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使用气体靶激光等离子体光源的软X射线反射率计 被引量:8
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作者 尼启良 齐立红 陈波 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2004年第6期576-580,共5页
建立了一台使用气体靶激光等离子体光源的软X射线反射率计,并给出了使用该反射率计测量软X射线多层膜反射率的方法。与金属靶等离子体光源相比,由于使用了气体靶等离子体光源,该反射率计具有低碎屑、可长期连续运行等优点。针对单色仪... 建立了一台使用气体靶激光等离子体光源的软X射线反射率计,并给出了使用该反射率计测量软X射线多层膜反射率的方法。与金属靶等离子体光源相比,由于使用了气体靶等离子体光源,该反射率计具有低碎屑、可长期连续运行等优点。针对单色仪的二级光谱对反射率测量结果产生的影响,提出了修正方法。并用此方法对实测的工作波长为17.1nm软X射线多层膜的反射率曲线进行了修正。 展开更多
关键词 软X射线反射率计 多层膜 激光等离子体 气体靶
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小型高精度软X射线-极紫外反射率计 被引量:7
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作者 尼启良 刘世界 陈波 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第10期1886-1890,共5页
针对探月二期工程中的有效载荷之一极紫外相机中的多层膜光学元件反射率测量的需要,搭建了一台使用液体靶激光等离子体光源的小型软X射线一极紫外波段反射率计。该反射率计主要由激光等离子体光源、Mcpherson247动狭缝掠入射单色仪及... 针对探月二期工程中的有效载荷之一极紫外相机中的多层膜光学元件反射率测量的需要,搭建了一台使用液体靶激光等离子体光源的小型软X射线一极紫外波段反射率计。该反射率计主要由激光等离子体光源、Mcpherson247动狭缝掠入射单色仪及相关的数据采集系统组成。单色仪工作波段为1~125nm,光谱分辨率〈0.08nm。无碎屑的液体靶激光等离子体光源的使用避免了光学元件的损坏,而动狭缝掠入射单色仪的使用则提高了光谱分辨率和波段范围。使用该反射率计实测了工作波长为13.5nm和30.4nm的Mo/Si多层膜的反射率,测量结果表明测量重复性优于±0.5%,实现了对多层膜反射率的高精度测量。 展开更多
关键词 软X射线-极紫外反射率计 多层膜 液体靶激光等离子体光源
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真空紫外-极紫外反射率计控制与数据采集系统 被引量:2
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作者 谢春 姚倩霞 +1 位作者 余越 李文斌 《光学仪器》 2020年第3期71-80,共10页
针对自行研制的真空紫外-极紫外(VUV–EUV)波段反射率计运行需要,基于LabVIEW软件构建了该反射率计控制和数据采集系统。详细介绍该系统的组成和主要硬件单元模块的控制流程与方法,并给出准直调试程序和反射率数据采集程序的架构、用户... 针对自行研制的真空紫外-极紫外(VUV–EUV)波段反射率计运行需要,基于LabVIEW软件构建了该反射率计控制和数据采集系统。详细介绍该系统的组成和主要硬件单元模块的控制流程与方法,并给出准直调试程序和反射率数据采集程序的架构、用户界面和数据采集方法。提出的新数据采集算法有效提高了弱信号条件下反射率测量的可靠性。利用该控制与数据采集系统,对Si基板开展了准直校准与反射率测量实验。结果表明,在7.5°~87.5°范围内直通光电流信号为20 pA时仍能获得可靠的反射率,且基于入射光监测方法的反射率测量实验结果与理论计算相符更好。除在布儒斯特角附近信号电流小于本底电流0.7 pA时,反射率重复测量误差优于1.6%。 展开更多
关键词 反射率计 LABVIEW 锁相放大器 数据采集
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真空紫外反射率计用于BRDF的测量
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作者 唐玉国 齐文宗 李福田 《光学技术》 CAS CSCD 1999年第3期51-52,共2页
:介绍了一种真空紫外反射率计,采用间接测量方法,在该反射率计测试了聚四氟乙烯漫反射板的双向反射率分布函数(BRDF),正入射时该聚四氟乙烯漫反射板15°到75°的双向反射率分布函数偏差为13%。
