微机电系统技术 被引量：6

1

作者 周兆英 叶雄英 +3 位作者 唐飞 朱俊华 汤扬华 卜敏强 《电子产品世界》 1999年第5期19-21,共3页

关键词 微机电系统技术 IC MEMS 模型

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射频微机电系统技术现状 被引量：10

2

作者 金铃 《微波学报》 CSCD 北大核心 2005年第6期58-65,共8页

较全面地介绍了 RF MEMS 器件、由 RF 器件构成的组件及应用系统,并给出了一些新的典型示例。通过比较 RF MEMS 器件与传统微波器件在性能、尺寸等各方面的差别,可以了解 RF MEMS 技术在相控阵雷达上运用的优势。

关键词 微机电系统技术 射频微机电系统 微机电系统器件

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基于微机电系统技术的微推进器发展简析 被引量：4

3

作者 姚保寅 李辉 +1 位作者 许红英 孙棕檀 《国际太空》 2016年第3期23-26,共4页

1发展需求 随着微小卫星技术的发展和应用领域的不断扩大，对微推进系统提出了越来越迫切的需求。由于微小卫星具有体积小、质量轻、转动惯量小等特点，为精确实现其轨道调整、引力补偿、位置保持、轨道机动和姿态控制等操作，必须开... 1发展需求 随着微小卫星技术的发展和应用领域的不断扩大，对微推进系统提出了越来越迫切的需求。由于微小卫星具有体积小、质量轻、转动惯量小等特点，为精确实现其轨道调整、引力补偿、位置保持、轨道机动和姿态控制等操作，必须开发出具有高集成度、低功耗、小推力和微冲量等特点的微推进器。 展开更多

关键词 微推进器 微机电系统技术 微小卫星技术 推进系统 转动惯量 轨道调整 位置保持 姿态控制

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微机电系统技术及其在卫星中的应用 被引量：2

4

作者 王晓海 《中国航天》 北大核心 2007年第3期35-38,共4页

一、微机电系统（MEMS）技术概述 MEMS技术的术语近几年来不仅在传感器技术、测控技术和微电子技术领域频繁出现，也在航天技术领域中不断出现。微机电系统是微电子技术的拓宽和延伸。它将微电子技术和精密机械加工技术相互融合，实现... 一、微机电系统（MEMS）技术概述 MEMS技术的术语近几年来不仅在传感器技术、测控技术和微电子技术领域频繁出现，也在航天技术领域中不断出现。微机电系统是微电子技术的拓宽和延伸。它将微电子技术和精密机械加工技术相互融合，实现了微电子与机械融为一体的系统。具体来说，微机电系统是专指外形轮廓尺寸在毫米量级以下，构成它的机械零件和半导体元器件尺寸在微米至纳米量级（10^-6～10^-9m），可对声、光、热、磁、运动等自然信息进行感知、识别、控制和处理的微型机电装置。它是正在飞速发展的微米和纳米技术的一项十分重要的成果。它将微型电机、微型电路、微型传感器、微型执行器等微型装置和器件集成在硅片上，不仅能收集、处理与发送信息或指令，还能按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动。 展开更多

关键词 微机电系统技术 微电子技术 MEMS技术 机械加工技术 应用 卫星 器件尺寸 微型电机

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用微机电系统技术制微型PEMFC及其性能研究

5

作者 陈聪 郑丹 +3 位作者 张熙贵 杨辉 夏保佳 李昕欣 《电源技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第4期261-265,268,共6页

