术也就是机械电子技术。本文主要阐述一些有关机械电子工程的名词定义和涵义,以数控机床、工业机器人以及柔性自动化系统为主线,介绍机械电子工程发展历史,阐述机械电子工程的共性关键技术,强调了电子测控系统的作用,探讨机械电子技术的研究现状与发展趋势,提出对机电一体化系统的技术要求和设计原则。 展开更多
关键词 微电子传感器 调理电路 发展现状 发展趋势
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五孔探针高精度大气数据采集系统设计
7
作者 梁巍 黄振峰 +2 位作者 贾继阳 厉金鹏 覃泽龙 《兵器装备工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第10期272-279,共8页
根据某型无人机对大气数据采集系统的需求,对基于FPGA+DSP的五孔探针高精度大气数据采集系统进行了研究设计;基于FPGA实现多路传感器高速同步采集,经DSP数据解算后,最终将数据发送至上位机进行实时显示与图像化监测;硬件上采用MEMS数字... 根据某型无人机对大气数据采集系统的需求,对基于FPGA+DSP的五孔探针高精度大气数据采集系统进行了研究设计;基于FPGA实现多路传感器高速同步采集,经DSP数据解算后,最终将数据发送至上位机进行实时显示与图像化监测;硬件上采用MEMS数字式传感器、通讯隔离芯片以及电源滤波电路来增加信号抗干扰能力,软件上对静压和动压数据分别进行了二阶温度补偿和滤波,并采用线性插值算法进行误差补偿提高精度。经过多组测试验证,最终实现气压高度平均误差0.0585 m,迎角、侧滑角平均误差为0.139°,相较于传统迎角传感器,精度提高了近40%,满足飞控系统对五孔探针大气数据采集系统的要求。 展开更多
关键词 五孔探针 迎角 大气数据采集 微电子传感器 高精度
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瓦里安300XP离子注入机改造及功能开发 被引量:1
8
作者 张明亮 韩国威 +3 位作者 刘庆 李艳 杨富华 王晓东 《分析测试技术与仪器》 CAS 2020年第3期151-159,共9页
在完全掌握瓦里安300XP离子注入机各部件的工作原理后,将原离子源供电系统中500 W电流源和450 W起弧电源升级为1500 W电流源和1500 W起弧电源,并集成到当前系统中.将现有不稳定的气体流量、离子源电源、分析器、源磁场和吸极高压塑料光... 在完全掌握瓦里安300XP离子注入机各部件的工作原理后,将原离子源供电系统中500 W电流源和450 W起弧电源升级为1500 W电流源和1500 W起弧电源,并集成到当前系统中.将现有不稳定的气体流量、离子源电源、分析器、源磁场和吸极高压塑料光纤隔离控制线路,升级成多通道光纤通讯光端机隔离控制系统.将一个10 cm进样终端改造成15 cm的样品卡盘,并开发了一套独立控制剂量监测系统.改造后,硼最大束流超过150μA,且可调节.15 cm圆片的片内及片间电阻不均匀性小于3.5%.利用大束流硼离子注入制备浓硼掺杂单晶硅结构层,应用到微电子机械系统压力传感器、热电器件以及纳米谐振子器件中. 展开更多
关键词 离子注入 浓硼掺杂 自停止腐蚀 微电子机械系统压力传感器 热电器件 纳米谐振子
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一种新型的锥尖制作方法研究
9
作者 欧益宏 温志渝 周民来 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2003年第4期344-346,共3页
主要介绍利用反应离子腐蚀和等离子腐蚀相结合的方法制作真空微电子压力传感器中锥尖阵列。探讨合理选择制作材料,优化锥尖形状,锐化锥尖尖度,以提高传感器灵敏度,增大阴极锥尖的发射电流。测试结果表明:优化的锥尖发射电流在电压为3V... 主要介绍利用反应离子腐蚀和等离子腐蚀相结合的方法制作真空微电子压力传感器中锥尖阵列。探讨合理选择制作材料,优化锥尖形状,锐化锥尖尖度,以提高传感器灵敏度,增大阴极锥尖的发射电流。测试结果表明:优化的锥尖发射电流在电压为3V时可达0.2nA,灵敏度为0.1μA/g。 展开更多
关键词 真空微电子压力传感器 阴极锥尖 反应离子腐蚀 等离子腐蚀 发射电流 制作方法
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用于MEMS微电容检测的全差分放大器
10
作者 江儒龙 孔德义 +3 位作者 李庄 鲍路路 林丙涛 郭攀 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期181-184,192,共5页
设计了一种用于MEMS电容传感器的低噪声低失调全差分运算放大器。微传感器传感电容一般很小,传感电容的变化更小。低噪声低失调放大器大大提高了整个传感器检测电路精度。该放大器采用连续时间共模反馈方法稳定共模输出、低阻结点斩波... 设计了一种用于MEMS电容传感器的低噪声低失调全差分运算放大器。微传感器传感电容一般很小,传感电容的变化更小。低噪声低失调放大器大大提高了整个传感器检测电路精度。该放大器采用连续时间共模反馈方法稳定共模输出、低阻结点斩波和动态匹配方法以期达到有稳定输出的低噪声低失调全差分放大器,给出基于HJTC 0.18μm CMOS 1P6M工艺的仿真结果,经过精心设计,各项指标达到或超过应用要求。 展开更多
关键词 微电子机械系统电容传感器 全差分运放 共模反馈 低噪声
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Room temperature gas sensor based on tube-like hydroxyapatite modified with gold nanoparticles 被引量:1
11
作者 罗兰兰 刘咏 +3 位作者 谭彦妮 李会霞 张青 李昆 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第1期18-26,共9页
The main goal of this work is to explore the possibility of using Au-modified hydroxyapatite(HA) as a potential sensor material. Tube-like HA structure was fabricated with the aid of a Nafion N-117 cation exchange mem... The main goal of this work is to explore the possibility of using Au-modified hydroxyapatite(HA) as a potential sensor material. Tube-like HA structure was fabricated with the aid of a Nafion N-117 cation exchange membrane and gold(Au) nanoparticles were added by a hydrothermal method. The morphology, structure and composition were characterized by scanning electron microscopy(SEM), transmission electron microscopy(TEM), X-ray diffraction(XRD), and X-ray photoelectron spectroscopy(XPS). The gas sensing properties were also investigated. Results show that Au nanoparticles are dispersed into the HA powder, which is tube-like, with rough inner and outer surfaces. Compared with pure HA, Au-modified HA exhibits improved sensing properties for NH_3. 