关键词 反射率计 BRDF 反射 测量 聚四氟乙烯
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同步辐射软X射线多层膜反射率计测量控制系统 被引量:1
5
作者 徐正良 孙剑辉 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1995年第1期45-49,共5页
本文介绍我们首先使用一块软X射线多层膜反射镜作为色散元件而研制的同步辐射软X射线反射率计的软硬件结构、功能与特点,并报告了实测结果。
关键词 同步辐射 软X射线多层膜 控制系统 操作系统 数据获取 反射率计
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同步辐射软X射线多层膜反射率计的设计 被引量:1
6
作者 薛松 邵景鸿 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1994年第3期85-88,共4页
分析了同步辐射软X射线多层膜反射率计;介绍了单色器系统、反射率计系统、真空系统以及双重二倍角机构的设计要点。
关键词 同步辐射 软X射线 多层膜反射率计
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曲线型薄膜表面反射率计算
7
作者 叶鹏 邵琪珺 丁响 《内江科技》 2019年第8期60-61,共2页
生活中经常需要利用一些变色效应来达到美观的效果,比如常规彩瞳在透明夹层中加入颜料来实现彩色效果、变色镜片中掺入卤化银达到光致变色效果等。利用镀膜技术在晶片表面生成一层薄膜,利用光学薄膜本身的增反特性也能实现彩色效果。这... 生活中经常需要利用一些变色效应来达到美观的效果,比如常规彩瞳在透明夹层中加入颜料来实现彩色效果、变色镜片中掺入卤化银达到光致变色效果等。利用镀膜技术在晶片表面生成一层薄膜,利用光学薄膜本身的增反特性也能实现彩色效果。这样的工作由于涉及到微纳薄膜工艺,具有极高的加工难度。本文尝试为这样的工作作一定的先期计算,即曲线型薄膜表面对应不同波长时的反射率情况。计算结果表明,镀膜的厚度对反射光波长有很好的选择性。 展开更多
关键词 反射率计 折射率分布 厚度变化 镀膜技术 光学薄膜
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同步辐射反射率计计算机控制及数据获取系统
8
作者 崔明启 徐正良 《核电子学与探测技术》 CAS CSCD 北大核心 1993年第A11期53-56,22,共5页
本文给出用于软X光多层膜研究的同步辐射反射率计的微机控制及数据获取系统,详细介绍了该系统的软,硬件结构。
关键词 同步辐射 反射率计 控制 数据采集
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MCS—51系列单片机在X—A型反射率计中的应用
9
作者 李有芝 《光学机械》 CSCD 1990年第3期56-61,共6页
本文介绍软X射线多层膜反射率计的工作原理,并着重介绍采用MCS—51系列单片机来完成数据采集、处理、控制和显示等功能的硬件结构特点和软件编程方法。最后给出实际测量数据与分析。
关键词 单片机 反射率计 应用 X-A型
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软X射线—真空紫外反射率计
10
作者 陈波 马玲 李福田 《光学机械》 CSCD 1991年第6期21-25,共5页
软X射线-真空紫外反射率计系统由光源、单色仪、反射率计、电子学及微机控制系统等几部分组成。可完成各种光学镜面、光栅、成像系统等的性能评价工作,反射率计真空室直径φ800mm,长1200mm,工作波段25~100nm,更换光源和探测器可扩展到1... 软X射线-真空紫外反射率计系统由光源、单色仪、反射率计、电子学及微机控制系统等几部分组成。可完成各种光学镜面、光栅、成像系统等的性能评价工作,反射率计真空室直径φ800mm,长1200mm,工作波段25~100nm,更换光源和探测器可扩展到1~250nm,角分辨率0.03°,扫描范围0~90°。 展开更多
关键词 软X射线 真空紫外光学 性能评价 反射率计 光栅效率
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XST-1型数显分光反射率计的原理
11
作者 徐松涛 赵怀新 《工程兵工程学院学报(94643X)》 1997年第2期42-47,共6页
本文阐述了利用相对法测量地物光谱反射率的原理及数显分光反射率计仪器系统的设计方法,由于采用先进的斩波稳零技术研制出微电流放大计,并实现了测量结果的数字化,同时合理地设计和选取了单色仪和光电倍增管(PMT)并制作了供P... 本文阐述了利用相对法测量地物光谱反射率的原理及数显分光反射率计仪器系统的设计方法,由于采用先进的斩波稳零技术研制出微电流放大计,并实现了测量结果的数字化,同时合理地设计和选取了单色仪和光电倍增管(PMT)并制作了供PMT用的UPS负高压交直流两用电源,从而使得仪器系统灵敏度高,动态范围大,操作简单,便于野外使用,具有较高的性能价格比。 展开更多
