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微型光机电系统 被引量:3
1
作者 叶雄英 周兆英 +1 位作者 福田敏男 新井史人 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1998年第10期30-32,35,共4页
微型电子机械系统(MEMS)与光器件融合于一体的微型光机电系统(MOEMS)成为MEMS研究的一个重要方向,它将会给光器件的发展带来新的飞跃,而光系统因无需力的输出,正是MEMS的一个理想的应用领域。本文主要介绍几种... 微型电子机械系统(MEMS)与光器件融合于一体的微型光机电系统(MOEMS)成为MEMS研究的一个重要方向,它将会给光器件的发展带来新的飞跃,而光系统因无需力的输出,正是MEMS的一个理想的应用领域。本文主要介绍几种有突破性的、具有可动部件的微型光机电系统,最后提出一种新型的微光学开关。 展开更多
关键词 MEMS 微型光机电系统 光学平台 光开关
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微型光机电系统及其制作 被引量:1
2
作者 白立芬 李庆祥 +1 位作者 薛实福 于水 《电子工业专用设备》 2000年第3期1-7,12,共8页
微型光机电系统 (MOEMS)是将微光学、微电子和微机械系统结合发展出一种新型、宽广的应用领域 ,从早期的分立光学元件与电子电路向独立完整的光学系统发展。阐述了实现MOEMS的 2种技术手段 :光波导和微型光学平台的原理、制作工艺和关... 微型光机电系统 (MOEMS)是将微光学、微电子和微机械系统结合发展出一种新型、宽广的应用领域 ,从早期的分立光学元件与电子电路向独立完整的光学系统发展。阐述了实现MOEMS的 2种技术手段 :光波导和微型光学平台的原理、制作工艺和关键技术 ,在此基础上概要介绍了几种典型的MOEMS系统。最后对其的发展作了展望。 展开更多
关键词 微型光机电系统 制作 集成电路工艺
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采用CCD技术的微型光机电系统光开关测试方法 被引量:3
3
作者 孙东明 董玮 +4 位作者 郭文滨 刘彩霞 王国东 徐宝琨 陈维友 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期346-350,共5页
在研制基于微型光机电系统技术的光电器件过程中,需要精确测定器件在给定驱动条件下的运动情况。在对制作完成的光开关进行性能测试时,由于微型光机电系统光开关的几何尺寸的限制,如果要准确测定光开关微反射镜的运动位移,将会有一定的... 在研制基于微型光机电系统技术的光电器件过程中,需要精确测定器件在给定驱动条件下的运动情况。在对制作完成的光开关进行性能测试时,由于微型光机电系统光开关的几何尺寸的限制,如果要准确测定光开关微反射镜的运动位移,将会有一定的困难。提出了一种采用线阵CCD技术的光学测量方法,实现了对光开关悬臂梁在驱动电压作用下的旋转角度的精确测量。通过理论推导得到了悬臂梁扭转角度与可测量物理量的关系,通过求解方程得到了各个物理量的数值选择对于测量结果的影响,并且给定了测量时各个物理量的参考值。通过实验测量,误差小于10%,表明这是一种具有实际意义的测量方案。 展开更多
关键词 集成光学 微型光机电系统 光开关 线阵CCD 旋转角度 测量
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基于微型光机电系统扫描镜技术的激光散斑抑制方法 被引量:4
4
作者 唐国先 石云波 +3 位作者 刘俊 赵幸娟 柴鹏兰 王瑞荣 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2011年第6期105-109,共5页
激光固有的时间和空间相干性,造成的散斑现象成为实现激光显示技术的瓶颈。针对激光显示的消散斑问题,提出了一种基于微型光机电系统(MOEMS)扫描镜技术的散斑抑制方法,并设计了一种简单的二维扫描镜结构,为开发非运动式、小体积、低功... 激光固有的时间和空间相干性,造成的散斑现象成为实现激光显示技术的瓶颈。针对激光显示的消散斑问题,提出了一种基于微型光机电系统(MOEMS)扫描镜技术的散斑抑制方法,并设计了一种简单的二维扫描镜结构,为开发非运动式、小体积、低功耗、高速低成本电调制的MOEMS,实现对激光散斑的抑制,标准化消相干器件的工艺的开发和规模化生产技术提供了参考。 展开更多
关键词 激光 显示技术 散斑抑制 微型光机电系统扫描镜 消相干
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基于三维微光机电系统光开关的研究 被引量:2
5
作者 武剑锋 陈鹤鸣 《山西电子技术》 2007年第4期95-96,共2页