采用氧化、光刻、KOH湿法腐蚀和溅射等一系列微机电系统(MEMS)工艺,在n型单晶硅片衬底上制作微型质子交换膜燃料电池(mPEMFC)的精细流场,并用扫描电子显微镜(SEM)观察所形成的流场微观形貌。将加工好的流场板分别与不同的膜电极组件(MEA... 采用氧化、光刻、KOH湿法腐蚀和溅射等一系列微机电系统(MEMS)工艺,在n型单晶硅片衬底上制作微型质子交换膜燃料电池(mPEMFC)的精细流场,并用扫描电子显微镜(SEM)观察所形成的流场微观形貌。将加工好的流场板分别与不同的膜电极组件(MEA)叠片式组装成H2-空气自呼吸式mPEMFC。所制成的单体电池的体积约为0.3cm3,质量不足0.65g。在20℃,相对湿度RH为(60±5)%的室内环境下,用三种不同MEA即Nafion112、Nafion1135自制热压MEA和GorePrimeaR5561MEA组装成的电池,其峰值比功率、体积比功率和质量比功率分别为123、112、58mW·cm-2,410、373、193W·L-1,189.2、172.9、89.2W·kg-1。通过比较上述三种不同mPEMFC的性能,分析了影响电池性能的若干因素。用Nafion1135MEA组装的mPEMFC以50mA·cm-2进行累计260h长时间放电实验,电池电压保持在0.6V以上。 展开更多

关键词 微型质子交换膜燃料电池(μPEMFC) 微机电系统(MEMS)技术 单晶硅片

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微机电系统技术及其在卫星中的应用

6

作者 王晓海 刘彦儒 《卫星电视与宽带多媒体》 2006年第20期32-34,共3页

关键词 微机电系统技术 微电子机械系统 微电子技术 Systems 应用 卫星 机械加工技术 传感器技术

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军用微机电系统技术的新进展

7

作者 赵略 《国防科技（北京）》 2001年第24期10-12,共3页

关键词 军用微机电系统技术 进展 军事装备 军用技术

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ADI发布3轴运动检测微机电系统技术

8

《机电工程技术》 2006年第8期9-9,共1页

美国模拟器件公司（ADI）日前发布了3轴运动检测微机电系统（MEMS）技术。

关键词 微机电系统技术 运动检测 微机电系统(MEMS) ADI 美国模拟器件公司

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ADI发布3轴运动检测微机电系统技术

9

《变频器世界》 2005年第12期18-19,共2页

日前，美国模拟器件公司（ADI）发布了3轴运动检测微机电系统（MEMS）技术。该3轴iMEMS（集成MEMS）Motion Signal Processing技术能将包含薄的、鲁棒性运动传感器和先进的信号调理电路的非常小的低功耗3轴（XYZ）加速度计集成在一颗低... 日前，美国模拟器件公司（ADI）发布了3轴运动检测微机电系统（MEMS）技术。该3轴iMEMS（集成MEMS）Motion Signal Processing技术能将包含薄的、鲁棒性运动传感器和先进的信号调理电路的非常小的低功耗3轴（XYZ）加速度计集成在一颗低功耗芯片上。带有2轴和3轴MEMS运动传感器的移动电话和其它便携式设备都能对位置、方向和运动做出智能地响应。 展开更多

关键词 微机电系统技术 运动检测 微机电系统(MEMS) ADI 美国模拟器件公司 轴 运动传感器 SIGNAL 信号调理电路 便携式设备

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中国生物微机电系统技术发展现状与展望

10

作者 张传禹 蔡新霞 +10 位作者 常凌乾 陈健 李天梁 刘景全 高伟卓 胡飞 秦咸明 吴德志 徐洪成 张帅龙 韦学勇 《前瞻科技》 2024年第3期19-31,共13页

生物微机电系统(Biomedical Microelectromechanical System,BioMEMS)技术是将生物、机械、电子、物理、化学和信息等多学科交叉融合的前沿技术,其研究和应用极大地推动了生物医学领域技术的进步,并具有低成本产业化的潜力,已经成为世... 生物微机电系统(Biomedical Microelectromechanical System,BioMEMS)技术是将生物、机械、电子、物理、化学和信息等多学科交叉融合的前沿技术,其研究和应用极大地推动了生物医学领域技术的进步,并具有低成本产业化的潜力,已经成为世界各主要科技强国大力发展的领域。文章系统总结了BioMEMS在生物检测、医学治疗、微纳操纵等领域的前沿进展和国内外发展现状。总体而言,中国在该领域处于世界一流水平,特别是在材料开发、技术应用层面取得了显著成果。但同时也存在一些问题和发展瓶颈,例如,还需要进一步优化我国现有科研资助和人才培养体系来满足BioMEMS技术多学科交叉属性。文章针对性地提出了该领域未来发展趋势和政策建议,以期为中国后续生物微机电系统技术的发展提供参考。 展开更多