关键词 光谱反射率 微电流放大 分光反射率计 XST-1型
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国家同步辐射实验室反射率计误差分析 被引量:1
12
作者 干蜀毅 刘正坤 +5 位作者 徐向东 洪义麟 刘颍 周洪军 霍同林 付绍军 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第11期2136-2142,共7页
中国科技大学国家同步辐射实验室"光谱辐射标准与计量实验站"上的反射率计主要用于测量各种光学元器件在X射线、真空紫外波段的反射率。为保证测试结果的精确性和可靠性,在大量实验数据的基础上,结合必要的理论推导,对反射率... 中国科技大学国家同步辐射实验室"光谱辐射标准与计量实验站"上的反射率计主要用于测量各种光学元器件在X射线、真空紫外波段的反射率。为保证测试结果的精确性和可靠性,在大量实验数据的基础上,结合必要的理论推导,对反射率计测试误差来源及影响程度进行了分析,确定影响反射率计测试精度的主要因素包括光源、探测器、样品安装等。总结了光源波动、探测器损坏的几种典型形式,定性、定量地分析了这些因素和样品安装、光斑尺寸对测试精度的影响,针对性地提出了应对办法,把测试误差控制在2%以内,从而有效地保证了测试精度。 展开更多
关键词 反射率计 同步辐射 反射率测量 误差分析
原文传递
北京同步辐射软X光反射率计装置及其物理工作 被引量:1
13
作者 崔明启 王俊 +7 位作者 缪建伟 黄宇营 唐鄂生 冼鼎昌 邵景鸿 薛松 徐正良 孙剑辉 《高能物理与核物理》 CSCD 北大核心 1995年第1期82-86,共5页
介绍了安装在北京同步辐射装置上专门用于软X光多层膜研究的反射率计系统,给出了在该装置上测量得到的Al滤光片的软X光透射谱和Nb/Si多层膜的高角反射谱,用磁控溅射方法自制的Nb/Si多层膜样品在17.59um附近得到... 介绍了安装在北京同步辐射装置上专门用于软X光多层膜研究的反射率计系统,给出了在该装置上测量得到的Al滤光片的软X光透射谱和Nb/Si多层膜的高角反射谱,用磁控溅射方法自制的Nb/Si多层膜样品在17.59um附近得到的反射率为32%. 展开更多
关键词 同步辐射 反射率计 软X光多层膜 反射率 多层膜
原文传递
合肥同步辐射反射率测量装置 被引量:11
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作者 薛松 邵景鸿 +2 位作者 卢启鹏 王兆岚 徐仲 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2004年第5期480-484,共5页
分析设计并研制了同步辐射计量光束线的反射率计系统。该反射率计工作波长5~100nm,角分辨率0.005°,样品台可做六维调整,样品与探测器采用同轴扫描馈入机构,大大提高了扫描运动及测量精度。样品和探测器均具有平移和旋转两种功能,... 分析设计并研制了同步辐射计量光束线的反射率计系统。该反射率计工作波长5~100nm,角分辨率0.005°,样品台可做六维调整,样品与探测器采用同轴扫描馈入机构,大大提高了扫描运动及测量精度。样品和探测器均具有平移和旋转两种功能,并且既可独立运动,又可θ 2θ同步联动,样品和探测器均可退出光路,通过束线差分系统和反射率计差分馈入系统可充分保证10-6~10-8Torr的真空度。对样品的反射率测试可分波长扫描和角度扫描两种方式。 展开更多
关键词 同步辐射 反射率计 测量
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23.4nm软X射线多层膜反射镜研制 被引量:1
15
作者 刘震 李旭 +2 位作者 马月英 陈波 曹健林 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期1138-1141,共4页
为了满足类氖-锗X射线激光研究的需要,设计制备了23.4 nm软X射线多层膜反射镜。依据多层膜选材原则并考虑材料的物理化学特性选择新的材料Ti与Si组成材料对。设计优化材料多层膜的周期厚度(d),材料比例(Γ),周期数(N),计算出Ti/Si反射... 为了满足类氖-锗X射线激光研究的需要,设计制备了23.4 nm软X射线多层膜反射镜。依据多层膜选材原则并考虑材料的物理化学特性选择新的材料Ti与Si组成材料对。设计优化材料多层膜的周期厚度(d),材料比例(Γ),周期数(N),计算出Ti/Si反射率曲线。通过实验优化各种镀膜工艺参数,制备出了23.4 nm的Ti/Si多层膜反射镜。利用X射线衍射仪和软X射线反射率计对Ti/Si多层膜结构和反射率进行检测,测量结果为Ti/Si多层膜反射镜中心波长0λ=23.2nm,正入射峰值反射率为R=25.8%。将Ti/Si多层膜反射镜与软X射线波段常用的Mo/Si多层膜反射镜相比,在23.4 nm处,Ti/Si多层膜反射镜的反射率提高10%,而带宽减小1.8 nm,光学性能显著提高。 展开更多
