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题名电容式湿度传感器多孔上电极受力可靠性分析
被引量：4
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作者
高翔
禹胜林
张弛
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机构
南京信息工程大学电子与信息工程学院
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第10期1511-1515,共5页
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文摘
电容式湿度传感器不断发展的同时上电极的制造工艺也在不断进行着技术更新,为了使湿度传感器的透水性更加优越,上电极在不断地被做薄,同时在多孔研究方面也在不断地进行着优化,但凡关于多孔上电极受力可靠性的问题,总是涉及到制作栅条过程中因为过度腐蚀而断裂的现象。利用ANSYS针对传统的条栅形多孔上电极以及自行设计的环形多孔上电极进行模拟受力分析,通过对多孔上电极内壁面进行压力加载,来模拟光刻过程中过度腐蚀的状况,观察比较两种上电极的模拟受力情况。从得到的受力形变图,等效塑性应变图以及等效应力图分析得出,环形多孔上电极具备比条栅形多孔上电极更可靠的受力响应。
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关键词
电容式湿度传感器
多孔上电极
可靠性
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Keywords
capacitive humidity sensor
porous upper electrodes
reliability
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分类号
TP212.1
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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