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基于多维优化策略的28nm节点MOSFET短沟道效应抑制研究
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作者 邱雨辰 张乔峰 +1 位作者 蒋本福 潘欣欣 《信息记录材料》 2025年第3期42-45,共4页
本研究提出一种基于多维优化策略的28 nm节点金属氧化物半导体场效应晶体管(metal-oxide-semiconductor field-effect transistor,MOSFET)短沟道效应抑制方法。通过计算机辅助设计仿真和机器学习辅助分析,系统研究栅氧化层材料、厚度、... 本研究提出一种基于多维优化策略的28 nm节点金属氧化物半导体场效应晶体管(metal-oxide-semiconductor field-effect transistor,MOSFET)短沟道效应抑制方法。通过计算机辅助设计仿真和机器学习辅助分析,系统研究栅氧化层材料、厚度、应力工程和界面态控制对器件性能的影响。结果表明,采用30%N含量的SiON栅氧化层(1.7 nm)结合1.2 GPa应力工程的优化方案可显著提升MOSFET性能,漏致势垒降低(drain induced barrier lowering,DIBL)效应降低40%、亚阈值摆幅降低20%、驱动电流提升25%。基于支持向量机(support vector machine,SVM)的性能预测模型达到95%的准确率,可为器件优化提供高效的评估方法。综上,基于多维优化策略和机器学习辅助分析方法为28 nm及以下节点MOSFET的设计提供了新的技术路线,对推进先进工艺节点器件的性能优化提供参考与指导。 展开更多
关键词 多维优化策略 短沟道效应 漏致势垒降低效应 亚阈值摆幅 栅介质层 机器学习
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大城市边缘区乡村产业空间的多维优化研究 被引量：5
2
作者 卞广萌 程文 《农业经济》 北大核心 2017年第6期19-20,共2页
"十三五"期间,建设循环低碳发展的乡村产业体系是加快农村地区改革创新的主要驱动力。本文针对大城市边缘区乡村产业空间存在的功能结构单一、基础设施陈旧、发展特色缺失、生态环境恶化、保障体系不足等问题,创新性指出从经... "十三五"期间,建设循环低碳发展的乡村产业体系是加快农村地区改革创新的主要驱动力。本文针对大城市边缘区乡村产业空间存在的功能结构单一、基础设施陈旧、发展特色缺失、生态环境恶化、保障体系不足等问题,创新性指出从经济、文化、生态和社会四个维度构建大城市边缘区乡村产业空间的多维发展格局。提出产业空间的多维优化策略为:"三产共融"的新型乡村产业空间结构、传承创新的文化发展策略、生态文明导向下的"田园山水式"布局、政府扶持下的可持续发展路径和"规模化、网络化与集约化"的乡村产业空间模式。 展开更多
关键词 大城市边缘区 乡村产业空间 多维发展格局 多维优化策略
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