关键词 生物微机电系统技术 发展现状 未来趋势 政策建议

原文传递

霍尼韦尔公司大力发展微机电系统技术

11

作者 柯星 《海陆空天惯性世界》 2000年第4期42-42,共1页

美国最大的惯导系统制造商霍尼韦尔公司已签署了一份意问书,拟采购波音公司的微机电系统(MEMS)技术及相关的用于惯性制导系统的专利。这项技术被认为是未来军用"芯片陀螺"的关键,在这类应用中要求陀螺具有轻而小的特点。在近期。

关键词 霍尼韦尔 微机电系统技术 惯导系统 陀螺 加速度计 波音公司 战术弹 大力发展 制造商 采购

原文传递

基于分子电子传感器技术可用于行星探测的微型地震仪 被引量：1

12

作者 H.Huang B.Carande +10 位作者 R.Tang J.Oiler D.Zaitsev V.Agafonov H.Y.Yu 孙宏志 赵龙梅 卢山 刘一萌 高业欣 吕春来 《世界地震译丛》 2014年第5期109-114,共6页

描述了一种基于分子电子传感器(MET)技术的微型机械地震计的研制过程。不同于固体惯性质量,分子电子传感器地震计是探测液体电解质相对于固定电极的移动。使用微机电系统技术将探测单元的内部尺寸减小到1μm并且提高了设备的再现性。对6... 描述了一种基于分子电子传感器(MET)技术的微型机械地震计的研制过程。不同于固体惯性质量,分子电子传感器地震计是探测液体电解质相对于固定电极的移动。使用微机电系统技术将探测单元的内部尺寸减小到1μm并且提高了设备的再现性。对600mV的工作偏置电压,在0.32Hz的400μg(g≡9.81m/s2)加速度条件下可测得灵敏度为809V/(m/s2)。在1Hz获得的噪声水平为-115dB(相对于(m/s2)/Hz^(1/2))。这项工作研发了一个可供选择小尺寸、高灵敏度、低本底噪声、高振动范围和独立安装角度的地震计设备。这有希望成为下一代行星探测用的地震仪。 展开更多

关键词 传感器技术 行星探测 分子电子 微型机械 地震仪 微机电系统技术 电子传感器 高灵敏度

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MEMS CAD系统及其关键技术研究

13

作者 郝文涛 田凌 童秉枢 《工程图学学报》 CSCD 北大核心 2006年第1期1-8,共8页

针对MEMS器件及系统本身的特点和设计方式,构建了MEMS CAD软件系统的结构,并描述了系统中各模块的功能。对当前MEMS CAD系统亟待解决的关键技术,如数值计算方法、多能量域耦合仿真、宏模型建立、版图综合、工艺自动生成和优化以及多领... 针对MEMS器件及系统本身的特点和设计方式,构建了MEMS CAD软件系统的结构,并描述了系统中各模块的功能。对当前MEMS CAD系统亟待解决的关键技术,如数值计算方法、多能量域耦合仿真、宏模型建立、版图综合、工艺自动生成和优化以及多领域专家协同设计等问题进行了详细的论述,指出了各项技术的研究进展和发展方向。 展开更多

关键词 计算机应用 微机电系统CAD 综述 微机电系统CAD关键技术

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国际上微型飞行器研究的进展及其关键技术 被引量：19

14

作者 罗均 蒋蓁 +3 位作者 程维明 龚振邦 邓寅喆 梁秋憧 《上海大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 2001年第4期293-296,共4页

