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题名晶圆表面微米级缺陷检测
被引量：3
- 1
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作者
戴敬
肖朋
杨志家
马继开
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机构
沈阳建筑大学信息与控制工程学院
中国科学院沈阳自动化研究所
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出处
《计算机工程与设计》
北大核心
2015年第6期1671-1675,F0003,共6页
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基金
国家863高技术研究发展计划基金项目(2011AA040102)
国家自然科学基金项目(61233007)
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文摘
为降低晶圆缺陷对半导体制造的影响,在基于改进的多重中值滤波算法的基础上,以差影法为基本原理,采用归一化互相关的模版匹配方法实现晶圆表面缺陷检测。改进的多重中值滤波算法有效实现噪声点与非噪声点的分辨,归一化模版匹配算法对光照具有很好的鲁棒性。对大量的晶粒进行实验,实验结果表明,该方法可有效检测出晶圆表面的缺陷,精度达到15μm左右,所提检测算法在实际的应用中可代替人工,快速、准确地实现晶圆的缺陷检测。
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关键词
晶圆缺陷检测
差影
双模版匹配
多重中值滤波
鲁棒性
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Keywords
wafer defect detect
subtraction
double template matching
multiple median filter
robust
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分类号
TP391.41
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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题名一种混合降噪方法在辐射图像降噪处理中的应用
被引量：9
- 2
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作者
王德娇
史晋芳
吴倩
刘桂华
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机构
西南科技大学特殊环境机器人技术四川省重点实验室
西南科技大学制造科学与工程学院
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出处
《机械设计与制造》
北大核心
2017年第1期97-100,共4页
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基金
四川省教育厅重点项目(14ZA0096
14ZA0090)
+2 种基金
四川省科技厅科技支撑计划(2015FZ0091)
省重点实验室开放基金(13zxtk05)
校创新团队基金(14tdtk01)
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文摘
在强辐射的环境中,采集的图像包含多种噪音,主要为椒盐噪声和高斯噪声,而遥操作的可靠性与高效性则在很大程度上依赖于采集图像的质量,图像去噪至关重要。对于辐射图像,采用了一种将多重中值滤波和第二代曲波变换相结合的混合降噪方法,从而较好地去除噪音、保护细节。其具体过程是:首先运用改进后的多重中值滤波对辐射图像进行去噪,再将初步处理后的辐射图像进行Wrapping快速离散曲波变换,然后再对每个子带的系数计算阈值并根据阈值对系数进行处理,最后进行曲波逆变换得降噪图像。辐射图像的仿真实验结果表明,提出的方法能较好地降低噪点并保护边缘,从而获得更好的视觉效果。
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关键词
辐射图像
多重中值滤波
曲波变换
图像降噪
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Keywords
Radiation Image by Radiation
Multiple Median Filter
Curvelet Transform
Image Denoise
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分类号
TH16
[机械工程—机械制造及自动化]
TP391
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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题名基于FRFT的非线性调频信号双特征检测方法
被引量：2
- 3
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作者
许述文
水鹏朗
杨晓超
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机构
西安电子科技大学雷达信号处理国家重点实验室
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出处
《中国科学：信息科学》
CSCD
2011年第10期1200-1209,共10页
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基金
国家自然科学基金(批准号:10990012)资助项目
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文摘
强噪声中的未知非线性调频信号检测一直是实际检测领域中的一个难点问题.非线性调频信号的相位历史是关于时间的未知平滑函数,并且该函数不能或者很难用少量参数来建模.由于相位模型的缺失,我们提出一种基于接连分数阶Fourier变换和双特征检测的非参数化检测方法.检测方案包含3部分:首先,计算一个周期内接连角度的分数阶Fourier变换,将这些不同角度的变换结果构造成二维图像;然后,利用硬阈值处理获得二值图像,并利用多重中值滤波来去除该二值图像中的孤立噪声点,从而获得精炼的二值图像;最后,根据精炼图像提取2个互补的检测统计量,并通过双特征检测器判决目标是否存在.本文针对3类不同阶的多项式相位信号以及正弦相位信号的对比实验结果表明,提出的方法是有效且鲁棒的,并且获得了满意的检测性能.
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关键词
分数阶
FOURIER
变换
双特征检测
非参数化检测
多重中值滤波
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Keywords
fractional Fourier transform
double-characters detector
nonparametric detection
multiple median filtering
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分类号
TN911.23
[电子电信—通信与信息系统]
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