主要对基于三维微光机电系统(MEMS)的光开关结构进行研究,分析一种新型结构紧凑、高可靠性、大容量的光开关结构,并与常规结构的三维微光机电系统的光开关进行对比,在保证设计参数不变的情况下,保证系统全连接的情况下,可以减少微镜的... 主要对基于三维微光机电系统(MEMS)的光开关结构进行研究,分析一种新型结构紧凑、高可靠性、大容量的光开关结构,并与常规结构的三维微光机电系统的光开关进行对比,在保证设计参数不变的情况下,保证系统全连接的情况下,可以减少微镜的最大偏转角,从而实现快速的光路切换,并且采用静电梳状微致动器能进一步降低工作电压,实现低功耗和快速的交叉连接,并对系统设计需注意的事项进行分析。 展开更多
关键词 微型光机电系统 光分插复用器 光开关 光交叉连接 光网络 波分复用
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光谱仪的微型化及其应用 被引量:38
6
作者 史俊锋 惠梅 +1 位作者 王东生 毛文炜 《光学技术》 EI CAS CSCD 2003年第1期13-16,20,共5页
和传统光谱仪相比,微型光谱仪的分辨率较低,但由于它体较小、价格便宜等优点广泛应用于许多测量、控制领域。讨论了微型光谱仪结构特点、关键技术和发展趋势;对多种微型光谱仪的工作原理和相应的工艺流程做了较为详细的总结;结合国内微... 和传统光谱仪相比,微型光谱仪的分辨率较低,但由于它体较小、价格便宜等优点广泛应用于许多测量、控制领域。讨论了微型光谱仪结构特点、关键技术和发展趋势;对多种微型光谱仪的工作原理和相应的工艺流程做了较为详细的总结;结合国内微型光机电系统制作工艺,分析了几类微型光谱仪的制作难点及其设计方案的可行性。探讨了在分辨率要求不太高的情况下微型光谱仪的多个潜在应用领域。 展开更多
关键词 微型光机电系统 微型光谱仪 芯片系统
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混合集成微型光纤光谱仪的实验测定 被引量:5
7
作者 陈刚 温志渝 +2 位作者 温中泉 蒋子平 黄尚廉 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第6期1232-1237,共6页
文中简述了所研制微型光谱仪的基本原理和基本结构,并对该微型光谱仪进行了实验测试和标定。在实验中采用汞灯作为测试所用的光源,分别使用不同芯径和数值孔径的光纤作为光输入元件,实验结果表明该光谱仪具有很好的线性度,在采用50μm... 文中简述了所研制微型光谱仪的基本原理和基本结构,并对该微型光谱仪进行了实验测试和标定。在实验中采用汞灯作为测试所用的光源,分别使用不同芯径和数值孔径的光纤作为光输入元件,实验结果表明该光谱仪具有很好的线性度,在采用50μm的多模光纤时,光谱分辨率可达13.8nm,在采用9μm的单模光纤时分辨率可以达到5.5nm。 展开更多
关键词 反射式混合集成微型光纤光谱仪 结构 实验测试 微型光机电系统 光电阵列探测器
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微型可编程衍射光栅的特性分析 被引量:1
8
作者 俞静峰 苑伟政 +1 位作者 乔大勇 姜澄宇 《西北工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期76-79,共4页
研究了基于微型光机电系统(MOEM S)的微型可编程衍射光栅。利用波动光学理论推导了在编程状态下它的光强分布公式,对可编程光栅每个衍射单元包含的微梁数和其中的微梁高度等参数变化对其衍射特性的影响进行分析,并对其衍射特性进行仿真... 研究了基于微型光机电系统(MOEM S)的微型可编程衍射光栅。利用波动光学理论推导了在编程状态下它的光强分布公式,对可编程光栅每个衍射单元包含的微梁数和其中的微梁高度等参数变化对其衍射特性的影响进行分析,并对其衍射特性进行仿真验证。验证结果表明:光栅衍射单元包含的微梁数会对衍射光的各个主极大空间位置产生影响,而微梁高度的变化则会引起各衍射主极大之间的光强能量重新分布。 展开更多
关键词 微型光机电系统(MOEMS) 可编程衍射光栅 仿真
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非硅基底1×4微机电系统光开关 被引量:10
9
作者 曹钟慧 鲍俊峰 +1 位作者 袁野 吴兴坤 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第9期1041-1044,共4页
设计研制了一种小体积、低成本、可扩展的低电压非硅基底 1× 4微机电系统光开关。开关单元由电磁驱动 ,微反射镜绕直径 10 0 μm转轴转动 ,驱动电压为 5V ,开关时间小于 2ms,插入损耗小于 0 .84dB ,具有断电自锁功能。器件构造工... 设计研制了一种小体积、低成本、可扩展的低电压非硅基底 1× 4微机电系统光开关。开关单元由电磁驱动 ,微反射镜绕直径 10 0 μm转轴转动 ,驱动电压为 5V ,开关时间小于 2ms,插入损耗小于 0 .84dB ,具有断电自锁功能。器件构造工艺采用微细电火花加工技术。用有限元法分析受力和磁场 ,进行结构优化设计 。 展开更多
