给出了一种用于非制冷光学读出红外探测器的核心器件———双材料微悬臂梁阵列的设计和制作.微梁阵列是无硅基底的S iNx/Au双材料单层膜结构,其制作工艺简单、可以直接放在空气中成像.实验使用了设计制作的140×98微梁阵列和高信噪...给出了一种用于非制冷光学读出红外探测器的核心器件———双材料微悬臂梁阵列的设计和制作.微梁阵列是无硅基底的S iNx/Au双材料单层膜结构,其制作工艺简单、可以直接放在空气中成像.实验使用了设计制作的140×98微梁阵列和高信噪比的12-b it CCD,得到120℃以上的物体热像,噪声等效温度差(NETD)为7K左右,实验结果与热机械模型预测结果一致.展开更多
文摘探究了含有多个椭球夹杂的双材料和半无限大空间的稳态传热解.双材料的界面由包含连续性条件的双材料空间格林函数考虑,通过调整参数,该函数可退化为半无限大空间或者无限大空间格林函数.利用Eshelby等效夹杂法(equivalent inclusion method,EIM),将椭球夹杂等效为基底材料和夹杂内连续分布的本征温度梯度场.基于含多项式密度的椭球积分,椭球夹杂的扰动作用由本征温度梯度场和双材料格林函数域积分精确描述.本征场由夹杂形心展开的泰勒级数,并通过各个夹杂形心建立的多项式等效热流方程求解,求解精度由有限元法(finite element method,FEM)验证,实现了无网格求解双材料和半无限大空间中多个椭球夹杂的稳态传热问题.
文摘给出了一种用于非制冷光学读出红外探测器的核心器件———双材料微悬臂梁阵列的设计和制作.微梁阵列是无硅基底的S iNx/Au双材料单层膜结构,其制作工艺简单、可以直接放在空气中成像.实验使用了设计制作的140×98微梁阵列和高信噪比的12-b it CCD,得到120℃以上的物体热像,噪声等效温度差(NETD)为7K左右,实验结果与热机械模型预测结果一致.