5%(mass fraction) Au-modified HA shows the highest response with relatively short response/recovery time. The response is up to 79.2% when the corresponding sensor is exposed to 200×10^(-6) NH_3 at room temperature, and the response time and recovery time are 20 s and 25 s, respectively. For lower concentration, like 50×10^(-6), the response is still up to 70.8%. Good selectivity and repeatability are also observed. The sensing mechanism of high response and selectivity for NH_3 gas was also discussed. These results suggest that Au-HA composite is a promising material for NH_3 sensors operating at room temperature. 展开更多
关键词 gas sensor Au nanoparticles HYDROXYAPATITE gas selectivity ammonia gas
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Preparation and potential application of functional ordered microstructures 被引量:2
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作者 SUN ZhiQiang YANG Bai 《Science China Chemistry》 SCIE EI CAS 2011年第2期275-285,共11页
With the development of science and technology,ordered microstructures with special functions have aroused intense research interest.These functional microstructures have been widely used in fields of microelectronic ... With the development of science and technology,ordered microstructures with special functions have aroused intense research interest.These functional microstructures have been widely used in fields of microelectronic devices,micro-reactors,biochemical sensors and optical devices,etc.This paper summaries our work on preparation and application of microscopic patterned surfaces with ordered microstructures,and looks into the future development of this field. 展开更多
关键词 ordered microstructures colloidal crystals DEWETTING
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Piezoresistive effect in MoO3 nanobelts and its application in strain-enhanced oxygen sensors 被引量:1
13
作者 Xiaonan Wen Weiqing Yang +2 位作者 Yong Ding Simiao Niu Zhong Lin wang 《Nano Research》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第2期180-189,共10页
MoO3 nanobelts (NBs) having different properties have been synthesized via a physical vapor deposition (PVD) method. The crystallographic structures and morphologies of the NBs were characterized by X-ray diffract... MoO3 nanobelts (NBs) having different properties have been synthesized via a physical vapor deposition (PVD) method. The crystallographic structures and morphologies of the NBs were characterized by X-ray diffraction, transmission electron microscopy and scanning electron microscopy. Electrical measurements were performed and the profound piezoresistive effect in MoO3 experimentally studied and verified. Factors that influence the gauge factor, such as NB size, doping concentration and atmosphere composition, are discussed and analyzed. Gas sensing performance was also tested in devices and it was demonstrated that by applying strain to the gas sensor, its sensing performance could be effectively tuned and enhanced. This study provides the first demonstration of significant piezoresistivity in MoO3 NBs and the first illustration of a generic mechanism by means of which this effect can be coupled with other electronic modulation measures to afford better device performance and broader material functionality. 展开更多
关键词 molybdenum trioxide NANOBELT piezoresistive effect oxygen sensor
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