关键词 微型光机电系统 光开关 有限元分析 微反射镜 光纤通信技术 结构设计
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面向真三维立体显示的数字微镜器件应用研究 被引量:1
10
作者 李莉 杨忠 +1 位作者 耿征 沈春林 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2008年第9期56-58,62,共4页
数字微镜器件(DMD)专门用于对空间光进行振幅和相位调制。针对DMD特有的MEMS结构和μs级响应速度,提出将DMD作为空间光调制器(SLM)来实现高性能真三维立体显示系统。研究了DMD的工作原理,进行了DMD专用显示控制模块和通用控制算法的设计... 数字微镜器件(DMD)专门用于对空间光进行振幅和相位调制。针对DMD特有的MEMS结构和μs级响应速度,提出将DMD作为空间光调制器(SLM)来实现高性能真三维立体显示系统。研究了DMD的工作原理,进行了DMD专用显示控制模块和通用控制算法的设计,实验结果表明:DMD响应速度远远优于振镜,用DMD构建简洁型的真三维立体显示系统,对提高系统处理速度和显示性能是非常有利的。 展开更多
关键词 数字微镜器件 微型光机电系统 空间光调制器 真三维立体显示
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声光可调谐滤波器及其在成像光谱仪上的应用 被引量:10
11
作者 刘石神 《红外》 CAS 2004年第7期12-17,共6页
本文介绍了声光可调谐滤波器作为色散元件的原理,并着重对声光可调谐 滤波器在成像光谱仪上的应用进行了描述。
关键词 声光可调谐滤波器 成像光谱仪 声光成像光谱仪 色散元件 微型光机电系统
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MZI型MOEMS压力传感器的研究
12
作者 王仕超 张晓霞 +3 位作者 周勇 王祥斌 陈沛然 冷洁 《传感器世界》 2009年第4期10-13,共4页
集成光学压力传感器利用幅度、相位、折射率分布、光程和光波极化方式的改变来感应外部压力。设计了马赫-曾德尔干涉仪(MZI)型微型光机电系统(MOEMS)压力传感器,探讨了工作原理,分析了弹性薄膜尺寸对应力的影响和波导中TE、TM模式的光... 集成光学压力传感器利用幅度、相位、折射率分布、光程和光波极化方式的改变来感应外部压力。设计了马赫-曾德尔干涉仪(MZI)型微型光机电系统(MOEMS)压力传感器,探讨了工作原理,分析了弹性薄膜尺寸对应力的影响和波导中TE、TM模式的光对波导折射率的影响。通过设计弹性薄膜的尺寸和选用特定波长的单模激光,得到传感器的工作特性。 展开更多
关键词 马赫-曾德尔干涉仪(MZI) 压力传感器 折射率 相位 微型光机电系统(MOEMS)
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光电子技术与器件 其他 被引量:1
13
《中国光学》 CAS 2005年第4期76-76,共1页
O461.21 2005042978 微空心阴极放电与准分子光源=Microhollow cathode dis- charge and excimer light source[刊,中]/江超(华中科技大学激光技术国家重点实验室.湖北,武汉(430074)),王又青//量子电子学报,-2005,22(2),-142,149 ... O461.21 2005042978 微空心阴极放电与准分子光源=Microhollow cathode dis- charge and excimer light source[刊,中]/江超(华中科技大学激光技术国家重点实验室.湖北,武汉(430074)),王又青//量子电子学报,-2005,22(2),-142,149 综述了微空心阴极放电的基本原理;详细论述了微空心阴极放电中的准分子辐射,以及微空心阴极放电的放电方式(直流放电、脉冲放电、射频放电)对准分子辐射强度和效率的影响。最后论述了微空心阴极放电的运行方式 (串联运行、并联运行)对准分子辐射的影响。图13表1 参21(王淑平) 展开更多
关键词 光开关 微型光机电系统 国家重点实验室 空心阴极放电 微空心阴极 量子电子学 光电子技术 长周期光纤光栅 集成光电子学 分子辐射
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发展中的MOEMS压力传感器
14
作者 李晓延 《传感器世界》 2004年第8期12-14,共3页
微型光机电系统(MOEMS)技术是一门新兴的技术,其应用涉及光通信、光显示、数据存储和光学传感等诸多方面,而利用这种技术制作的光学压力传感器更是具有传统压力传感器无可比拟的优点。本文着重介绍了MOEMS压力传感器的结构、工作原理以... 微型光机电系统(MOEMS)技术是一门新兴的技术,其应用涉及光通信、光显示、数据存储和光学传感等诸多方面,而利用这种技术制作的光学压力传感器更是具有传统压力传感器无可比拟的优点。本文着重介绍了MOEMS压力传感器的结构、工作原理以及制作工艺,并简要介绍了MOEMS压力传感器阵列的结构和制作工艺。 展开更多