微型飞行器 (MAV)是 MEMS传感器和驱动器技术发展的必然产物 ,同时也是当今先进国家竞相研究的科技前沿课题 .该文综述了世界各国对微型飞行器在固定翼、旋翼、扑翼以及微型动力系统方面的研究进展 ,指出了MAV研究的几项关键技术 ,并结... 微型飞行器 (MAV)是 MEMS传感器和驱动器技术发展的必然产物 ,同时也是当今先进国家竞相研究的科技前沿课题 .该文综述了世界各国对微型飞行器在固定翼、旋翼、扑翼以及微型动力系统方面的研究进展 ,指出了MAV研究的几项关键技术 ,并结合我国实际 ,提出了我国研究 展开更多

关键词 微型飞行器 微机电系统技术 微型飞行机器人 固定翼 旋翼 扑翼 MAV 微型动力系统

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基于集成参比电极的多参数水质监测微传感器阵列研制 被引量：3

15

作者 张缓缓 刘彬 +1 位作者 金庆辉 刘咏松 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第10期99-101,105,共4页

研究了一种基于MEMS工艺制备的集成微电极型传感器,并用电化学修饰方法将Ag/AgCl参比电极集成在传感器上,用于水体中温度、电导率和氧化还原电位的测定。Pt温度传感器的电阻与温度的线性关系良好,满足温度测量精度的需求;比较法确定电... 研究了一种基于MEMS工艺制备的集成微电极型传感器,并用电化学修饰方法将Ag/AgCl参比电极集成在传感器上,用于水体中温度、电导率和氧化还原电位的测定。Pt温度传感器的电阻与温度的线性关系良好,满足温度测量精度的需求;比较法确定电导率传感器的电极常数为2.723,可以对一般水体的电导率进行测定;氧化还原电位传感器的标准曲线斜率为0.99733接近于理论值,表明它可以准确表示水体的氧化还原电位值。 展开更多

关键词 微机电系统技术 Ag/AgCl参比电极 集成微电极 水质监测

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用于MEMS微镜激光跟瞄的扩角镜头研究

16

作者 张鹏程 汪洋 +7 位作者 李安娜 黄昊 张程 张家昌 张永贵 王栎皓 刘艺晨 武震宇 《红外与激光工程》 北大核心 2025年第1期120-130,共11页

MEMS微镜是小型化激光跟瞄系统的关键组件。系统通过控制MEMS微镜使激光偏转,并由光电探测器收集信号,可以实现对目标的稳定跟踪和瞄准。然而MEMS准静态微镜的扫描视场角较小,这限制了对目标的大视场跟踪能力。为了解决MEMS微镜扫描视... MEMS微镜是小型化激光跟瞄系统的关键组件。系统通过控制MEMS微镜使激光偏转,并由光电探测器收集信号,可以实现对目标的稳定跟踪和瞄准。然而MEMS准静态微镜的扫描视场角较小,这限制了对目标的大视场跟踪能力。为了解决MEMS微镜扫描视场较小的问题,基于伽利略扩角光路,针对小型化、后扫描光路、易加工等需求,设计了一款小型化跟瞄扩角镜头。首先,采用光束发散角和高斯拟合误差等指标,结合光束质量分析仪,对比了激光在扩角前后的光束质量,分析了扩角镜头对光束质量的影响;其次,基于搭建的扩角镜头表征装置,对比理论计算与仿真模型,分析了扩角结果;最后,结合MEMS准静态微镜和扩角镜头,对比了扩角前后的激光扫描图案。实验结果表明:设计的扩角镜头具有约2.88倍的扩角放大率,扩角线性度小于0.7%,且扩角前后激光光束质量无明显变化,扩角后发散全角控制在2 mrad以内。该项研究成果有助于推动小型化MEMS微镜激光跟踪瞄准系统的性能提升。 展开更多

关键词 压电微镜 微机电系统技术 激光跟踪瞄准 扩角镜头 伽利略光路

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MEMS——电子领域的新宠

17

作者 黄萍 孙继萍 《山东师范大学学报（自然科学版）》 CAS 2004年第2期50-52,共3页

微机电系统技术 (MEMS)是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的 .其微型化、集成化、批量生产和多学科交叉等优良特性将对人类社会生活带来巨大的进步 ,是电子领域的新宠 .