关键词 极紫外 多层膜反射 磁控溅射 X射线衍射仪 反射率计
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制备长波段X射线多层膜的新方法 被引量:1
16
作者 王国田 王当笠 +1 位作者 曹健林 马月英 《应用光学》 CAS CSCD 2001年第6期34-39,共6页
叙述用离子束溅射镀膜机 OXFORD进行 X射线长波段多层膜实验及制备 X射线多层膜光学元件方面的工作。简述离子束溅射镀膜机的工作原理 ,X射线多层膜的制备过程 ,主要工艺参数 ,以及用 X射线小角衍射仪对制备样品周期结构的检测和用软
关键词 软X射线多层膜 离子束溅射 反射率计 制备方法
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用离子束溅射法制备长波段X射线多层膜
17
作者 王国田 马月英 曹健林 《光学仪器》 1999年第4期22-26,共5页
叙述了用离子束溅射镀膜机OXFORD进行X射线长波段多层膜实验及制备X射线多层膜光学元件方面的工作。简述离子束溅射镀膜机的工作原理,X射线多层膜的制备过程,主要工艺参数,以及用X射线小角衍射仪对制备样品周期结构的检测... 叙述了用离子束溅射镀膜机OXFORD进行X射线长波段多层膜实验及制备X射线多层膜光学元件方面的工作。简述离子束溅射镀膜机的工作原理,X射线多层膜的制备过程,主要工艺参数,以及用X射线小角衍射仪对制备样品周期结构的检测和用软X射线反射率计测反射率的部分结果。 展开更多
关键词 软X射线 多层膜 离子束溅射 反射率计
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其它光学仪器
18
《中国光学》 EI CAS 1995年第1期97-97,共1页
TH741.49 95010671同步辐射软X射线多层膜反射率计的设计=Design of soft X-ray synehrotron radiation multilaver reflectometer[刊,中〕/薛松,邵景鸿(中科院长春光机所.吉林。
关键词 同步辐射 多层膜反射率计 光学仪器 射线 中科院 长春 吉林 光机 精密工程
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辐射与发光理论
19
《中国光学》 EI CAS 1996年第6期2-3,共2页
O432.1 96063513国家同步辐射实验室同步辐射光电子能谱站的新进展=Progress on the synchrotron radiationphoto electron spectroscopy at NationalSynchrotron Radiation Laboratory [刊,中]/徐世红,徐彭寿,陆尔东。
关键词 国家同步辐射实验室 同步辐射光电子能谱 同步辐射装置 射线光学 发光理论 光束线 反射率计 多层膜 实验站 新进展
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材料光学性能测试与设备
20
《中国光学》 EI CAS 2000年第6期62-63,共2页
TB96 2000064137真空紫外反射率计用于BRDF的测量=Measurementof BRDF by using the VUV reflectomters[刊,中]/唐玉国,齐文宗,李福田(中科院长春光机所应用光学国家重点实验室.吉林,长春(130022))//光学技术.—1999,(3).—51-53,55介... TB96 2000064137真空紫外反射率计用于BRDF的测量=Measurementof BRDF by using the VUV reflectomters[刊,中]/唐玉国,齐文宗,李福田(中科院长春光机所应用光学国家重点实验室.吉林,长春(130022))//光学技术.—1999,(3).—51-53,55介绍了一种真空紫外反射率计,采用间接测量方法,用该反射率计测试了聚四氟乙烯漫反射板的双向反射率分布函数(BRDF),正入射时该聚四氟乙烯漫反射板15°到75°的双向反射率分布函数偏差为13%。(方舟) 展开更多
关键词 反射率计 双向反射率分布函数 真空紫外 聚四氟乙烯 反射 应用光学 测量方法 国家重点实验室 光学技术 正入射
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