关键词 微型光机电系统 MOEMS 光学压力传感器 压力传感器 阵列
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“掌上”小卫星
15
《太空探索》 2003年第10期16-17,共2页
关键词 空间站 载人航天 空间技术 微电子技术 微型光机电系统 微型机电系统 卫星设计 纳型卫星 皮型卫星
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Development of Miniature Spectrometers
16
作者 ZHANG Zhi-guo 《Semiconductor Photonics and Technology》 CAS 2007年第2期132-135,共4页
Spectrometer is an essential and necessary optical element used for measuring the chemical components and content of the matter. The development of miniature spectrometers can be traced back to 1980s. The development ... Spectrometer is an essential and necessary optical element used for measuring the chemical components and content of the matter. The development of miniature spectrometers can be traced back to 1980s. The development state and different manufacturing methods of micro-spectrometers are presented. Finally, we analyze the miniaturization trend of spectrometers. Some groundwork for the scientific research is offered by introducing micro-spectrometers development. 展开更多
关键词 MICRO-SPECTROMETER micro-opto-electro-mechanical system (MOEMS) Fourier transform interferometer(FTS) spectroscopy
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用于加速度计的硅基拉链光子晶体腔光机系统
17
作者 谭红宇 姚远 《光学与光电技术》 2023年第6期106-116,共11页
基于光子晶体微腔的腔光机加速度计将机械谐振子及高品质因数光子晶体腔相结合,其中的机械振子在机械震荡模式下对微弱力/位移敏感的特性,可以实现极低的噪声水平,理论上能够达到标准量子噪声极限,是高精度加速度计的重要发展方向。对... 基于光子晶体微腔的腔光机加速度计将机械谐振子及高品质因数光子晶体腔相结合,其中的机械振子在机械震荡模式下对微弱力/位移敏感的特性,可以实现极低的噪声水平,理论上能够达到标准量子噪声极限,是高精度加速度计的重要发展方向。对拉链式光子晶体腔光机加速度计的原理和结构特点进行分析,设计了一种应用于加速度计的硅基拉链式光子晶体腔和机械振子结构。分析了拉链腔的结构参数对光学Q值的影响,通过调节结构参数将光腔的谐振频率控制在195 THz附近,并分析了机械振子和光腔的机械谐振特性,光腔的有效质量为30 pg,加上机械振子后有效质量为3.1 ng,光机耦合率达到GHz/nm量级,为基于硅基拉链腔加速度计的制造和表征提供了指导。 展开更多
关键词 微型光机电系统 加速度计 高精度 拉链腔 光子晶体
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Tunability Analysis of Fabry-Perot Cavity in Micro Optical Electromechanical System
18
作者 Wei Mingfei Yang Fang Ji Qichun Zhou Junni Wen Hao 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第F12期184-187,共4页
关键词 微型光机电系统 空气层 波长 灵敏度
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