关键词 MEMS 微机电系统技术 电子 超精密机械加工

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基于MEMS技术热温差式流量传感器的设计与标定 被引量：6

18

作者 胡梦飞 刘亚伟 +3 位作者 杨露露 谷永先 胡国俊 吕品 《传感器与微系统》 CSCD 2019年第2期102-104,共3页

设计了一种基于微机电系统(MEMS)技术热温差式流量传感器并对传感器进行了标定。通过MEMS技术加工制作出流量传感器。芯片结构包括中间热源电阻器、上下游测温电阻器及环境电阻器。热源电阻器和上下游测温电阻器悬空布置,热源的工作模... 设计了一种基于微机电系统(MEMS)技术热温差式流量传感器并对传感器进行了标定。通过MEMS技术加工制作出流量传感器。芯片结构包括中间热源电阻器、上下游测温电阻器及环境电阻器。热源电阻器和上下游测温电阻器悬空布置,热源的工作模式为恒温差。流量值通过设计的硬件检测系统处理,通过串口传输至上位机,上位机上通过MATLAB对控制系统输出的数字量进行拟合标定。经过测试,设计的传感器标定后输出特性良好,能够应用于工业领域的流量测量。 展开更多

关键词 微机电系统技术 流体传热式 MATLAB软件 标定

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小仪器里的大文章——记2013年度国家技术发明奖二等奖项目“基于生物敏感膜的便携式传感器关键技术及应用”

19

作者 李白薇 王芳 《中国科技奖励》 2014年第2期75-76,共2页

生物传感器由信号转换器件、生物敏感元件和检测电路组成,是敏感电子学的重要研究方向,属国际前沿技术。自1967年S.J.Updike等研制出了第一个葡萄糖生物传感器以来,生物传感器技术一直在不断向前发展。如今,随着电子信息科技与生物技术... 生物传感器由信号转换器件、生物敏感元件和检测电路组成,是敏感电子学的重要研究方向,属国际前沿技术。自1967年S.J.Updike等研制出了第一个葡萄糖生物传感器以来,生物传感器技术一直在不断向前发展。如今,随着电子信息科技与生物技术、微机电系统技术及纳米技术等高新技术的交叉融合,生物传感器向小型便携、实时快速、高灵敏、多参数和低成本方向发展,在临床卫生、食品安全、反恐侦查以及科学研究等方面具有重要应用需求, 展开更多

关键词 葡萄糖生物传感器 国家技术发明奖 生物敏感膜 应用 便携式 微机电系统技术 仪器 电子信息科技

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基于微流控与喷墨打印技术的微液滴形成芯片 被引量：2

20

作者 单子龙 祝明杰 +1 位作者 宁伟 吴炫烨 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2023年第1期26-29,共4页

基于微流控的液滴发生是数字聚合酶链式反应(PCR)等分子生物学检测数字化的基础。研究了一种新的微流控法制备微液滴,采用微流控与热泡喷墨技术结合的方法制备微液滴。利用热泡喷墨打印技术的液滴发生原理,本文提出了一种能够在1 s内形... 基于微流控的液滴发生是数字聚合酶链式反应(PCR)等分子生物学检测数字化的基础。研究了一种新的微流控法制备微液滴,采用微流控与热泡喷墨技术结合的方法制备微液滴。利用热泡喷墨打印技术的液滴发生原理,本文提出了一种能够在1 s内形成超过300000个皮升(pL)级液滴的创新型方法。针对这种新的液滴发生方法,本文系统研究了喷孔位置、分散相黏度、分散相与MEMS半导体芯片的接触角等因素对液滴生成的影响。该技术在数字PCR等分子生物学检测领域有巨大的应用潜力。 展开更多

关键词 微流控 微液滴 微机电系统技术 喷墨打印技术

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