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大尺寸板状构件超声阵列悬浮技术 被引量：1
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作者 武二永 韩烨 +2 位作者 李立强 邓双 杨克己 《浙江大学学报（工学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第11期2058-2066,共9页
为了提高超声悬浮性能及其柔性化应用能力,满足包括集成电路硅片和太阳能电池极板等构件的非接触抓取和输运的应用需求,开展基于换能器阵列的大尺寸板状构件超声悬浮技术研究.采用空间脉冲响应函数法,建立换能器阵列非自由超声场的声压... 为了提高超声悬浮性能及其柔性化应用能力,满足包括集成电路硅片和太阳能电池极板等构件的非接触抓取和输运的应用需求,开展基于换能器阵列的大尺寸板状构件超声悬浮技术研究.采用空间脉冲响应函数法,建立换能器阵列非自由超声场的声压分布及该声场内悬浮体所受声辐射力的理论表达式,结合COMSOL软件进行仿真研究,验证该理论表达式的正确性.搭建基于换能器阵列的超声悬浮实验装置,分别开展同一激励电压不同尺寸硅片以及同一尺寸硅片不同激励电压下的声悬浮实验.结果表明:该技术可以实现对尺寸远大于波长的物体在稳定高度的超声悬浮,且当悬浮体的重量小于超声阵列的最大负载能力时,悬浮高度随物体尺寸和激励电压的变化不明显. 展开更多
关键词 大尺寸板状构件 换能器阵列 超声悬浮 声场控制 声辐射力
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