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宽角度入射近紫外反射镜的膜系优化设计与制备
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作者 宋光辉 李文龙 +3 位作者 王银河 胡雯雯 姚春龙 刘海涛 《真空》 CAS 2021年第6期38-42,共5页
本文以规整膜系为基础,使用膜系软件进行优化,设计出满足投影光刻机紫外光学系统用宽角度入射近紫外反射镜使用要求的多层介质膜系。基于平面行星式转动机构,计算出平面紫外反射镜直径400mm以内的膜厚分布,通过对膜厚均匀性修正技术研究... 本文以规整膜系为基础,使用膜系软件进行优化,设计出满足投影光刻机紫外光学系统用宽角度入射近紫外反射镜使用要求的多层介质膜系。基于平面行星式转动机构,计算出平面紫外反射镜直径400mm以内的膜厚分布,通过对膜厚均匀性修正技术研究,实现镜片表面膜厚光谱曲线偏差小于5nm。 展开更多
关键词 近紫外 宽入射角度 膜系设计 均匀性
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用于复杂电磁环境的能量收集表面 被引量:4
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作者 王卫宾 周永金 《电子测量技术》 2017年第9期6-9,共4页
用于在多频带、极化方式多样、宽入射角度的复杂电磁环境中有效收集电磁能量,提出了一个超材料单元,它由8个开口谐振环并按照正八边形排列,内部添加一个正八边形的寄生贴片。8个相同的开口谐振环经旋转排列,结合内部的寄生贴片形成中心... 用于在多频带、极化方式多样、宽入射角度的复杂电磁环境中有效收集电磁能量,提出了一个超材料单元,它由8个开口谐振环并按照正八边形排列,内部添加一个正八边形的寄生贴片。8个相同的开口谐振环经旋转排列,结合内部的寄生贴片形成中心对称结构,设计了一种新颖的电磁能量收集表面,具有多频、宽入射角度、极化不敏感的工作特性。使用微波仿真软件CST对组成该电磁能量收集表面的超材料单元的结构尺寸进行了分析和优化,对垂直入射的电磁波的电磁能量收集效率、单元上的能量分布以及S参数进行了研究。仿真结果表明,当电磁波垂直入射时,在5.75、6.5、6.84、7.56、7.98、8.55 GHz 6个频点处分别达到82%、79%、61%、71%、70%、73%的最大收集效率;在0°~60°以20°为间隔的斜入射下,该表面对TE波和TM波都可以保持有效的收集效率。 展开更多
关键词 多频 极化不敏感 宽入射角度 电磁能量收集
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Design of large acceptance angle polarizing beam splitter for laser-based displays 被引量:1
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作者 刘哲 蔡志平 +1 位作者 黄莎玲 卜轶坤 《Optoelectronics Letters》 EI 2011年第4期256-259,共4页
The performance of broadband polarizing beam splitters(PBSs) is sensitive to the incident angle.By taking account of the spectrum of the laser source and using the needle optimization method,a large acceptance angle P... The performance of broadband polarizing beam splitters(PBSs) is sensitive to the incident angle.By taking account of the spectrum of the laser source and using the needle optimization method,a large acceptance angle PBS for laser-based displays is designed.The average degrees of polarization in transmission and reflection can reach 0.989 and 0.980 for an acceptance angle of 13.6?in air using two materials,while better results of 0.993 and 0.989 for an acceptance angle of 14.8?in air are attained when three common materials are used.Both designs consist of 40 layers. 展开更多
关键词 Optical beam splitters Optical instruments PRISMS
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